【定　義】　イオンビーム加工の一種で、加工の際に反応室にエッチング用の活性ガスを導入して加工する技術。

【解　説】　イオンビーム加工では、不活性ガスのイオンを用いてその運動エネルギーによる物理的な作用（スパッタ）で加工をするため、加工速度が遅いことや試料に対するダメージといった問題が生じることがある。 そこで、反応室にエッチング用の活性ガスを導入して、化学的な反応によるエッチング効果を付加することで、これらの問題を解決する特殊加工技術である。

【参考資料】 (1)(7)(8)

【関連用語】 イオンビーム加工