【定　義】　材料の物理的・化学的な特性を変化させる加工技術。

【解　説】　代表的な例として、集束イオンビームによって局所的に不純物をドーピングしたり、単結晶化等の相変化を起こさせるレーザドーピング、イオン注入、イオンミキシングがあげられる。

【参考資料】 (1)

【関連用語】 イオン注入