CMOS MEMS 【しーもすめむす】 

【定 義】 同一シリコン基板上にセンサなどのMEMS構造と信号処理用のCMOS回路とが形成された集積化MEMSデバイス。(JIS/2016)

【解 説】 MEMS要素とCMOS回路とを一体化したMEMSデバイスの一形態である。通常,CMOS工程の後にMEMS工程を行うため,MEMS工程では,CMOS回路に損傷を与えないプロセスが要求される。(JIS/2016)

【参考資料】