マイクロマシン・MEMS技術分野における専門用語集。 一般財団法人マイクロマシンセンター標準化事業委員会が 英語版とともに平成10年10月に作成・発行。 JIS発行に伴い、日本語版を平成20年6月に改訂。さらにJIS改訂に伴い、平成28年(2016年)6月に改訂。 MEMSペディア活動の一環としても位置づけられる。 収録する専門用語の分布は次の通り（英語表記も日本語読み）。 あ〜お 　４５語 　 な〜の ３語 か〜こ ４４語 　 は〜ほ ５９語 さ〜そ ５１語 　 まいくろ ４２語 た〜と １９語 　 み〜わ ２０語 計 ２８３語 英語版用語集も用意しています。