MEMSファンドリーサービス産業委員会

半導体微細加工を利用してミクロンオーダーの三次元構造をつくり、それをナノメートルの精度で駆動制御するMEMS技術は21世紀を支える基盤技術と考えられています。この技術は80年代後半に飛躍的な発展をとげ、現在に至るまで急速な成長を続けていいます。

近年実用化の動きが活発になり、多くのセンサー、アクチュエーターを初め光通信用コンポーネント（MOEMS）、無線通信用デバイス（RF-MEMS）、バイオチップ（Bio-MEMS）、マイクロ化学システム（μ-TAS）等の商品化が進んでいます。

MEMS産業は、高付加価値で高機能の製品を実現する知識集約的な産業であり、日本の製造業のサポーティングインダストリーとして位置づけられています。

MEMSファンドリーサービス産業委員会（FSIC : Foundry Service Industry Committee；平成14年7月発足）は、わが国のMEMSファンドリーサービス産業発展のため、メンバー各社が手を携えマイクロマシンセンターのMEMS協議会の下、以下のような諸々の活動を行っています。

MEMSファンドリーサービス産業委員会 (FSIC) の活動

MEMS関連の外部機関との技術交流会

MEMS講習会の開催　他

委員会メンバー　

参加案内　

委員会事務局

現在、以下の各社、研究所がFSICメンバーとなっています。各社が力を合わせ、わが国の
MEMS産業のすそ野を広げ、その発展を促進する先導的な諸活動を行っています。

　　

MEMSファンドリーサービス産業委員会（FSIC）メンバー　

（株）日立製作所

みずほリサーチ＆テクノロジーズ（株）

（株）メムス・コア

MNOIC（マイクロナノオープンイノベーションセンター）

マイクロマシンセンター（事務局）

　MEMSデバイスの一層の利用促進を図るため、製造設備を有しない企業でも容易にMEMSビジネスに参入できるようにMEMSファンドリーサービス事業の確立が必須と考え、平成１４年７月に委員会を発足し、わが国のMEMSファンドリーサービスに関するいろいろな活動を推進しております。

　今やセンサー類、光デバイス、ＲＦ－ＭＥＭＳ、μ－ＴＡＳなどMEMSデバイスの実用化が着実に進展しており、多くの分野の製品の中へのＭＥＭＳ導入・組込のニーズが高まっています。ＭＥＭＳ産業は、まさに製造業のキーデバイスを供給する戦略産業の地位を確立しつつあり、第二の半導体産業としての発展が期待されています。

　現在ファンドリーサービス産業委員会に参加している各社は、先導的にわが国のMEMS産業のすそ野を広げ、その発展を促進する役割を担っています。また、自社のファンドリービジネスも順調に推移しています。

　すでにファンドリービジネスをスタートしている企業の方や今後ファンドリービジネスに参入する予定の企業の方で、当委員会の趣旨にご賛同頂けるの方は、当委員会活動への参加をご検討下さい。

　当委員会への参加していただくためには、MEMS協議会への入会が必要です。詳細は委員会事務局まで連絡下さい。　　　

　　事　務　局（ご連絡・問い合わせ）

一般財団法人マイクロマシンセンター MEMS協議会

〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル6階
　　　　　　　　　　　　　　　　　　

地図
　　　TEL：03-5835-1870　　　FAX： 03-5835-1873
　　　URL：https://www.mmc.or.jp/fsic/committee/index.html　
　　　E-mail：mif@mmc.or.jp

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