ファンドリーサービス産業委員会（委員長：オムロン(株)佐藤文彦氏）主催の第11回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」を、8月26日（木）東京・市ヶ谷（アルカディア市ヶ谷）で開催しました。
今回は特に、バルク材料以外のMEMS材料、MEMS検査技術、MEMSファンドリーの活用に関して事例で講演を行いました。
「MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待（立命館大学 杉山教授）」、「異種材料の融合による新規MEMSの動向（東京大学 杉山准教授）」の講演およびMEMSセンサーの検査やファンドリーの活用事例等の講演として「立体回路で超小型デバイスを実現するMID技術」（松下電工株式会社 立田淳技師）、「加速度センサー用ウェハレベルMEMSテスター」（東京エレクトロン株式会社 渡部 彰一グループリーダー）、「パッケージレベルMEMS検査装置」（株式会社ラポールエスエー 井上晴伸執行役員）、「MEMSユーザーから見たファンドリーの活用事例（慣性センサの開発）」（株式会社ワコー 岡田 和廣代表取締役）を行いました。
参加者は６３名で、講習会の中間での技術相談会では皆様熱心に質問されていました。また、講習会の終了後、別室においてファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々と参加者のみなさんとの懇談会を開催しましたが、こちらも大変盛況でした。ご協力有難う御座いました。
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| ＜講演風景＞ |
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| 立命館大学・杉山進教授 |
東京大学・杉山正和准教授
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| 松下電工（株）・立田氏 |
東京エレクトロン（株） 渡部氏
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| （株）ラポールエスエー 井上氏 |
（株）ワコー 岡田氏
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| ＜会場風景＞ |
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| 技術相談会 |
懇談会 |
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