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| MMC ＞ MEMS講習会 ＞ 第6回MEMS講習会（2006.1） | |||
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| ◇ 日時： 2006年1月19日（木）13:00～17:50～19:00 ◇ 場所： ぱ・る・るプラザ京都（JR京都駅前）６階会議室Ｄ及び会議室５ 〒600-8216 京都市下京区東洞院通七条下ル東塩小路町676番13 TEL：075-352-7444 ◇ 参加費： 8,000円 ◇ 定員： 100名 （定員になり次第、締切らせていただきます。） |
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☆★☆━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 第6回講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━★☆★ |
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主催： 財団法人マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 |
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半導体微細加工を利用してミクロンオーダーの三次元構造をつくり、それをナノメートルの精度で駆動制御するＭＥＭＳ技術は２１世紀を支える基盤技術と考えられております。 この技術は８０年代後半に飛躍的な発展をとげ、現在に至るまで急速な成長を続けておりますが、実用化も次第に活発になり、多くのセンサー・アクチュエーターシステム（ＭＥＭＳ）を始め、光通信用コンポーネント（ＭＯＥＭＳ）、無線通信用デバイス（ＲＦ－ＭＥＭＳ）、バイオチップ（Bio-ＭＥＭＳ）、マイクロ化学システム（μ-ＴＡＳ）等の商品化が進んでおります。 また、ＭＥＭＳ産業は、高付加価値で高機能の製品を実現する知識集約的な産業であり、日本の製造業の救世主となる可能性を持っております。 このような背景のもと、我々ファンドリーサービス産業委員会では、ＭＥＭＳ産業の裾野を広げ、その発展を促進するために初心者・中級者を対象に第6回講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」を開催することと致しましたのでご案内いたします。 ◇ 日時： 2006年1月19日（木）13:00～17:50～19:00 ◇ 場所： ぱ・る・るプラザ京都（JR京都駅前）６階会議室Ｄ及び会議室５ 〒600-8216 京都市下京区東洞院通七条下ル東塩小路町676番13 ◇ 参加費： 8,000円 参加費には講習会資料と懇談会費が含まれます。 参加費は当日、受付でお支払い下さい。（領収書をご用意します。） ◇ 定員： 100名 （定員になり次第、締切らせていただきます。） ◇ 参加申込： E-mail: mems-ws@mmc.or.jp 又は FAX (03-5835-1873)宛 に下記申込書を送付下さい。 ◇ 問合先： 財団法人マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当（織田、酒向） 〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階 TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873 ◆ 会場案内  |
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★ 参 加 申 込 ★ |
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下記申込欄に必要事項をご記入の上、メール又はFAXにてご送付下さい。 （受付後、登録通知メールを送付致します。） E-mail： mems-ws@mmc.or.jp FAX ： 03-5835-1873 (財)マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当 （織田、酒向） ========= お申込は下記の申込欄のみをご送信下さい。=========== ◆◆◆ 第６回講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」参加申込欄 ◆◆◆ （2006年1月19日（木）) 申込者氏名： 氏名フリガナ： 会社・団体名： 所属部署： 役職： 勤務先〒番号： 勤務先住所： TEL： FAX： E-mail： ◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆◆ |
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| ◇◇◇◇◇◇ プ ロ グ ラ ム ◇◇◇◇◇◇ |
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| 13:00 主催者挨拶 青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事） 13:10 新産業創出のキーとなるＭＥＭＳテクノロジー 杉山 進 （立命館大学理工学部 教授） 14:00 光ＭＥＭＳ（マイクロミラーデバイス）の設計技術 宮島 博志 （オリンパス(株) 研究開発センター ＭＥＭＳ事業推進部 グループリーダー） 14:35 ＭＥＭＳ加工技術（半導体プロセス～機械加工） 高橋 敏幸 （オムロン(株) セミコンダクタ統括事業部 ＭＥＭＳ事業部 グループリーダー） 荒井 剛 （オムロン(株) エンジニアリングセンター グループリーダー） 15:10 ドライエッチングの基礎 林 俊雄 （(株)アルバック 半導体技術研究所 第１研究部 部長） 15:45～16:15 技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩 16:15 ＭＥＭＳ応用例(1) 非シリコンＭＥＭＳとその用途 飛永 芳一 （(株)ナノデバイス・システム研究所 取締役CTO） 16:50 ＭＥＭＳ応用例(2) バイオＭＥＭＳ・ナノテクノロジーの医療応用 馬場 嘉信 （名古屋大学大学院 工学研究科 化学・生物工学専攻 教授） 17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介 毛野 拓治 （松下電工(株) 生産技術研究所 高度ＭＥＭＳ開発センター グループ長） ---- 休憩 17:50～18:00 ---- 18:00～19:00 懇談会 （６階会議室５） |
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| 財団法人マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会 講習会担当（織田、酒向） E-mail: mems-ws@mmc.or.jp (参加申込・お問合せ） 〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル ６階 TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873 |
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