1. MEMSとは
2. 商品化されているMEMSデバイス
	2.1　商品化例
		① マイクロセンサ（自動車用各種センサなど）
		② インクジェットプリンタヘッド部（インク噴出部）
		③ ハードディスクドライブのヘッド用マイクロアクチュエータ（記録部）
		④ マイクロアレイ型DNAチップ（MEMSによるプリンタヘッド技術の応用）
		⑤ DNAシーケンサー・キャピラリー・システム（電気泳動型）
	2.2　2000年のMEMS市場の推計
3. 将来想定される利用方法
	3.1　将来予定される用途例
		① RF (Radio Frequency：高周波）- MEMS
		② 光通信用光スイッチ
		③ マイクロ化学チップ/ Lab. on Chip
		④ マイクロ燃料電池
	3.2　市場予測
4. 国際競争
	4. 1　論文・特許動向
	4.2　米国における研究開発状況
		① 米国における研究開発プログラム
		② 主要な企業・研究機関の研究開発状況
	4.3　米国における産業状況
5. 今後のMEMS産業の発展の方向
	5.1　ファンドリーサービス（シーズとニーズをつなぐ技術の架け橋）
	5.2　設計／試作・量産サービスを提供している主な大学 　　　／研究室・研究機関・企業
6. MEMSの技術的課題
（補論）MEMSデバイス事例集
1. 機械・エレクトロニクスMEMS
	1.1　加速度センサ
	1.2　圧力センサ
	1.3　マイクロジャイロ
	1.4　赤外線イメージャ
	1.5　マイクロアクチュエータ（回転運動系）
	1.6　マイクロアクチュエータ（線形運動系）
	1.7　インクジェットプリンタヘッド
3. オプティカルMEMS
	3.1　光スイッチ
	3.2　DMD
	3.3　光スキャナ