財団法人マイクロマシンセンター

[No.2006-08] 2006年8月11日発行


ニ ュ ー ス 目 次  


  1 高集積・複合MEMS製造技術開発事業のキックオフ
  2 第7回MEMS講習会の開催
  3 第9回マイクロナノ先端技術交流会の開催
  4 MEMS-ONE関連経過報告
  5 Semicon West報告
  6 IEEE NANO2006報告


  1 マイクロナノ2006の開催(11月6日~9日)



  1 月例経済報告 (平成18年7月)
  2 特集「新経済成長戦略について」
  3 産業競争力のための情報基盤強化税制の創設について
    
  
ニ ュ ー ス 本 文



1 高集積・複合MEMS製造技術開発事業のキックオフ

 待望の高集積・複合MEMS製造技術プロジェクトのスタートにあたり、去る7月28日(金)経済産業省産業機械課土屋博史課長補佐、三宅晃司情報化推進係長、NEDO高安正躬理事、小澤純夫機械システム技術開発部長、浅海一志主査が臨席、プロジェクトリーダ東京大学下山勲教授、サブリーダ立命館大学杉山進教授の下、各参画団体の開発責任者が一堂に会しプロジェクトのキックオフが開催されました。

 参画団体は、助成8企業、委託8団体で構成されており、わが国のMEMSの一段の飛躍を期し、各担当テーマの完遂によるプロジェクトの成功を誓い合いました。これから3年間、各研究テーマの進捗にあわせお互い切磋琢磨すべく、プロジェクト推進連絡会が定期的に開催されることになり、マイクロマシンセンターもその事務局として全面的に推進していくと共に、受託した高集積複合MEMS知識データベースの整備を積極的に進めて参ります。ご期待下さい。


<第1回PJ推進連絡会>

<キックオフ記念パーティ>

2 第7回MEMS講習会の開催

 ファンドリーサービス産業委員会(委員長:松下電工(株)富井和志氏)主催の第7回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」を、7月10日(月)アルカディア市ヶ谷(東京・私学会館)で開催しました。講習会の内容は下記に示す通りです。

 前回6回までの講習会は初心者・中級者向け講習会でしたが、今回は内容を一新し、MEMSの設計から応用までの中・上級者向けの講習会といたしました。最近のMEMS産業に対する関心の高さから、一般参加者、講習会発表者および事務局担当者を含め、68名と盛況な講習会となりました。

 今回の講習会(プログラムは下記参照)においてもこれまでと同様、講習会の中間に技術相談会(委員企業各社パネル展示説明)を設けて、個別の相談が可能としました。また、講習会の終了後、別室においてファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々と参加者との懇談会を開催しましたが、これも大変盛況でした。

       <講習会会場>        <パネル展示説明>
 
<プ ロ グ ラ ム>
13:00  主催者挨拶
         青柳 桂一 (財団法人マイクロマシンセンター 専務理事)
13:10  MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待
         杉山 進  (立命館大学理工学部 教授)
14:10  MEMS加工技術とその動向
         野沢 善幸 (住友精密工業(株) マイクロテクノロジー事業部 プロセスグループ長)
15:05~15:40  技術相談会(各社パネル展示説明)及び休憩
15:40  自動車用MEMSの現状と動向について
         野々村 裕 ((株)豊田中央研究所 車両・安全・ITSセンター 推進責任者)
16:35  材料データベースを活用したMEMSの設計技術
         土屋 智由(京都大学大学院 工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻 助教授)
17:30  ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
         富井 和志 (松下電工(株) 生産技術研究所 微細プロセス開発センター 主担当)

    ---- 休憩 17:50~18:00 ----
18:00~19:00   懇談会 (6階伊吹)

3 第9回マイクロナノ先端技術交流会の開催 

 賛助会員企業の専門家を対象に、マイクロナノ技術に関する各産業分野における先端技術への認識と理解を深め、マイクロナノ技術の普及啓発と産学の技術交流を図ることを目的とした「マイクロナノ先端技術交流会」の第9回が、東北大学大学院 江刺正喜先生、慶應義塾大学 三木則尚先生を講師にお迎えし、7月18日(火)に開催されました。
 江刺正喜先生からは、「役に立つMEMS」と題し、ジャイロやデータストレージなど代表的なMEMSに絞り、応用分野ごとの産業展開について述べ、最後にMEMSの主流である「集積化MEMS」や、多品種少量のMEMSにいかに対応するかなど産業化の問題点について、また三木則尚先生からは、「MEMSが可能にするこれからの技術(MEMS Enabling Technology)」と題し、これからMEMS技術の活躍が期待される分野を、特に現在主流のシリコンベースではないMEMSデバイスについて紹介されました。

<慶應義塾大学 三木則尚先生>

<東北大学大学院 江刺正喜先生>
 なお、第10回マイクロナノ先端技術交流会は、東京大学生産技術研究所竹内昌治助教授、産業技術総合研究所ナノカーボン研究センター畠賢治チーム長を講師にお迎えし、10月3日(火)マイクロマシンセンター会議室にて開催予定です。

4 MEMS-ONE関連経過報告

 NEDO受託事業「MEMS用設計・解析支援システム開発」プロジェクトは3年目を向かえ、開発の最終段階に入っています。プロジェクトの成果を広く普及させるために、平成18年の事業として、下記の学会、展示会等のイベント会場で発表、展示を計画しています。奮ってご参加戴きますようご案内いたします。
   ①電気学会 第23回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム
    平成18年10月5-6日、高松市サンポート高松(国際会議場)
    http://www2.iee.or.jp/~smas/Sensor_Sympo/23/index.html
   ②第9回関西設計・製造ソリューション展
    平成18年10月11-13日、大阪市インテックス大阪(3-5号館)
    http://www.dms-kansai.jp/
   ③マイクロナノ2006―「MemsONE成果発表会」
    平成18年11月9日、東京国際フォーラム(D7フォール)
    http://www.mmc.or.jp/business/micronano2006/micronano2006.html

5 Semicon West報告

 7月10~14日にサンフランシスコ市内Moscone Centerにて米国最大のマイクロテクノロジーイベントSEMICON West2006が催されました。今年はサブタイトルが”next is now”で、次世代技術の中でも比較的おおように近いものを取り上げていました。今回西ホールで開催されたEmerging Technologies TechXPOT:MEMS, nanotechnology and energyを中心に参加してきました。Emerging Technologies TechXPOTでは以下の講演と企業展示があり、最新のMEMS、ナノテク開発動向を入手でき、またMEMS協議会の提携先であるMANCEF,MIGとの情報交換をすることもできました。

 MEMS Markets and Applications
 Yole Developppement, SiTime, Akustica, Micralyne,
 Nano Materials and Manufacturing Technologies
 Intel, Cambrios Technologies, Pixelligent Technologies,
 NanoDynamics, Surfx, Nano Green
 MEMS Manufacturing and Standards
 STMicroelectronics, memsstar technology,Lam Research,
 Applied MicroStructures, Solidus Technologies,
 Panel: “MEMS Standards:
 Speeding Commercialization or Killing Competitive Advantage?”
 Cypress Semiconductor, Intel, SiTime, Sony

6 IEEE NANO2006報告

ノーベル化学賞受賞 John Fenn 7月17~20日米国オハイオ州シンシナティにおいて“IEEE Nano 2006”が開催されました。IEEE Nanoは米国NNIの開始に合わせ始まり今年は第6回となりますが、昨年は名古屋で開催されています。セッションは13に分かれトータル247件の口頭発表がありました。セッションではNanoelectronics & Nanodevices, Nanobiofusion, Nanofabrication, Nanosensors, System Inregration等に興味を持って参加しました。
 国別では開催国の米国が168件と最も多いのですが、それ以外ではアジア諸国の発表件数が多いのが印象的でした。ちなみに2位以降は台湾(24件)、日本,中国(11件)、シンガポール,ドイツ,カナダ(7件)、イタリア(6件)、韓国(5件)と続きます。
 基調講演では2002年にノーベル化学賞を受賞したJohn Fenn博士がMolecular Beam Spectroscopyの講演を90歳とは思えないしっかりした口調で行われ、また、最年少の参加者はわずか14歳とナノテク研究の広がりを感じた学会でした。
第7回のIEEE Nanoはアジアの活発な研究活動を反映し香港で開催されます。






1 マイクロナノ2006の開催

 今年から、毎年行っておりましたマイクロマシン展、国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム、プロジェクト成果発表会を包含して、ビジネス交流の場としての総合イベント「マイクロナノ」として11月6日(月)~9日(木)の期間に開催します(会場は東京国際フォーラム、一部三菱ビル(丸の内))。

 今年は、MEMS協議会からの情報発信の場としての「MEMSフォーラム」、及び、MEMS分野の国際標準化への戦略的展開を意図して「MEMS国際標準化ワークショップ」を追加いたしました。これらマイクロマシン、MEMS関係の総合イベントとすることで、国内外からのマイクロナノ関連団体・企業とのビジネス交流・連携が一層深められるものと期待しています。

 「マイクロナノ2006」のイベント構成は次のとおりで準備中です。
  → http://www.mmc.or.jp/business/micronano2006/micronano2006.html

●マイクロナノ2006の各イベント
 展 示 会 Exhibition
 □ 第17回マイクロマシン展
  -超精密・微細加工・MEMS・ナノテク等に関する国際展示会-
11月7日-9日
 10:00~17:00
 会 議 Conferences
 □ MEMS国際標準化ワークショップ
  -マイクロナノ材料評価技術の最前線-
11月6日(月) 三菱ビル
10:00~16:45
 □ MEMSフォーラム
  -MEMS関連産業の発展を目指して-
11月7日(火)
 10:00~16:35
 □ 第12回国際シンポジウム
  -ナノ・集積化MEMSのイノベーション創出とビジネス最前線-
11月8日(水)
  9:15~17:55
 □ MemsONE成果発表会
  -MemsONEの機能・特徴の紹介と活用方法デモ-
  -α版・β版リリース案内-
11月9日(木)
 13:30~16:15
 同 時 開 催
 □ MicroTAS2006 11月5日(日)-9日(木)




1 月例経済報告 (平成18年7月)

  内閣府が発表した月例経済報告(平成18年7月)の総論部分は次の通りです。

(我が国経済の基調判断)
 景気は、回復している。
 ・企業収益は改善し、設備投資は増加している。
 ・個人消費は、緩やかに増加している。
 ・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善に広がりがみられる。
 ・輸出、生産は緩やかに増加している。
 先行きについては、企業部門の好調さが家計部門へ波及しており、国内民間需要に支えられた景気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要がある。

(政策の基本的態度)
 政府は、7月7日、成長力・競争力強化、財政健全化及び安全・安心で柔軟かつ多様な社会の実現に取り組むため、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2006」を閣議決定した。今後、本基本方針に基づき、構造改革を加速・深化する。
 日本銀行は、7月14日、ゼロ金利を解除し、無担保コールレート(オーバーナイト物)を0.25%前後で推移するよう促すこととした。
 重点強化期間内におけるデフレからの脱却を確実なものとし、物価安定の下での民間主導の持続的な成長を図るため、政府・日本銀行は一体となった取組を行う。
  情報入手: http://www5.cao.go.jp/keizai3/2006/0516getsurei/main.html


2 特集「新経済成長戦略」について 

 (注)大臣ご挨拶並びに本座談会は、財団法人経済産業調査会発行「経済産業ジャーナル」2006年7月号から転載したものです。なお、座談会における内容や役職は会談時のものです(北畑氏は、平成18年7月より経済産業事務次官)。

3 産業競争力のための情報基盤強化税制の創設について

 情報セキュリティ強化と国際競争力強化の観点から、高度な情報セキュリティが確保された情報システム投資を促進するため、「産業競争力のための情報基盤強化税制」が創設されました。詳細は下記のとおりです。
情報入手:http://www.meti.go.jp/policy/it_policy/zeisei/index.html

 

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