１ 平成21年度の事業計画等に係る運営関係会議の開催
（財団法人マイクロマシンセンター及び技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所の平成２１年度事業計画・収支予算の承認等について）
上記の件について、以下の日程で各運営関係の会議が開催されました。詳細は広報誌６７号に掲載予定ですが概要は以下のとおりです。また、３月２４日の技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所総会終了後には、設立パーティが開催され、組合の設立のお祝いと関係者の労が労われました。
１ 財団法人マイクロマシンセンター各運営関係会議の開催
(１）第４回運営政策小委員会、第４回運営委員会合同委員会の開催
日時・場所：３月１９日（木）１４：００～１５：００ MMCテクノサロン
(２）第４回評議員会
日時・場所：３月２４日（火）１５：００～１５：４０ MMC会議室
(３）第２回通常理事会
日時・場所：３月２４日（火）１５：５０～１６：３０ MMCテクノサロン
２ 技術研究組合BEANS研究所平成20年度第１回臨時総会の開催
日時・時間：３月２４日（火）１６：４０～１７：３０ MMCテクノサロン
３ 設立パーティ
日時・場所：３月２４日（火）１７：４５～１９：００ あべにゅー
千代田区神田佐久間河岸８２－５
４ 財団法人マイクロマシンセンターの平成2１年度事業計画の概要
財団法人マイクロマシンセンターの平成2１年度事業計画は、3月19日(木)の運営委員会及び3月24日(火)の第4回評議員会、第2回通常理事会において審議の上、承認されました。計画概要はMMCのHP上ならびに広報誌「マイクロナノ第67号」に掲載される予定ですが概要は次のとおりです。
平成21年度においては、平成18年度より3カ年計画で開発がスタートした「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」（通称：ファインMEMSプロジェクト）に関して、プロジェクトの当初目標を十分に達成して終了したことを受け、開発成果の普及促進に注力することとします。
また、平成20年度から5年プロジェクトとしてスタートした受託事業「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト」（通称：BEANSプロジェクト）については、技術研究組合BEANS研究所にプロジェクトの実施主体が移行することを受け、当センターは同組合に組合員として参画し、引き続きプロジェクトの推進に関して人材面、資金面も含めて支援・協力することとなりました。
さらに平成21年度においては、現下の厳しい経済状況であればこそ、先端技術をベースにしたわが国の産業競争力の強化が重要であるとの認識から、平成18年4月に発足したMEMS協議会の政策提言活動や産業交流・活性化事業等の活動を通じて、MEMSにおける産業化・研究開発の一層の活発化のための環境整備活動をこれまで以上に強化していくとともに、調査研究事業、標準化推進事業、普及促進事業等も、前年度に引き続き積極的に推進していくこととしています。
５ 技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所の平成21年度事業計画の概要
平成21年度のＢＥＡＮＳプロジェクトは、サイエンスとエンジニアリングを融合させ、将来の革新的次世代デバイスの創出に必要な新しいコンセプトに基づき、基盤的プロセス技術群を開発し、かつ、そのプラットフォームを確立することを目的とし、我が国のものづくりを支える中核デバイスの国際競争力強化を目的とした「ロボット・新機械イノベーションプログラム」の一環として、以下の研究開発項目について研究開発を実施します。
■バイオ・有機材料融合プロセス技術の開発
(1) ナノ界面融合プロセス技術
（2) バイオ・有機高次構造形成プロセス技術
■３次元ナノ構造形成プロセス技術の開発
(1) 超低損傷・高密度３次元ナノ構造形成技術
(2) 異種機能集積３次元ナノ構造形成技術
(3) 宇宙適用３次元ナノ構造形成技術
■マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発
(1) 非真空高品位ナノ機能膜大面積形成プロセス技術
(2) 繊維状基材連続微細加工・集積化プロセス技術
■異分野融合型次世代デバイス製造技術知識データベースの整備
２ 技術研究組合BEANS研究所の発足
ＢＥＡＮＳプロジェクトを平成21年度から技術研究組合のもとで実施することになり、そのための技術研究組合設立に向け作業を進めてきましたが、３月２４日に設立の運びとなりました。わずか３カ月の設立準備期間でしたが、この間の組合員はじめ関係各位のご協力・ご支援に感謝申し上げます。
１月１６日の関係者説明会（設立準備会）、２月３日の発起人会、２月２０日の創立総会・理事会を経て各社ご協力のもとに認可申請書を整えまして、３月６日には経済産業大臣に申請し、３月１９日に認可が下り、２４日に設立登記が完了しましたのでこの日が設立日となりました。また、同日付で開催されました臨時総会で平成２１年度の事業計画・収支予算が承認され、スムーズに４月１日の事業開始となりましたことを報告させて頂きます。
事業開始以降は、野間口理事長のもと、わが国ＭＥＭＳ産業の発展のために、財団法人マイクロマシンセンターと力を合わせ、車の両輪として頑張って参りますので、今後ともご理解・ご支援をよろしくお願いします。
詳細は、以下のＨＰをご参照下さい。
http://www.beanspj.org/lab/index.html
３ 平成20年度の成果報告
１ 企業動向調査報告
マイクロマシンセンターは、平成20年度NEDO技術開発機構の調査委託事業として、MEMS技術動向、MEMSアプリケーション動向、MEMS関連企業動向からなる「国内外技術・産業動向調査」をまとめました。
技術動向については、MEMS国際会議での発表論文から現在や将来動向を示唆することができるものと思われるため、MEMS技術が応用されるアプリケーションの観点から、過去８年程度の傾向を、発表地域ごとに調査しました。発表論文数は年々増加しており、バイオ・メディアカル応用を中心に北米、日本で新しい応用を目指した発表が増えています。また、発表論文数とともに企業の競争力を表す指標として、特許出願数がしばしば用いられるため、2000年以降の特許公開公報（日本出願）により傾向を追加調査しました。特許については、日本企業よりも海外企業からの出願が多く、また、その傾向としては、流体、バイオメディカル応用についての出願が目立っています。
MEMSアプリケーション動向については、現在市場を牽引している自動車機器分野で安全・安心のためのコントロール機器へのMEMS応用が加速し、その他の機器分野においてもデバイスのモジュール化が進むことにより第1世代から第2世代MEMSへの展開が進んでいます。また、医療機器分野ではヘルスケア、治療・診断機器への新しいアプリケーションが現実に出始めました。
MEMS関連企業動向としては、MEMSデバイスメーカとして、電子部品メーカーの他、総合電機、半導体、機械、化学など多くの業種の企業が参入している結果が出ました。また、これら企業が取り組んでいるMEMSの傾向は、研究開発・検討段階のMEMSを含めると、図のとおりとなっています
２ 標準化報告（MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化）
この報告書は、経済産業省より受託して平成21年3月に終了した「平成20年度MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化」プロジェクトの成果を発行したものです。
プロジェクトは全体を統括する標準化推進委員会と、研究開発を行う委員会で推進しました。研究開発は寿命加速試験法、計測装置校正用標準試験片、接合強度試験法の3つのグループに別れ、それぞれ大学への再委託で研究開発を行いました。
報告書第一部は寿命加速試験に関するもので、名古屋大学、京都大学、熊本大学、名古屋工業大学、兵庫県立大学の研究開発内容が報告されています。MEMS構造体を対象として、試験は共振振動による高頻度荷重を加えるものです。規格案として試験測定法や試験片について作成し、IECに提案されました。
第二部は計測装置校正用標準試験片にかんするもので、東京工業大学、東北大学、大阪大学、神戸大学の研究開発内容が報告されています。金属ガラスによる微小片持ち梁試験片に加重を加え、荷重を加えた位置と変位により計測装置を校正するものです。
第三部は接合強度試験法に関するもので、東京工業大学、熊本大学、兵庫県立大学の研究開発内容が報告されています。MEMS構造物とその基板との接合強度を試験するため、円柱形状の微小試験片を用いる方法を構築しました。
計測装置校正用標準試験片と接合強度試験法はIECへの提案を今秋までに行う予定です。
３ 国内外技術動向調査報告
本調査は、国内外の最新かつ詳細な情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的とし、平成5年度より継続して行ってきました。本年度は、上期に初めてAPCOT2008を調査対象として、発表分類調査及び分野別発表動向調査を行いました。下期は例年通りMEMS2009の発表分類調査と分野別動向調査を実施しました。APCOT(Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology )は、アジア、太平洋地域でのMEMS／ナノテク分野の研究開発事例が発表される国際会議で、2002年に中国・アモイ市で第1回が開催されて以来、隔年で開催されています。第2回は2004年に札幌市、第3回は2006年にシンガポールで開催されました。第4回となる今回は、2008年 6月22日(日)～25日(水)の日程で台湾の台南市で開催されました。MEMS2009はIEEEのMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 技術に関する国際会議で、22回目となる今回は、2009年1月25日（日）～29日（木）の日程でイタリアのソレントで開催されました。本報告書は、国内外技術動向調査事業の成果として、上述の内容を平成20年度の分野別動向調査結果としてまとめたものです。
４ JISに新たなMEMS規格2件を制定
日本工業規格にMEMS規格が新に2件制定されました。JIS C5630-2として「マイクロマシン及びMEMS-第2部：薄膜材料の引張強さ試験方法」が、JIS C5630-3として「マイクロマシン及びMEMS-第3部：薄膜材料の標準試験片」が平成21年3月に制定され、日本規格協会より発行されました。
これらの規格は、日本よりIECに提案して採択された国際規格IEC62047-2及びIEC62047-3を改めて検討し、JISとして提案、採択されたものです。JIS規格構築作業は日本規格協会の助成を受け、MMC内に委員会を設置して実施しました。
試験は微小薄膜試験片の両端をつかみ、引張荷重を加えてその伸びを計測します。「第2部：薄膜材料の引張強さ試験方法」は、試験方法及び試験機、試験片、試験報告が規定され、附属書には試験片の装着方法、試験条件の項目、試験片が記述されています。「第3部：薄膜材料の標準試験片」は、試験片の材料、試験片の作成、試験片の平面形状、試験片の厚さ、標点、試験、標準試験片に添付する文書が規定され、附属書には試験片のフォトマスク、厚さの測定及び測定のための個数が記述されています。
５ IECへ新たなMEMS規格を提案
MEMS関連のIEC規格は5件が制定されていますが、新たな提案として「A method for fatigue testing thin film
materials using the resonant vibration of a MEMS structure」を2月末にIEC事務局に提案しました。
この規格は経済産業省より受託して平成21年3月に終了した「平成20年度MEMSデバイス機構材料の特性計測評価方法に関する標準化」プロジェクトの成果として作成したものです。MEMSはメカニカルな部分があり、この機構部分は疲労します。プロジェクトでは、共振振動による機構部分の疲労加速試験を研究し、国際規格案を作成しました。規格案は、試験機器、試験片、試験条件、初期測定、試験、報告という内容で構成されています。共振振動を加える方法のサンプルや、結果の解析方法についてはAnnexに載せています。
提案は事務局より各国に5月末提案期限で回付中です。承認されれば6月に韓国で開催されるIEC会議で検討される予定です。
４ ファインMEMSプロジェクト 大きな成果で無事終了
本研究開発プロジェクトは、いままで個別に開発されてきたセンサや通信用MEMSデバイスを高集積化・複合化する製造技術を開発すべく、国/NEDOによる事業として平成18年にスタートしました。
具体的には、
１,MEMS／ナノ機能の複合、
２,MEMS／半導体の一体形成、
３,MEMS／MEMSの高集積結合、
４,高集積・複合MEMSに関する知識データベースの整備、の4つの研究課題に計１６の参画事業者が取り組んで参りましたが、本年3月に無事終了しました。
2月25日に開催された最終の第11回ファインMEMS推進連絡会で、各事業者がそれぞれの達成成果を報告し合い、プロジェクトリーダの東大下山教授、サブリーダの立命館大杉山教授の両氏もそれぞれ優れた内容となったと大変満足されていました。わが国のMEMS研究開発およびMEMS産業動向の中でも、集積化･複合化に焦点を当てたこの取り組みは初めてであり、かつその内容は、積層MEMSを核として、それぞれの内容としては世界に先駆たものとなっており、まさに高機能必須デバイス創出に向けたわが国第２世代MEMSの製造基盤の確立を実現させたことは特筆に価します。今後は、これをわが国産業界の強みとして確固たるものとすべく先導的役割を果たす開発製造試作拠点、等の確保が課題となりましょう。
マイクロマシンセンターとしてもプロジェクトの運営管理支援に従事するとともに、研究開発内容の知識情報の収集・整理・構築を行う高集積･複合MEMS知識データベースの整備に取り組み、当初の目標を完遂しました。知識データベースとして最終的に1500件以上のコンテンツを収録でき、さらにその内容についても本データベースのエンジンであるWikiシステムの特性を活用し本プロジェクトに参画する研究者同士の活発な意見交換を経てその内容の質的レベルも向上させることができました。また、平成19年度に追加受託したファインMEMS一体化設計プラットフォームの研究開発に関しても、MemsONEなどの３DCADとの相互変換機能やコンポネント化した等価回路モデルの接続機能、電気的、機械的特性を出力する機能などを装備、MEMS等価回路ジェネレータと称して、H19年度の成果と合わせてWebシステムを構築しました。そして、このMEMS構造の考え方は新しいＭＥMS設計手法として、日本機械学会マイクロナノ工学専門会議主催の「電気等価回路から考えるMEMS設計手法研究会」を発足させるなどの発展を見せている。これらファインMEMS知識データベースとMEMS等価回路ジェネレータは合わせてH21年度より広く公開する予定です。
これからも、ファインMEMS全体の成果について、広く知っていただくような工夫を進めてまいります。ご期待下さい。
５ BEANSプロジェクト-----平成20年度の成果-------
現在、拠点の場所と開発テーマなどから5つのセンター（Life BEANS、Life BEANS九州、3D BEANS、3DBEANS滋賀、Macro
BEANS）に分けられている。センター毎に平成20年度（昨年7月から本年3月までの９ヶ月間）の主な成果報告です。
■Life BEANS：
| 特許出願 |
「細胞の三次元階層的共培養 特願2008-317519」 |
| 学会発表 |
MEMS2009、IDW2008、第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム等に17件の論文発表。 |
| 新聞発表 |
「身長5ミリ！？階層化された細胞組織の立体形成に成功」2009.01.22.
竹内昌治東大准教授らは異なる種類の細胞を階層的に配置した均一直径のカプセル作製に成功した。これにより、生体のように様々な種類の細胞が階層的に配置されている組織を形成でき、動物実験なしに薬物に対する反応を調べることが可能になり、再生医療への応用も期待できる。 |
■Life BEANS九州：
| 特許出願 |
「真空蒸着による有機材料のナノドット形成とそれを活用したデバイス構造」「中性粒子ビーム照射による有機薄膜の凝集状態制御と光学・電気特性への影響」など2件出願 |
| 学会発表 |
第56回応用物理学会に2件の論文発表。
真空蒸着等により低分子有機材料の自己組織的ナノドット形成に成功した。また中性粒子ビーム照射により有機薄膜の凝集状態制御をおこなうことで光学・電気特性への影響を調べた。はじめて有機材料に対しての中性粒子ビームの効果を検討した。 |
■3D BEANS：
| 特許出願 |
「中性粒子ビーム測定装置及びその測定方法 特願2009-080081」 「マイクロウェルプレート」など2件。 |
| 学会発表 |
第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム、化学工学会、第56回応用物理学会などに5件の論文発表。
8インチ対応中性粒子ビームエッチング装置を開発導入した。ビーム特性や分布の測定手法を確立した。従来の無機材料に加えて有機材料にもビーム照射を試み、興味深い結果を得た。量子ドットでは減圧MOCVD法を用いて300nm以下で発光するInAlGaNドット形状の作製に成功した。超臨界流体を用いたSiO2成膜では従来問題となっていた粉体発生のないプロセスを開発した |
■3D BEANS滋賀：
| 特許出願 |
「光学フィルタ及びその製造方法」、「光学素子及びその製造方法」など2件。 |
| 刊行物発行 |
USEFレポートに「BEANS活動報告」を発表。
観測衛星に適用可能な赤外領域のマルチバンド観測センサ用の光学フィルタを3次元ナノ構造形成技術を適用して開発する。今期はプロセス開発を開始し、陽極酸化法で均一なアルミナ細孔ができる条件を検討した。一方また通常の露光法で試作したフィルタを用いて光学特性等の計測および詳細な光学シミュレーションも行った。 |
■Macro BEANS：
| 特許出願 |
「紫外線露光による傾斜側壁の形成方法」及び「ミストジェット式印刷装置」など2件出願。 |
| 学会発表 |
第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム、第2回数値流体力学シンポジウム等に4件の論文発表。
大面積・大気圧成膜および繊維状基材への微細加工の実験システムの構築に進展があった。また、今回の新規プロセスの開発に必要な様々なシミュレーション分野において多くの学会発表がなされた。。 |
■本部：
様々な国際学会やシンポジウムの場を活用してBEANSプロジェクトの紹介を行った。第14回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム@有明ワシントンホテル、COMS2008@Mexico、MINAPIM
Seminar@Manaus(Brazil)、The15thIDW@新潟、UC Berkeley Tokyo MEMS/NEMS Symposium@天王洲アイル、第五回豊橋技術科学大学産官学交流フォーラム等で口頭発表。また展示関係では、第19回マイクロマシン/MEMS展@東京ビッグサイト、第25回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム@沖縄、NANO
KOREA 2008-Microtech World@韓国など国内外の展示会に出展し広くBEANSプロジェクトの紹介を行った。
６ ニュースの名称変更について
当ニュースは、ナイクロナノ分野のマンスリーでのクイックレポートとして、財団法人マイクロマシンセンター事業や平成18年4月に発足したMEMS協議会活動を中心に記事を掲載してきましたが、今号（平成２１年４月号）より、技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所が事業活動を開始したことに伴いまして、名称を「ＭＭＣ－ＭＩＦ－ＢＥＡＮＳニュース」と変更いたしました。
今後は、ＢＥＡＮＳプロジェクトの活動や成果をリアルタイムでお伝えする広報媒体の性格も併せ持たせまして、読者の皆様方により広範なナイクロ・ナノ分野の情報媒体として内容を充実してまいりますのでよろしくお願い申し上げます。
１ ハノーバ・メッセ出展の案内（2009年4月20日～24日）
MMCではMEMS協議会の活動の一環として毎年、海外アフィリエートであるドイツiVAMが主催するハノーバ・メッセ、MicroTechnoplogy
Fairに出展します。4年目となる今年は、昨年からの経済状況の急激な悪化の影響により、会員企業様からの出展協力も縮小を余儀なくされました。しかし、このような状況下でも一部企業様からパネル展示によるサポートを得ることができ大変喜んでいます。
今年のハノーバ・メッセは4月20日（月）～24（金）の5日間開催され、MMCではMEMS協議会活動、fineMEMS、BEANS、そして会員企業のパネル展示を予定しています。また、会期中開催されるフォーラムでは、BEANSプロジェクトから３D
BEANSセンター長である東大杉山正和先生、Life BEANSセンター九州の中田学様（パナソニック電工（株）より出向）、さらに産総研から前田主幹研究員、Lee研究員、MMCから安達が講演を予定しています。
企業関係者の皆様には厳しい状況ではございますが、メッセへのご参加も検討いただければ幸いです。
２．第15回国際マイクロマシンサミットの開催案内(2009年5月5日～5月8日)
第15回国際マイクロマシンサミットが平成21年5月5日（火）～5月8日（金）に、カナダ・アルバータ州エドモントン（Edmonton,Alberta,CANADA）にて開催されます。
日本から下山 勲教授（東京大学大学院情報理工系研究科長）をチーフデリゲートに、MEMS協議会メンバー企業であるオムロン㈱、オリンパス㈱、三菱電機㈱からなる代表団を派遣致します。
国際マイクロマシンサミットは日本の提案により平成７年３月に京都で開催されたのが始まりで、以後、各国持ち回りで行われ、オーストラリア、カナダ、中国、フランス、ドイツ、イスラエル、日本、韓国、シンガポール、インド、スイス、台湾、イギリス、米国、及び、ベネルクス、ノルディク、ラテンアメリカ、地中海沿岸地域の国々が参加し、各国のマイクロマシン/MEMSやナノテクの取組状況と課題、ならびに世界の産・学研究機関での最先端の研究成果等の発表がなされ、討議が行われます。
第15回となる今年の国際マイクロマシンサミットは、エネルギー・環境に貢献するマイクロマシンテクノロジーの役割を基本テーマに、次の内容での2日間の発表・討議が行われることになっています。
１．各国/地域のレビュー
２．各国のMEMS/ナノテクの現状と施策
３．MEMS/ナノテクの研究開発最前線、重要分野、マーケット予測
４．MEMS/ナノテクの産業化、標準化、ファンダリー、商品化ロードマップ
５．MEMS/ナノテクの教化、教育、訓練
６．国際協力
詳細な内容は、マイクロマシンセンターのホームページをご覧下さい。
３ IEC会議及び第5回日韓中MEMS標準化ワークショップの開催（2009年6月16日～19日）
IECのSC47E/WG1（センサ）、SC47E/WG2（マイクロ波デバイス）及びSC47F/WG1（MEMS）のアドホック会議、並びに第5回日韓中MEMS標準化ワークショップが以下の要領で開催されます。SC47F/WG1では、「ウエハ・ツー・ウエハ接合試験法」、「薄膜曲げ試験法」、「FBAR-Filter」、「RF-MEMSスイッチ」及び日本が新規に提案した「共振振動を用いた疲労試験法」が審議される予定です。
日韓中MEMS標準化ワークショップは、日本、韓国、中国の３ヶ国におけるMEMS標準化に関する情報交換・協力推進の場として2005年に東京で第１回が開催され、以降3ヶ国の持ち回りでIECのMEMS標準化会議に合せて開催されています。
◇場所；済州島（韓国）
◇スケジュール
・2009年6月16日（火）；SC47E/GW2（マイクロ波デバイス）
・2009年6月17日（水）；SC47F/WG1（センサ）、SC47F/WG1（MEMS）
・2009年6月18日（木）；SC47F/WG1（MEMS）
・2009年6月19日（金）；第5回日韓中MEMS標準化ワークショップ
４ マイクロナノ2009の開催案内（2009年7月29日～31日）
マイクロナノ／MEMS分野の最新技術・製品が効果的に一望できる総合イベント「マイクロナノ２００９」平成２１年7月29日（水）～７月31日（金）の３日間、東京ビッグサイトで開催することで準備を進めています。
今年は、世界最大規模のMEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会「マイクロマシン／MEMS展」が第20回目を迎える節目にあたり、展示会ではマイクロナノ／MEMS分野の産業展開をよりビジュアルに表した特別展示や、展示会場内に設けた特設会場においては、マイクロナノ／MEMS分野の国内外先端技術動向や海外の産業化動向の他、「マイクロマシン／MEMS展」の20周年を記念した特別プログラムなど、多彩なプログラムを計画しています。
■展示会
『第20回マイクロマシン／MEMS展』
（MEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会）
会期：7月29日（水）～7月31日（金）の3日間
会場：東京ビッグサイト 東５ホール
■同時開催シンポジウム・カンファレンス：
会場はいずれも『第20回マイクロマシン／MEMS展』展示会場内特設会場を予定。
①第15回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム－MEMS World－
②MEMS協議会フォーラム（MEMS協議会からの情報発信）
③MEMS協議会産学連携ワークショップ
④BEANSプロジェクトセミナー
⑤ファインMEMSプロジェクト成果発表会
⑥日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム
⑦MEMS実装・パッケージングフォーラム
【ご出展お申込み・お問い合わせ先】
マイクロマシン／MEMS展事務局
メサゴ・メッセフランクフルト株式会社
〒102-0073
東京都千代田区九段北２－３－７ 前川九段ビル３F
Tel. 03-3262-8453
Fax. 03-3262-8442
E-mail. info@micromachine.jp
Website. www.micromachine.jp
５ アフィリエート関係のイベント
１ FAIS（（財）北九州産業学術推進機構産学連携センター）関連イベント
４月「技術革新新講座」 ＊製造系（メーカー）の皆様へ
◆主催 北九州イノベーションギャラリー（産業技術保存継承センター）
◆日時 ２００９年４月２１日（火） １４：００～１５：３０
◆場所 北九州イノベーションギャラリー「プレゼンテーションスタジオ」
北九州市八幡東区東田2－2－11 (ＪＲスペースワールド駅徒歩5分)
◆内容 「時計からプリンターへ ～応用技術の成功事例、事業転換や進化など～ 」
◆講師 三石 明生（株）東北エプソン常勤監査役・セイコーエプソン(株）参与。
◆参加 無 料（定員５０名）
「実環境計測・診断システム協議会主催講演会」のご案内
○開催日時：平成21年4月24日（金）15:00～17:00（17:15～懇親会）
○開催場所：（財）福岡県中小企業振興センター 301会議室
（JR吉塚駅東口を出てすぐ）
○プログラム：
15:00～16:00 講演１
講師：産総研 先進製造プロセス研究部門 インプリント製造技術研究グループ
研究グループ長 高橋正春 氏
演題：「ナノインプリント技術の開発～ナノ製造の低コスト化～」
16:00～17:00 講演２
講師：産総研 ダイヤモンド研究センター 研究センター長 藤森直治 氏
演題：「ダイヤモンドは材料のフロンティア」
17:15～18:45 懇親会（202会議室） １名様につき会費３千円
【問い合わせ先】
産業技術総合研究所 九州産学官連携センター
実環境計測・診断システム協議会事務局
E-Mail: jit-con-jim@m.aist.go.jp
TEL: 0942-81-3674
２ MEMSパークコンソーシアム関連イベント
「東北地区ナノテクノロジー・ネットワーク H21電子線描画リソグラフィスクール」
文部科学省ナノテクノロジー・ネットワーク事業の一環として、産学官の研究者に電子線描画リソグラフィ技術を中心とした超微細加工に関する装置やその原理を学習する場と、電子線描画リソグラフィ技術を実地に習得する機会を提供し、ナノテクノロジーにおける人材育成に貢献する。
・講義
日時 : 5月26日（火） 13:00 ～ 16:30 (実習者 ～ 18:00)
場所 : 東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター 3階セミナ―室
http://www.eng.tohoku.ac.jp/map/?menu=campus&area=a の⑭の建物
講師 : 生津英夫氏(NTTアドバンステクノロジー)、山本治朗氏(日立中央研究所)、宮本恭幸氏(東京工業大学)、レイモンド ラウ氏(ズース・マイクロテック)
・実習
日時 : 5月27日（水）～ 29日(金) 13:00 ～ 16:30
場所 : 東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター ナノマシニング棟
主催 : 東工大 量子ナノエレクトロニクス研究センター
(http://www.pe.titech.ac.jp/qnerc/jp/index-j.shtml)
東北大 ナノテク融合技術支援センター （http://cints-tohoku.jp/）
・参加費 : 無料
申込 : 3月23日（月）～4月16日(木) 正午
問合先 : 東北大学ナノテク融合技術支援センター 事務局
e-mail : cintsoffice@rpip.tohoku.ac.jp
Tel: 022-217-6037 Fax: 022-217-6047
１ 経済政策動向
１．経済政策動向
■月例経済報告（３月１６日）
３月の月例経済報告では景気の基調判断について、「景気は、急速な悪化が続いており、厳しい状況にある。先行きについては、当面、悪化が続くとみられ、急速な減産の動きなどが雇用の大幅な調整につながることが懸念される。加えて、世界的な金融危機の深刻化や世界景気の一層の下振れ懸念される。」としています。
政府は、当面は「景気対策」、中期的には「財政再建」、中長期的には「改革による経済成長」という３段階で、経済財政政策を進めるとしていますが、当面、景気対策を最優先で進めるため、総額７５兆円程度の経済対策を着実に実施することとし、このため、平成２１年度予算及び関連法案の早期成立に努めるとしています。また、日本銀行が、内外の厳しい経済金融情勢の下、政府とマクロ経済運営に関する基本的視点を共有し、適切かつ機動的な金融政策により経済を下支えすることを目的として、２月１６日、社債買入れを含む企業金融支援策の拡充及び金融市場安定化のための時限措置の延長等を決定しました。
詳しくは以下の資料をご参照ください。
○ 月例経済報告関係資料
http://www5.cao.go.jp/keizai3/2009/0316getsurei/main.pdf
■経済産業省の主な経済指標（鉱工業指数調査 ２００９年２月分 2009年3月30日）
経済産業省は、商鉱工業及びサービス業など幅広い分野にわたって統計調査を実施しており、それらの調査・分析結果について取りまとめた統計をホームページ上に公表しています。これは鉱工業製品を生産する国内の事業所における生産、出荷、在庫に係る諸活動、製造工業の設備の稼働状況、各種設備の生産能力の動向、生産の先行き2ヶ月の予測の把握を行うものです。
(1) 今月は、生産、出荷、在庫が低下、在庫率は上昇であった。
(2)製造工業生産予測調査によると、３月、４月とも上昇を予測している。
(3)総じてみれば、生産は急速に低下している。
2月の生産・出荷・在庫動向
1. 生産
2月の生産は、前月比▲9.4%の低下と5か月連続の低下(前年同月比は▲38.4%の低下)となり、指数水準は 68.7(季節調整済)となった。生産の低下に寄与した業種は、輸送機械工業、一般機械工業、電気機械工業等 であった。品目別にみると、普通乗用車、小型乗用車、シャシー・車体部品の順に低下に寄与している。
2. 出荷
2月の出荷は、前月比▲6.8%の低下と5か月連続の低下(前年同月比は▲36.8%の低下)となり、指数水準は 70.9(季節調整済)となった。出荷の低下に寄与した業種は、輸送機械工業、一般機械工業、電気機械工業等すべての業種であった。
3. 在庫
2月の在庫は、前月比▲4.2%の低下と2か月連続の低下(前年同月比は▲1.7%の低下)となり、指数水準は 103.7(季節調整済)となった。在庫の低下に寄与した業種は、輸送機械工業、電子部品・デバイス工業、情報通信機械工業等であった。
2月の在庫率は、前月比4.6%の上昇と5か月連続の上昇(前年同月比は60.9%の上昇)となり、指数水準は 158.2(季節調整済)となった。
製造工業生産予測調査
製造工業生産予測調査によると、3月は前月比2.9%の上昇、4月は同3.1%の上昇であった。3月の上昇は、輸送機械工業、化学工業、電気機械工業等により、4月の上昇は、化学工業、輸送機械工業、電子部品・デバイス工業等による。2月の実現率は▲3.7%、3月の予測修正率は▲3.6%となった。
http://www.pe.titech.ac.jp/qnerc/jp/index-j.shtml
鉱工業指数
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-2.html
２ 産業技術政策動向■総合科学会議の動向
総合科学技術会議は、平成２１年３月２３日（月）に開催した「分野別推進総合ＰＴ ナノテクノロジー・材料ＰＴ」の配布資料を公開しました。（３月２７日）
資料はこちらをご覧ください。
http://www8.cao.go.jp/cstp/project/bunyabetu2006/nano/10kai/haihu10.html
■平成２１年度産業技術関連予算の概要
経済産業省の産業技術予算のうち、「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発」については、ＮＥＤＯ運営交付金４７２億円の内数として認められています。
http://www.meti.go.jp/press/20081224001/20081224001-5.pdf
（「イノベーション創出を取り巻く関連政策動向」は、今月号はお休みさせて頂きます。）
■NEDO産業技術政策関連
○ＮＥＤＯ海外レポート
1041号 - 平成21年3月25日 燃料電池・水素特集
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/1041/index.html
1042号 - 平成21年4月8日 地球温暖化特集
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/1042/index.html
１ 財団法人マイクロマシンセンターの組織変更及び技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所の組
織体制について
○ 平成21年4月1日付けで、財団法人マイクロマシンセンターの組織変更がありました。
詳細は以下の通りです。
１）ＢＥＡＮＳ研究所が、技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所として、財団法人マイクロマシンセンターから切り離された別組織となりました。
２）ＭＥＭＳ協議会（特別事業委員会）の更なる活動拡大を目指して、財団法人マイクロマシンセンター内に事務局を設置しました。
３）昨今の標準化業務の活動拡大から、調査研究部を、調査研究・標準部に名称変更しました。
４）マイクロナノに関するＭＥＭＳ開発成果の普及、情報サービス提供、広報拡充など普及促進業務の強化・拡充のために新たに普及促進部を設置しました。
○ 技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所の組織について
平成２１年４月１日付で発足した技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所の組織は以下の通りです。
２ 財団法人 マイクロマシンセンター、技術研究組合BEANS研究所の人事異動
財団法人マイクロマシンセンターの人事異動（新規採用者等主なもの）
平成21年4月1日付
(氏 名) （新） (旧)
片 白 雅 浩 採用（ＭＥＭＳ協議会事務局次長、
産業交流部国際交流担当部長）
野 村 正 昭 （併任）総務部総務担当部長 総務部総務課長
見 持 律 往 調査研究・標準部長 調査研究部長
内 田 和 義 調査研究・標準部担当部長 調査研究部主任研究員
小 池 智 之 （併任）普及促進部長 ＭＥＭＳシステム開発センター長
（技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所発足により、関係職員はＭＭＣ内ＢＥＡＮＳ研究所から組合に異
動・兼務出向になりました。）
技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所の人事異動（本部に係る主なもの）
平成21年4月1日付
(氏 名) （新） (旧)
遊 佐 厚 BEANS研究所長
竹 井 裕 BEANS研究所副所長
（知財・広報・国際交流・標準化担当）
安 達 淳 治 BEANS研究所副所長
（Life BEANSセンター担当）
（３Ｄ BEANSセンター担当）
（Life BEANSセンター九州担当）
武 田 宗 久 BEANS研究所副所長
（Macro BEANSセンター担当）
（併任）研究管理部長
入 江 康 郎 研究開発部長
鎌 田 光 治 事務局長
町 田 進 研究支援部長
山 川 浩 二 研究支援部管理担当部長
酒 向 幸 恵 研究支援部研究支援課課長代理
岡 野 恭 子 （採用）研究支援部研究支援課付）
（上記の者の一部を含め、技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所発足により、関係職員はＭＭＣ内ＢＥＡＮＳ研究所から組合に兼務出向になりました。また、関係研究員は、技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所の研究員として研究に従事することとなりました。）
３ 経済産業省の人事異動（関係先抜粋）
平成21年4月1日付
(氏 名) （新） (旧)
原 田 祥 久 製造産業局産業機械課技術班 産業技術総合研究所知能システム研究部門
情報化推進係長
岩 田 拡 也 産業技術総合研究所 製造産業局産業機械課技術班
知能システム研究部門 情報化推進係長
鴻 上 恵理香 （採用）製造産業局産業機械課
企画調整係
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