［No.2010-02］ 2010年２月１５日発行

１　第14回MEMS講習会の開催報告（2010年2月5日）

１．開会の挨拶　マイクロマシンセンター　青柳専務
２．御講演 　（１）「MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待」 立命館大学、杉山教授 　（２）「MEMSデバイスのマイクロナノ成形加工技術」 兵庫県立大学、服部教授 　（３）ファンドリーサービス産業委員会プレゼンテーション（加工・接合技術） 　　　①「アルバックのMEMSファンドリーサービス」 (株)アルバック、前平氏 　　　②「オムロンの8インチMEMS開発事例とファンドリーサービス」 オムロン(株)、井上氏 　　　③「融合型MEMSの加工技術」 オリンパス(株)、唐木氏 　　　④「MEMSデバイス開発の支援」産業技術総合研究所、高橋氏 　　　⑤「表面活性化法を用いたMEMSウエハ常温接合」 パナソニック電工(株)、長浜氏 　　　⑥「マイクロ流体デバイスの加工技術」 (株)日立製作所、小出氏 　（４）兵庫地区MEMS企業の技術紹介 　　　①「MEMS加工技術の現状と動向」 住友精密工業(株)、野沢氏 　　　②「シリコンセンシングのファンドリーサービス（受託加工）のご紹介」 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 (株)シリコンセンシングプロダクツ、田中氏	講習会風景
（５）MEMSデバイス評価技術 　　　①「MEMSデバイスの高精度環境試験技術について」 (株)第一科学、武田氏 　　　②「MEMSデバイスの信頼性に対する良品構造解析的アプローチ」　 沖エンジニアリング(株)、村原氏 　（６）ファンドリーサービス産業委員会プレゼンテーション（設計・解析技術ほか） 　　　①「MEMS用設計・解析支援ソフトMemsONE V3.0の紹介」　　日本ユニシス・エクセリューションズ(株)、前田氏 　　　②「MEMSの寄生容量抽出-形状シミュレータParadiseWorld-2に即して-」　　 (株)数理システム、水田氏 　　　③「ファンドリーサービス産業委員会活動紹介」 オムロン(株)、佐藤委員長
３．技術相談会 　（１）ファンドリーサービス産業委員会委員企業9社、製品・技術展示 　（２）(株)シリコンセンシングシステムズジャパン、(株)化繊ノズル製作所、カタログ展示	技術相談会風景
４．懇談会 　冒頭、青柳専務御挨拶に続いて、基調講演として杉山先生からMEMS応用システム・デバイスの最新動向についてお話しいただきました。そのあと、服部先生からテーマ講演「MEMSデバイスのマイクロナノ成形加工技術」があり、MEMS技術応用製品市場の隆盛には製造プロセスの大幅なコストダウンと人材育成が必要と指摘され、そのキーテクノロジーとして微細金型による成型加工技術についてご説明いただきました。 　テーマ講演のあと、ファンドリーサービス産業委員会プレゼンテーションに続いて、ゲスト講演として、シリコン深堀りドライエッチング技術を主力とした加工装置・ファンドリーサービスと、MEMSデバイス評価技術に関する御講演がありました。特に、MEMSデバイス評価技術は、半導体デバイス評価技術に比べて評価手法の確立・標準化が遅れている分野ですが、MEMS応用製品開発においては最も重要ともいえる要素技術であり、試作デバイスの評価結果を設計にフィードバックすることによって信頼性に優れたMEMSデバイス・製品が実現されることになります。微細なデバイス周辺の局所的な環境を高精度に制御する技術・装置とMEMS特有のプロセス診断・故障モード解析技術・サービスに関して貴重な御講演をいただきました。 　講習会のあとの技術相談会では、ゲスト出展者も含めた熱心な技術交流が行われ、会場を移しての懇談会では、ファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々、及び参加者の皆様との間で、くつろいだ雰囲気のなか、活発な情報交換が行われ、有益な講習会になりました。本講習会を盛り上げていただいたご関係各位に厚く御礼申し上げます。	懇親会風景

２　第２回MEMS協議会メンバー交流会の報告（2010年１月29日）

３　（技）BEANS研究所　第3回臨時総会報告（2010年1月29日）

技術研究組合ＢＥＡＮＳ研究所の平成２１年度第３回総会が１月２９日（金）商工会館６Ｇ会議室で開催されました。（１４：００～１４：３０） 　今回の臨時総会は、昨年６月に技術研究組合法が改正されたことに伴う新法対応とそれに伴う役員改選が議題でした。 　総会では、まず、新法対応にかかる定款変更が審議され了承されました。（定款変更案は主務大臣である経済産業大臣の認可が必要であることから、総会後、本案に基づき認可申請がなされました。） 　また、同じく役員改選も審議されましたが、これは新定款に基づく役員改選であるため、定款変更の大臣承認がなされてから効果を生ずるとした上で、総会の場で了承されました

４　国際特許流通セミナー報告（2010年1月26日）

国際特許流通セミナー会場風景

５　MEMS2010報告（2010年1月25日～28日）

国際会議MEMS2010(23rd IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)が香港のThe Hong Kong Convention Exhibition Center（1988年に完成されたアジア地区では最大の国際会議場で、1997年に香港が英国から中国に返還された式典の会場になったところ）で1月24日（日）～1月28日（木）に開催されました。 　MEMS2010ははマイクロ・ナノテクノロジー分野における主要国際会議で、アメリカ、ヨーロッパ/アフリカ、アジア/オセアニアの各地域から持ち回りで毎年開催されています。第23回目にあたる今年はアジア/オセアニアの番でThe Hong Kong University of Science and TechnologyのMan Wong先生と東大の鈴木雄二先生がGeneral Co-Chairsとなり開催されました。
MEMSはシングルオーラルセッションを堅持してきましたが、今年度から一部をパラレルオーラルセッションにする変更を行いました。投稿論文は過去最大の885件あり、25件がシングルオーラルセッション、50件がパラレルオーラルセッション、223件がポスターセッションに採択されました。全体の採択率は33.7%でした。地域別ではアメリカが130件（採択率46.3%）、ヨーロッパ/アフリカが55件（採択率30.7%）、アジア/オセアニアが113件（26.6%）とアメリカ地区の採択率が高くなっているのが、今年の特徴でした。国別ではUSAが126件で断トツの1位で2位が日本の49件、3位が台湾の28件でした。登録参加者は563人でアメリカ地区182名、ヨーロッパ/アフリカ地区115人、アジア/オセアニア地区266人でした。内容としては下記に示しますように、3件の招待講演と6のシングルオーラルセッション、10のパラレルオーラルセッション及び13分野のポスターセッションが4日に分けて開催されました。招待講演は台湾のファウンドリTSMCのB. J. Lin博士、スイスのETHのV. Vogel教授とUCLAのB. Dunn教授の３人でした。分野別の採択ではバイオ・医療関係が68件、RF-MEMS & Resonatorsが37件、Physical Sensors & Systemsが31件、Fabrication Technologiesが31件、流体関係が31件の順でした。 BEANSプロジェクトからは、以下の3件の発表がなされました。 １ 10A.3: CORE-SHEL GEL WIRES FOR THE CONSTRUCTION OF LARGE AREA HETEROGENEOUS STRUCTURES WITH BIOMATERIALS (H. Onoe et al.) コラーゲンゲルコアのアルギンファイバーに細胞を培養するとともに、複数の種類の細胞を培養したファイバーでTシャツを織ったものを発表 ２ MP16: MEMS-BASED EXPOSURE MODULE FOR CONTINUOUS LITHOGRAPY PROCESS ON FIBER SUBSTRATES (Y. Zhang et al.) 露光モジュールを使って、繊維基材の円筒表面へ露光する技術ならびに125μmファイバへの露光結果を発表 ３ TP181: TRANSPLANTATION OF A NEUROSPHEROID NETWORK ONTO THE RAT BRAIN (S. Takeuchi et al. PDMSの型に配置したNEUROSPHEROIDから神経回路網を形成させ、それを3次元にスタックしたあとラットの脳に転写することでラットの脳に神経回路網を形成できることを発表 　その他BEANS関連の発表として感じたことを以下に述べます。今回のMEMS2010では例年よりも繊維やフレキシブルデバイスの発表が多かったように思いました。例えばGeorgia Institute of Technologyからは市販のカーボンファイバにLPCVDでポリシリコン膜を付け、ボロンとリンドープを行ってp型とn型シリコンにして太陽電池特性が示せたことを発表していました。Macro BEANSセンターと同じようなウイービングMEMSの研究が出だしたという感じです。織物ではないですが、ストレッチャブルデバイス等のフレキシブルデバイス関連の発表も5件程度ありました。バイオ・医療関連の発表は発表件数としては68件と最も多く、またセッションも細分化されましたが、目新しい発表はなかったように思います。ナノや3次元構造形成に関しても特に目新しい発表はなかったように思います。また、MEMSの性格から有機デバイスに関する発表は少なかったと思います。 　従来MEMSに関しては、RF MEMS、物理量センサ、流体デバイスの発表はコンスタントに出されており、新しさというよりは性能向上や評価に関する発表が多かったと思います。OPTICAL MEMSに関しては、発表件数はそれほど多くはなかったですが、特にオーラルセッションではフォトクリスタル、リキッドクリスタルやメタマテリアル等新しい材料を取り入れたものが採択されていたように思います。POWER MEMS（エネルギーハーベスティング）に関しては、BEANSで狙っている熱電や光電に関するものは少なく、振動発電の発表が多かったように思います。振動発電では環境振動が低周波なので、これを如何に高周波に変換するかの発表が多かったです。プロセス関係としてはパリレンを使った発表が多かったように思います。 　来年のMEMS2011は1月23～27日にメキシコのCancunのHilton Hotelで開催予定です。アンケート結果から今年と同様に部分パラレルオーラルセッション方式で開催することになりました。

６　第4回つくばイノベーションワークショップ報告（2010年1月8日～9日）

１　第20回マイクロナノ先端技術交流会の開催（2010年3月11日）

２　ハノーバメッセ2010への出展（2009年４月19日～23日）

３　第15回国際マイクロマシンサミットの開催案内(2010年4月26日～30日)

４　マイクロナノ２０１０の開催案内（7月28日～30日）

５　MEMSアフリエート関係のイベント

１．昨年１１月の機械受注、民需は前月比11.3％減
　　内閣府は、1月14日、2009年11月の機械受注統計を発表しました。
　　それによりますと、民間設備投資の先行指標である「船舶・電力を除く民需」の受注額は前月比11.3％減の6253億円でした。これで2カ月連続の減少となります。このうち製造業は18.2％減、非製造業は10.6％減です。
　　機械受注総額（季節調整値）で見ますと、前月比8.0％減となりました。10月はプラス3.2％でしたので一転してマイナスとなっています。
　　内閣府は、基調判断を「下げ止まりに向けた動きが見られる」から「下げ止まりつつあるものの、一部に弱い動きがある」に変更しました。
　　　　参考：http://www.esri.cao.go.jp/jp/stat/juchu/0911juchu.html

２．月例経済報告（1月20日）
　　内閣府は、1月20日、月例経済報告を発表しました。
　　1月の月例経済報告では景気の基調判断について、「景気は、持ち直してきているが、自律性に乏しく、失業率が高水準にあるなど依然として厳しい状況にある。
　　先行きについては、当面、厳しい雇用情勢が続くとみられるものの、海外経済の改善や緊急経済対策の効果などを背景に、景気の持ち直し傾向が続くことが期待される。
　　一方、雇用情勢の一層の悪化や海外景気の下振れ懸念、デフレの影響など、景気を下押しするリスクが存在することに留意する必要がある」としています。
　　政府は、家計の支援により、個人消費を拡大するとともに、新たな分野で産業と雇用を生み出し、日本経済を自律的な回復軌道に乗せ、内需を中心とした安定的な経済成長を実現するよう政策運営を行う。このため、「緊急雇用対策」及び「明日の安心と成長のための緊急経済対策」を推進することとし、平成21年度の補正予算を国会に提出した。また、12月25日、「平成22年度の経済見通しと経済財政運営の基本的態度」を閣議了解した。12月30日には、「新成長戦略～輝きのある日本へ～」を閣議決定したとしています。
　　また、日本銀行に対しては、こうした政府の取り組みと整合的なものになるよう、適切かつ機動的な金融政策運営によって経済を下支えするよう期待するとしています。
　　　　参考：http://www5.cao.go.jp/keizai3/2010/0120getsurei/main.pdf

３．世界銀行、2010年の世界経済見通しを公表
　　世界銀行は、1月21日、「世界経済見通し2010」を発表しました。
　　それによりますと、世界のＧＤＰは2009年にマイナス2.2％と収縮しましたが、2010年にはプラス2.7％、2011年にはプラス3.2％成長するものと見ています。
　　このうち、途上国の成長率は、2009年の1.2％から、2010年には5.2％、11年には5.8％と比較的力強く成長するものと見ています。特に、中国は2009年の8.4％成長から2010年には9％の成長と大幅なプラスになるものと予測しています。
　　これに対し、先進国の成長率は2009年のマイナス3.3％から、2010年にはプラス1.8％、11年には2.3％と比較的低めの成長になるものと予測しています。
　　また、同報告書では、プラス成長に転じるとはいえ、各国経済が被った損失を取り戻すためには数年かかるものと警告しています。さらに、今後5-10年間はリスク回避傾向の増大、金融に対する規制の強化等により途上国で資金不足や資金調達コストの増大が生じかねないと指摘しています。　→ 参考
　　
４．企業向けのサービス価格、09年は2.5％の下落
　　日本銀行は、1月26日、企業向けサービス価格（2005年を100とする、速報値）を発表しました。
　　それによりますと、2009年の企業向けサービス価格の指数は98.4となり、前年比2.5％下落しました。下げ幅は1985年の統計開始以来、最大となります。
　　項目別で見ますと、外航貨物輸送が▲31.5％、国際航空貨物輸送が▲34％、広告が▲6.2％、リース・レンタルが▲3.6％、情報通信が▲1.1％といずれもマイナスになっています。
　　一方プラスになったものは、事務所賃貸が＋1.0％、廃棄物処理が＋2.9％、法務・会計サービスが＋1.6％などに限られています。
　　　　参考：http://www.boj.or.jp/type/stat/boj_stat/cspi/cspi0912.pdf

５．ＩＭＦ、2010年の経済見通しを上方修正
　　国際通貨基金（ＩＭF）は、1月26日、最新の世界経済見通しを公表しました。
　　それによりますと、2010年の世界経済の実質経済成長率を3.9％と予測し、前回10月の見通しから0.8％上方に修正しました。
　　日本の成長率は1.7％で前回と変わりませんが、その他の国が大幅に上方修正されています。例えば、米国は2.7％と前回から1.2％上方修正、ＥＵが1.0％と0.5％の上方修正、中国が10.0％と前回から1.0％の上方修正、インドが7.7％と前回から1.3％の上方修正となっています。
　　また、2011年の成長率は世界全体で4.3％と予測しており、前回10月の見通しから0.1％上方修正となっています。ちなみに、日本の2011年の成長率は2.2％となっており、前回から0.2％下方修正となっています。
　　　　参考：http://www.imf.org/external/pubs/ft/survey/so/2010/NEW012610B.htm

６．12月の輸出額は、15か月ぶりプラスに
　　財務省は、1月27日、2009年12月分の貿易統計（速報）を発表しました。
　　それによりますと、輸出額は5.4兆円となり、前年同月比で12.1％のプラスとなりました。輸出が前年同月比でプラスとなるのは15カ月ぶりなります。なお輸入は4.9兆円で前年同月比5.5％の減少となり、14カ月連続で減少となりました。差し引き、5400億円の黒字となっています。貿易の黒字は11カ月連続となります。
　　また、同日、09年全体の貿易統計も発表しています。輸出額は54.1兆円で対前年比33％の減、輸入額は51.4兆円で35％の減となり、差し引き2.8兆円の黒字となりました。貿易黒字が前年を上回るのは2年ぶりとなりました。我が国からの輸出の相手国としては、中国が米国を抜いて初めて首位に立ちました。
　　　　参考：http://www.customs.go.jp/toukei/shinbun/trade-st/gaiyo2009_12.pdf
　　　　　　　 http://www.customs.go.jp/toukei/shinbun/trade-st/gaiyo2009.pdf

７．温暖化ガス、25％削減を条約事務局に提出
　　政府は、1月26日、我が国の温暖化ガス削減目標を国連気候変動枠組条約事務局に提出しました。
　　内容は、地球温暖化ガスの2020年の排出削減量を1990年比で25％削減するというものです。
　　ただ、「すべての主要国による公平かつ実効性のある国際枠組みの構築及び意欲的な目標の合意を前提とする」との条件付きとなっています。
　　今後は、各国の取り組み状況がどうなるのか、25％削減の具体的な内容がどのようになるのかが課題となります。
　　　　参考：http://www.env.go.jp/press/file_view.php?serial=14925&hou_id=12036

８．経済産業省の主な経済指標
　　（鉱工業指標調査　2009年12月速報分　2010年1月29日）
　　経済産業省は、商鉱工業及びサービス業など幅広い分野にわたって統計調査を実施しており、それらの調査分析結果について取りまとめ　た統計をホームページ上に公表しています。これは鉱工業製品を生産する国内の事業所における生産、出荷、在庫に係る諸活動、製造工業の設備の稼働状況、各種設備の生産能力の動向、生産の先行き2カ月の予測の把握を行うものです。概要は以下の通りです。
　　－生産は持ち直しの動きで推移―
　　　・今月は、生産、出荷が上昇、在庫は横ばい、在庫率は低下であった。
　　　・製造工業生産予測調査によると、1月、2月とも上昇を予測している。
　　　・総じて見れば、生産は持ち直しの動きで推移している。

　　12月の生産・出荷・在庫動向
　　　１） 生産
　　　　12月の生産は、前月比2.2%の上昇と10か月連続の上昇(前年同月比は5.3％の上昇)となり、指数水準は89.9(季節調整済)となった。生産の上昇に寄与した業種は、電子部品・デバイス工業、一般機械工業、その他工業等であった。品目別にみると、電子・電動玩具、分析機器、反応用機器の順に上昇に寄与している。
　　　２） 出荷
　　　　12月の出荷は、前月比1.1%の上昇と10か月連続の上昇(前年同月比は4.5％の上昇)となり、指数水準は90.6(季節調整済)となった。出荷の上昇に寄与した業種は、電子部品・デバイス工業、情報通信機械工業、化学工業（除、医薬品）であった。
　　　３） 在庫
　　　　12月の在庫は、前月比0.0％の横ばい（前年同月比は▲14.6％の低下）となり、指数水準は93.7（季節調整済み）となった。在庫の上昇に寄与した業種は、情報通信機械工業、電子部品・デバイス工業、精密機械工業等、低下に寄与した業種は、金属製品工業、化学工業、一般機械工業等であった。
　　　　12月の在庫率は、前月比▲4.7％の低下（前年同月比は▲18.3％の低下）となり、指数水準は107.9（季節調整済み）となった。
　　＜製造工業予測調査＞
　　　　製造工業生産予測調査によると、1月は前月比1.3%の上昇、2月は同0.3%の上昇であった。1月の上昇は、一般機械工業、輸送機械工業、金属製品工業等により、2月の上昇は、一般機械工業、鉄鋼業、電子部品・デバイス工業等による。12月の実現率は▲0.2%、1月の予測修正率は▲0.2%となった。
　　　　　参考：http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-1.html

９．12月の失業率は5.1％、0.1％改善
　　総務省は、1月29日、2009年12月の失業率を発表しました。
　　それによりますと、12月の完全失業率（季節調整値）は5.1％で、前月に比べて0.1％低下しました。低下は2カ月ぶりとなります。
　　また、09年平均の失業率も同時に発表しています。それによりますと、09年平均の完全失業率は5.1％で、前年比1.1％上昇となりました。上昇幅は過去最大であり、年平均が5％台となるのは平成15年（5.3％）以来6年ぶりとなります。
　　また、厚生労働省は、同日、2009年12月の有効求人倍率を発表しました。12月の有効求人倍率（季節調整値）は0.46倍であり、前月比0.01％の上昇となりました。上昇は4カ月連続となります。あわせて、09年平均の有効求人倍率も発表しています。09年平均の有効求人倍率は0.47倍であり、前年に比べて0.41％低下しています。有効求人倍率が0.47倍は統計のある63年以降では最低となります。
　　　　参考：http://www.stat.go.jp/data/roudou/sokuhou/tsuki/pdf/05400.pdf
　　　　　　　 http://www.stat.go.jp/data/roudou/sokuhou/nen/ft/pdf/youyaku.pdf
　　　　　　　 http://www.mhlw.go.jp/stf/houdou/2r98520000003v91-img/2r98520000003veh.pdf

１０．12月の消費者物価、10ヵ月連続下落
　　総務省は、1月29日、2009年12月の消費者物価を発表しました。
　　12月の全国の消費者物価指数（ＣＰI、2005年=100）は、生鮮食料品を除く総合が99.8と前年同月比1.3％下落しました。下落は10カ月連続です。ただ、前月からの下落幅は、11月が1.7％でしたので、縮小してきています。生鮮食料品を含む総合は99.6であり、前年同月比1.3％下落しました。総合の下落幅も前月に比べて縮小しています。
　　併せて、09年全体の消費者物価指数も発表しました。09年の全国の消費者物価指数は、生鮮食料品を除く総合は、100.3となり1.3％下落しました。また、生鮮食料品を含む総合は同じく100.3であり、1.4％下落しました。これらの下落率は、統計のとれる1971年以降の最大の下　落率となります。消費者物価指数が下落したのは、平成17年以来4年ぶりとなります。
　　09年全体の下落要因を見ますと、交通・通信、光熱・水道、教養娯楽、家具・家事用品などが要因となっています。例えば、ガソリンが▲22.7％、灯油▲33.8％、薄型テレビ▲29.1％、電気冷蔵庫▲12％などとなっています。
　　　　参考：http://www.stat.go.jp/data/cpi/sokuhou/tsuki/pdf/zenkoku.pdf
　　　　　　　 http://www.stat.go.jp/data/cpi/sokuhou/nen/pdf/zen-n.pdf

１１．中国に国家エネルギー委員会が発足
　　中国の国務院（内閣）は、1月27日、国家エネルギー委員会の発足を発表しました。
　　同委員会では、中国のエネルギー発展戦略の立案、エネルギー分野の安全と発展に関する重要テーマの審議、国内のエネルギー開発と国際協力の重要事項について協議を行うとしています。委員会のトップ（主任）は温家宝総理です。
　　中国では1980年に国家エネルギー委員会が発足しましたが、2年後に廃止されました。88年にもエネルギー部が設立されましたが93年に廃止となっています。その後08年の国務院機構改革でエネルギー局は同年8月に発足、今回委員会の発足となったものです。
　　　　参考：http://www.jetro.go.jp/biznews/asia/4b62921543df0

１２．2009年の給与・労働時間、過去最大の下落
　　厚生労働省は、2月2日、毎月勤労統計調査（速報）の2009年全体の結果を発表しました。
　　それによりますと、ボーナスを含めた平均月間現金給与総額は、前年比3.9％減の31．5万円となりました。この内、きまって支給する給与は26.2万円で2.1％の減、特別に支払われた給与は5.3万円で12.1％の減となっています。前年比マイナスとなったのは3年連続で、下げ幅は現行方式で調査を始めた1990年以降で過去最大となりました。
　　平均月間総実労働時間は、前年比2.9％減の144時間となりました。この内、所定外労働時間が15.2％減の9.2時間となっています。所定外労働時間の減少が大きいのは、製造業のマイナス32％、鉱業のマイナス50％などとなっています。労働時間の減少は3年連続です。
　　　　　参考：http://www.mhlw.go.jp/toukei/itiran/roudou/monthly/21/21p/dl/pdf21p.pdf