MEMS協議会ファンドリーサービス産業委員会（委員長：オムロン(株) 佐藤文彦氏）主催の第12回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」を、2月6日(金)東海地方で初めて浜松市（グランドホテル浜松）において、財団法人浜松地域テクノポリス推進機構および静岡大学イノベーション共同研究センターとの共催により開催しました。特に今回は、同日開催された（財）浜松地域テクノポリス推進機構主催の「はままつメッセ2009」と同時開催という形で開催いたしました。 　 　講習会は「MEMSの設計・加工技術と応用例」として「MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待」（杉山進　立命館大教授）、「電気等価回路によるMEMS設計法」（橋口原　静岡大学教授）のアカデミックなご講演、東海地区のMEMS企業の技術紹介として「MEMS量産工場での普及の進む完全ドライ・レーザダイシング」（浜松ホトニクス株式会社　内山直己氏）の講演、そして委員会メンバー企業によるMEMSプロセス・MEMSデバイスおよびシミュレーションについての講演と、MEMS技術・動向、MEMSファンドリー及びMEMS設計解析支援システムにわたり、幅広くご紹介いたしました。 　 　講演後のメンバー各社による技術相談会では、MEMS製作に関する参加者より熱心な御質問をいただき、時間不足のような状況でした。講習会の終了後、別室においてファンドリーサービス産業委員会委員、講師の方々と参加者との懇談会を開催しましたが、こちらも大変盛況でした。厳しい経済状況の中、多数のご参加およびご協力をいただき、ありがとうございました。

主催者挨拶・MMC青柳専務理事	共催者挨拶・静岡大学共同研究センター 木村　センター長
立命館大学・杉山　教授	静岡大学・橋口　教授
（株）アルバック・林　氏	オムロン（株）・西尾氏
産総研・高橋　氏	（株）フジクラ・末益　氏
パナソニック電工（株）・奥戸　氏	浜松ホトニクス（株）・内山　氏
オリンパス（株）・網倉　氏	株）日立製作所・　小出　氏
みずほ情報総研・岩崎　氏	懇談会