 MemsONE とは!!
経済産業省・NEDO技術開発機構より委託された３ヵ年プロジェクト「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト（平成１６～１８年度）」の最終成果が、MEMSの設計・研究・解析を支援するソフトウェア「MemsONE
β版」です。
このβ版をベースに機能を改善・強化したより高機能なソフトウェア「MemsONE」のリリースを平成２０年２月より本格的に開始しました。
平成２３年３月現在のリリース状況は下記の通りです。
◆MemsONE Ver1.0 （販売・頒布を終了）
平成１９年度のＮＥＤＯ成果普及事業の成果９割を反映したバージョン
→ 平成２０年２月中旬からリリース開始
◆MemsONE Ver1.1 （販売・頒布を終了）
平成１９年度のＮＥＤＯ成果普及事業の全成果を反映したバージョン
→ 平成２０年５月下旬からリリース開始
◆MemsONE Ver2.0 （販売・頒布を終了）
Ver1.1への機能改善・強化に加え、Vista版（32bit/64bit）対応を図ったバージョン
→ 平成２１年２月初旬からリリース開始
◆MemsONE Ver3.0 （販売・頒布を終了）
Ver2.0への機能改善・強化により、より使い勝手の向上を図ったバージョン
→ 平成２２年１月中旬からリリース開始
◆MemsONE Ver4.0 （販売・頒布を終了）
Ver3.0への大規模な機能改善・強化により、解析能力や操作性および利用環境をより
向上させた、Windows7 にも対応したバージョン
→ 平成２３年２月初旬からリリース開始
◆MemsONE Ver5.0 （販売・頒布を終了）
Ver4.0への機能改善・強化により、解析能力や操作性および利用環境をより向上させた
バージョン
→ 平成２４年２月初旬からリリース開始
◆MemsONE Ver6.0 （リリース開始）
Ver5.0への機能改善・強化により、解析能力や操作性および利用環境をより向上させた、
Windows8 にも対応したバージョン
→ 平成２５年１２月初旬からリリース開始
MemsONE の特徴は!!
MemsONEは以下の特徴を有しています。
①ＭＥＭＳの設計・研究・解析を支援するソフトウェアです。
（ＭＥＭＳの設計解析向けに開発した機構解析機能は一般の構造解析にも利用できます）
②熱・光ナノインプリント解析、回路シミュレータなどの機能も有しています。
③ＭＥＭＳの設計研究に携わる初心者を支援する機能として、プロセス逆問題解析機能や
知識・材料データベースを有しています。
④国産ソフトウェアでＧＵＩも日本語版です。
MemsONE の機能は!!
MemsONEはフレームワークソフトと呼ばれるＧＵＩ部と、このＧＵＩが制御する解析ソルバー部、データベース部で構成されています。各部は次の充実した機能を有しています。 →機能構成図
■フレームワークソフト
①デバイス構造作成 ②自動格子作成 ③解析条件設定 ④マスク作成
⑤プロセスレシピ ⑥解析結果表示 ⑦データコンバータ ⑧プラグイン機能
⑨データベースＩ／Ｆ
■機構解析シミュレータ
①力学解析（弾塑性・熱弾塑性(接触解析あり)，振動モード，調和応答，時刻歴応答）
②電磁界解析（電界，磁界，電流） ③圧電解析 ④熱伝導解析 ⑤雰囲気流体影響解析
⑥電磁波解析 ⑦連成解析（熱伝導-力学連成，弾塑性-電界連成，磁界-力学連成）
⑧接合解析（応力履歴継承，温度履歴継承，材料親和性，疲労評価）
⑨熱ナノインプリント解析 ⑩光ナノインプリント解析 ⑪電磁波解析
■プロセス解析ツール
①異方性ウェットエッチング ②ドライエッチング ③マルチプロセスエミュレータ
■機能拡張ソスト
①プロセス逆問題解析 ③回路集積化MEMSシミュレータ（マクロモデル抽出機能あり）
■データベース
①知識データベース ②材料・プロセスデータベース
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