マイクロマシン技術研究開発プロジェクト(1991-2000年) MMPJアーカイブ
［10年間の技術のまとめ］
1991年から2000年までの10年間にわたるマイクロマシン技術研究開発プロジェクトの技術成果をまとめた報告書「10年間の技術のまとめ」（2001年4月、マイクロマシンセンター作成）の内容を Web化したものです。
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　１．　第Ⅱ期（１９９６-200０年）のまとめ

　　１－１.　第 Ⅱ 期 概 要
　　
プロジェクト全体関連図
第Ⅱ期研究開発体制
テーマ選定の過程と計画の見直し（第Ⅰ期とのつながり）
プロジェクトにおける技術マップ

　　１－２.　システム化技術

（１）システム化技術の研究開発－管内自走環境認識用試作システム

M100s ま と め
M110 管内自走環境認識試作システムの研究 デンソー、三洋電機、東芝
M111 移動デバイスのシステム化研究 デンソー
M112 マイクロ波エネルギー供給・通信のシステム化研究 デンソー
M120 光エネルギー伝送のシステム化研究 三洋電機
M130 マイクロ視覚のシステム化研究 東芝

（２）システム化技術の研究開発－細管群外部検査用試作システム

M200s ま と め
M210 細管群外部検査試作システムの研究 三菱電機、松下電器、住友電気
M211 駆動デバイスのシステム化研究 三菱電機
M220 減速・走行デバイスのシステム化研究 松下電器
M230 マイクロコネクタのシステム化研究 住友電気

（３）システム化技術の研究開発－機器内部検査用試作システム

M300s ま と め
M310 機器内部作業システムの研究 オリンパス、村田製作所、
オムロン
M311 多自由度湾曲管状ユニットのシステム化研究 オリンパス
M312 補修用マニピュレータのシステム化研究 オリンパス
M320 姿勢検出デバイスのシステム化研究 村田製作所
M330 モニタリングデバイスのシステム化研究 オムロン

（４）システム化技術の研究開発－マイクロ加工・組立用試作システム（マイクロファクトリ）

M400s ま と め
M400 マイクロ加工・組立試作システムの研究 ＳＩＩ、ファナック、日立、
アイシン、安川電機、
富士総研、三菱電線
M410 マイクロ加工技術の研究 ＳＩＩ
M420 マイクロ組立技術の研究 ファナック
M430 マイクロ液体操作技術の研究 日立
M440 マイクロ光駆動技術の研究 アイシン・コスモス
M450 マイクロ電気駆動技術の研究 安川電機
M460 マイクロ搬送技術の研究 富士電機総研
M470 マイクロ検査技術の研究 三菱電線

（５）機能デバイスの高度化技術の研究開発

M510 人工筋肉の研究 ＳＲＩ
M520 マイクロジョイントの研究 フジクラ
M530 Ultra Low Frictional Micro-suspenshion Device ＲＭＩＴ
M540 マイクロバッテリの研究 三菱マテリアル
M550 光駆動自由関節デバイスの研究 テルモ
M560 マイクロレーザカテーテルの研究 テルモ
M570 マイクロ触角センサカテーテルの研究 オリンパス

（６）共通基盤技術の研究開発

M610 分散マイクロマシンのパターン形成技術の研究 川崎重工
M620 階層型群制御技術の研究 三菱重工
M630 マイクロマシンの計測技術の研究 横河電機

（７）総合調査研究

M710 メンテナンス用マイクロマシンの調査研究 発電技研
M720 マイクロファクトリ化影響調査研究 電気安全
M730 マイクロマシン技術総合調査研究 マイクロマシンセンター
　
　　　
　２．　第Ⅰ期（１９９1-１９９５年)の成果概要

　　２－１．　第Ⅰ期成果まとめ

マイクロマシン技術の研究開発第１期成果まとめ（要約）


　　２－２．　要素技術別成果

（１）加工・組立技術
　
E100s 加工・組立技術（まとめ）
E101 マイクロ電解加工技術とマイクロ光化工技術 セイコー電子工業
E102 セラミックス微細加工技術 住友電気工業
E103 異種材料直接接合技術 日本電装
E104 金属粉体射出成形（ＭＩＭ） オリンパス光学工業
E105 複合超精密マイクロ加工 ファナック
E106 シェルボディ形成技術 日本電装
E107 3次元マイクロ部品加工 松下技研
E108 円筒積層プロセス 松下技研
E109 マイクロカテーテル微細加工技術 テルモ
E110 円筒形状固定子 三菱電機

（２）センサー技術

E200s センサー技術（まとめ）
E201 マイクロジャイロ 村田製作所
E202 機能集積型マイクロスキャナ オムロン
E203 微小アンテナ型赤外分光検出素子 横河電機
E204 ＣＣＤマイクロカメラ 東芝
E205 光学式圧覚センサ（医療） オリンパス
E206 イメージファイバスコープ 三菱電線工業
E207 超音波デバイス 日本電装
E208 細管内壁3次元形状検知センサ オムロン
E209 複合圧電材料振動子 住友電気工業
E210 超音波探傷センサ 松下技研
E211 光ファイバ先端発信型マイクロレーザ テルモ
E212 Micro Catheter Fabrication テルモ

（３）マイクロ機構技術

E300s マイクロ機構技術（まとめ）
E301 マイクロモータ 富士電機総研
E302 静電アクチュエータ 富士電機総研
E303 3自由度球面アキュチュエータ 川崎重工
E304 ＳＭＡマイクロコイルアクチュエータ 三菱電線
E305 マイクロアクチュエータ 安川電機
E306 管状マイクロマニピュレータ オリンパス
E307 圧電マイクロ移動機構 日本電装
E308 グリップ式圧電リニアアクチュエータ ファナック
E309 高出力マイクロポンプ 日立
E310 静電駆動マイクロバルブ 日立
E311 マイクロ電磁アクチュエータ 安川電機
E312 静電マイクロアクチュエータ 安川電機
E313 光駆動型マクロポンプ アイシン・コスモス
E314 圧電駆動デバイス メイテック
E315 人工筋肉 ＳＲＩ
E316 静電ウォブルモータ 松下技研
E317 マイクロ圧電モータ セイコー電子
E318 積層型圧電マイクロアクチュエータ 川崎重工

（４）その他要素技術

E400s その他要素技術（まとめ）
E401 マイクロ発電機 三菱電機
E402 マイクロ波エネルギー供給 日本電装
E403 光電変換デバイス テルモ
E404 高電圧マイクロ光電変換デバイス 三洋電機
E405 曲面実装マイクロ光電変換デバイス 三洋電機
E406 マイクロバッテリ 三菱マテリアル
E407 行動型制御 ＩＳ　Ｒｏｂｏｔｉｃｓ
E408 ホロニックメカニズムと変態制御 三菱重工
E409 ヒューマンインタフェース メイテック
E410 通信技術 メイテック
E411 微小回転トルク測定装置 安川電機
E412 圧電体の微小振動計測技術 セイコー電子
E413 原子間力顕微鏡によるＦＩＢ加工穴径の計測 横河電機
E414 メンテナンスシステムの研究 発電技研
　
　　　
　３．　発表成果（主要論文、特許等）－　再委託先企業別

M110 デンソー M120 三洋電機 M130 東芝 M210 三菱電機
M220 松下電器 M230 住友電気工業 M310 オリンパス M320 村田製作所
M330 オムロン M410 ＳＩＩ M420 ファナック M430 日立製作所
M440 アイシン・コスモス M450 安川電機 M460 富士電機 M470 三菱電線工業
M510 ＳＲＩ M520 フジクラ M530 ＲＭＩＴ M540 三菱マテリアル
M550 テルモ M560 テルモ M570 オリンパス M610 川崎重工
M620 三菱重工 M630 横河電機 M710 発電技研
　
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