アスペクト比 【あすぺくとひ:Aspect ratio】 1002102-10

【定 義】 立体形状の垂直(高さ):水平(幅)の寸法比で、構造物の相対的な厚みを示す指標。

【解 説】 シリコンプロセスでつくられる形状のアスペクト比はせいぜい10:1といわれ、厚みのある立体形状はつくりにくい。 異方性エッチングやLIGAプロセスを用いるとアスペクト比が100:1以上の深穴や溝等をつくることができる。

【参考資料】 (1)(3)(6)(7)

【関連用語】 LIGAプロセス