活動の記録
3．関連ドキュメント
「高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発（Gデバイス@BEANS）」の関連資料をまとめました。
Gデバイス成果の抜粋（2011マイクロマシン・MEMS展）
Gデバイス Technical Reports (2011.2.9）
（GDMS2011 にて発表）
「センサネットクリーンルームと8インチMEMSラインの構築 2010.11」
「最先端8インチMEMSライン（TKB812B）の構築 2010.12」
「最先端8インチMEMSライン（TKB812F）の構築 2010.12」
一般財団法人マイクロマシンセンター
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