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![活動の軌跡-高機能センサネットシステムと低環境負荷プロセスの開発(Gデバイス@BEANS)](parts/image-title-gdevice.gif) |
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活動の概要 |
3.最先端8インチMEMSラインwith センサネットの導入 |
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![](parts/image3.png) |
![](parts/line_gra14.png) |
最先端8インチMEMS製造ラインを産総研UMEMSME 内に導入しました。本ラインを導入した大口径MEMS用クリーンルームにはセンサーネットを張り巡らし、オンデマンド型のエネルギーマネージメント方式(Green
Operation On Demand)の実証実験を行いました。将来的には量産試作検証を可能とし、プロセスのグリーン化と製造施設のグリーン化を追求した低環境負荷型MEMSラインの確立を目指し、オーペンイノベーション拠点の中核設備として機能することが期待されます。 |
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活動の概要 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. |
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