研究項目①「バイオ・有機材料融合プロセス技術の開発」 |
(1)ナノ界面融合プロセス技術 |
(2)バイオ・有機材料高次構造形成プロセス技術 |
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研究項目②「3次元ナノ構造形成プロセス技術の開発」 |
(1)超低損傷・高密度3次元ナノ構造形成技術 |
(2)異種機能集積3次元ナノ構造形成技術 |
(3)宇宙適用3次元ナノ構造形成技術 |
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研究項目③「マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発」 |
(1)非真空高品位ナノ機能膜大面積形成プロセス技術 |
(2)繊維状基材連続微細加工・集積化プロセス技術 |
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研究項目④「異分野融合型次世代デバイス製造技術知識データベースの整備」 |
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研究項目⑤「高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発」
(FY09-10) |
(1)高機能センサネットシステム開発 |
(2)低環境負荷型プロセスの開発 |