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| Micromachine / MEMS Technical Terms | |
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| No. | 書 籍 名 | 著者／編者 | 発行年月日 | 発 行 所 | |
| Title | Author/Editor | Date | Publisher | ||
| (1) | マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス |
JPN
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江刺正喜、他 | 1992. 6.20 | 培風館 |
| (2) | マイクロ知能化運動システム－マイクロマシンの工学的実現－ |
JPN
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原島文雄、他 | 1991. 8.31 | 日刊工業新聞社 |
| (3) | マイクロマシンの世界－超微細機械開発へのアプローチ－ |
JPN
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藤田博之 | 1992. 6. 1 | 工業調査会 |
| (4) | マイクロメカニカルシステム実用化技術総覧 |
JPN
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樋口俊郎、他 | 1992. 3.19 | ㈱フジ・テクノシステム |
| (5) | 驚異の医療機械マイクロマシン－医療を変える超小型機械の出現－ |
JPN
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藤正 巖 | 1990. 6.20 | 講談社 |
| (6) | マイクロマシン開発ノートブック |
JPN
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藤正 巖、他 | 1991. 3. 1 | 秀潤社 |
| (7) | マイクロ加工技術－第２版－ |
JPN
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ﾏｲｸﾛ加工技術編集委員会 | 1988.9.30 | 日刊工業新聞社 |
| (8) | マイクロマシン技術による製品小型化・知能化事典 |
JPN
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同事典編集委員会 | 1992.5.10 | 産業調査会事典出版センター |
| (9) | ナノテクノロジーの基礎と応用 |
JPN
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谷口紀男 | 1988.11.28 | 工業調査会 |
| (10) | 真空ハンドブック |
JPN
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1993 | オーム社 | |
| (11) | 理化学辞典 第４版 |
JPN
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久保、長倉、他 | 1991. 1.10 | 岩波書店 |
| (12) | 製品小型化、知能化のためのマイクロマシン |
JPN
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1992. 5.10 | 産業調査会 | |
| (13) | マイクロマシンシステムに関する基礎技術の調査研究 |
JPN
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1993. 3. | (財)機械システム振興協会 | |
| (14) | 演習 圧電アクチュエータ |
JPN
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内野研二 | 1991. 7. 6 | 森北出版 |
| (15) | アクチュエータ革命 |
JPN
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高森 年 | 1987. 6.15 | 工業調査会 |
| (16) | マイクロマシンと材料 |
JPN
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林 輝 | 1991. 3. 1 | シーエムシー |
| (17) | ＪＩＳ工業用語大辞典 第３版 |
JPN
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19９１.11.２0 | 日本規格協会 | |
| (18) | センサ応用技術 |
JPN
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宇佐見晶 | 1993. 4.15 | 工業調査会 |
| (19) | マイクロロボットに関する調査研究報告書 |
JPN
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1991. 3 | (財)機械システム振興協会 | |
| (20) | Silicon Monolithic Micromechanical Gyroscope | P.Greiff, et al. | 1991 | Transducer '91 | |
| (21) | Low wavefront aberration and high temperature stability modeled micro Fresnel lens | M.Tanigami | 1989 | IEEE Photon Technol,Left., | |
| (22) | 分子線エピタキシー |
JPN
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権田俊一 | 1994 | 培風館 |
| (23) | 薄膜化技術 |
JPN
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早川茂、和佐清孝 | 1982 | 共立出版 |
| (24) | 応用物理ハンドブック |
JPN
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応用物理学会 | 1990 | 丸善 |
| (25) | レーザアシストエッチング |
JPN
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小薮国夫 | 1988.9 | 精密工学会誌 |
| (26) | 物理学大辞典 |
JPN
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牧 二郎 他 | 1989.6.25 | 丸善 |
| (27) | Si表面のSTS |
JPN
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富取正彦 他 | 1991.4 | 日本物理学会誌 |
| (28) | Scanning Tunneling Microscopy Ⅱ | R. Wiesendanger | 1992/1 | Springer-Verlag | |
| (29) | A photoelectric microscope forthe measurement of linear scales | J.S.Clark | 1956/9 | J.of Scientific Instruments | |
| (30) | アクチュエータ実用事典 |
JPN
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宮入庄太 | 1988.9.30 | ㈱フジ・テクノシステム |
| JPN | …… in Japanese | ||||
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| No. | 書 籍 名 | 著者／編者 | 発行年月日 | 発 行 所 | |
| Title | Author/Editor | Date | Publisher | ||
| (31) | 形状記憶樹脂 |
JPN
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林 俊一 | 1989.7.24 | 日経メカニカル |
| (32) | 人工臓器用語解説集 |
JPN
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人工臓器学会 | 1991.9.30 | 金原出版 |
| (33) | 日経バイオ最新用語辞典９１ |
JPN
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日経ﾊﾞｲｵﾃｸ | 1991.4.25 | 日経BP |
| (34) | トライボロジスト |
JPN
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大前伸夫 | 1990.11.15 | 日本潤滑学会 |
| (35) | ロボット工学ハンドブック |
JPN
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日本ﾛﾎﾞｯﾄ学会 | 1990.10 | コロナ社 |
| (36) | 人工現実感の世界 |
JPN
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服部 桂 | 1991.5.7 | 工業調査会 |
| (37) | バーチャルワールド |
JPN
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Benjamin Woolley | 1993.12.1 | インプレス |
| (38) | 生命科学２ 生命とエネルギー |
JPN
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香川靖雄 | 1980 | 培風館 |
| (39) | 精密位置決め技術 |
JPN
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井澤 實 | 1989.4.15 | 工業調査会 |
| (40) | 超技術マイクロマシン |
JPN
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東京大学ﾏｲｸﾛﾏｼﾝ 共同研究体 | 1993 | NTT出版 |
| (41) | マイクロマシン－賢く働く微小機械 |
JPN
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宝谷紘一、他 | 1991 | 読売新聞社 |
| (42) | 超精密生産技術大系第２巻実用技術 |
JPN
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森脇俊道 | 1994.8.23 | ㈱フジ・テクノシステム |
| (43) | Topics (Micromachine Summit) ･The Scope of Micromachines | Micromachine Center | |||
| (44) | 応用物性 |
JPN
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佐藤勝昭 | 1991.2.25 | (株)オーム社 |
| (45) | Proceedings of Micro Electro Mechanical Systems '93 Real Three Dimensional Micro Fabrication Using Stereo Lithograpy and Metal Molding | Koji Ikuta, et al. | 2/7,1993 | IEEE | |
| (46) | Proceedings of Micro Electro Mechanical Systems '95Development of Coil Winding Process for Radial Gap Type Electromagnetic Micro-Rotating Machine | Hitoshi Ota, et al. | 1/29,1995 | IEEE | |
| (47) | マイクロマシン技術の現状と将来 |
JPN
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江刺正喜 | 1994 | 日本応用磁気学会 Vol.18,No.5 |
| (48) | マイクロマシンの基礎技術の研究 |
JPN
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1995.3 | (財)マイクロマシンセンター | |
| (49) | 電気電子用語辞典 |
JPN
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1984 | オーム社 | |
| (50) | マイクロマシンと光技術 |
JPN
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O plus E | 1994.10 | 新技術コミュニケーションズ |
| (51) | 物理学辞典 |
JPN
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1989 | 培風館 | |
| (52) | 分子動力学とモンテカルロ法 |
JPN
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片岡洋右 | 1994.3 | 講談社 |
| (53) | 分子気体力学 |
JPN
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曽根良夫、 他 | 1994.12.10 | 朝倉書店 |
| (54) | 数値流体力学 |
JPN
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安原、大宮司 | 1992.2.25 | 東大出版会 |
| (55) | 分子熱流体 |
JPN
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小竹 進 | 1990.11.30 | 丸善 |
| (56) | 応用光学 光計測入門 |
JPN
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矢田貝豊彦 | 1988 | 丸善 |
| (57) | 高感度非接触粗さ計の開発 |
JPN
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三井公之、他 | 1987.2 | 精密工学会誌 |
| (58) | 非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1) |
JPN
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小沢則光、他 | 1986.12 | 精密工学会誌 |
| (59) | マイクロ化学 |
JPN
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増原極微変換Ｐ．Ｊ．
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1993 | 化学同人 |
| (60) | 最新医学大辞典 |
JPN
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医歯薬出版㈱ | ||
| (61) | 化学大辞典 |
JPN
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化学大辞典編集委員会 | 1981.10.5 | 共立出版 |
| (62) | 生化学事典 |
JPN
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今堀和友、他 | 1987.4.1 | 東京化学同人 |
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