2010年代に入り、従来からのMEMS産業化の推進とともに、センシング＆ネットワーク/IoT基盤技術技術の開発や超スマート社会実現のための活動を行っています。

　MEMS産業化を支援する重要な施策としてMEMS協議会にて数年来検討を進めてきたMEMSデバイスの設計・試作拠点づくりについて、TIA（つくばイノベーションアリーナ）事業と連動しつつ、産学連携によるイノベーション実現の場を提供するものとして2011年4月MNOIC（マイクロナノオープンイノベーションセンター）が発足しました。

　また、公益法人制度改革への対応としてMMCはセンター活動に柔軟性や機動力を高めるべく、2011年4月に一般財団法人に移行しました。

　先端技術開発についても、引き続き積極的に挑戦しています。2010年代に入って、震災からの復興再生、インフラ維持管理などの社会課題対応、超スマート社会の実現などが強く求められるようになり、これに対応して数次のSSN/IoT基盤技術開発プロジェクトを推進しています。

	グリーンセンサ・ネットワークシステム（GSN）技術開発プロジェクト	2011-2014
	社会課題対応センサーシステム先導研究	2013
	道路インフラモニタリングシステム（RIMS）研究開発	2014-2018
	ライフラインコアモニタリングシステム（UCoMS）研究開発	2014-2018
	次世代精密家畜個体管理システムの開発プロジェクト	2014-2016
	「完全自動化」自動車に不可欠な革新認識システムの先導研究	2015-2016
	高効率MEMS振動発電デバイス（MEH）の先導研究	2015-2016
	センサ端末同期用原子時計（ULPAC）の研究開発	2015-2018
	スマートセンシング・インタフェース（SSI）の国際標準化	2016-2018
	学習型スマートセンシングシステム（LbSS）の研究開発	2016-2020

　これらの数々のSSN/IoT基盤技術開発プロジェクトの遂行主体として技術研究組合NMEMS技術研究機構が2011年7月に設立。

　一方、IoT社会実装の流れが必然になっていることから、IoTシステムを支えるスマートセンシング及びネットワーク（SSN）関連の諸課題解決、技術標準化促進等のため、MEMS協議会活動の一環として2015年10月にSSN研究会をキックオフしました。本研究会では、SSNに係る共通プラットフォームの構築や先端技術開発の検討等を行うこととしています。