日本企業からの発表は大学・研究機関との共同研究を含めて日立、ユニソク、東芝、デンソー、三菱電機、ルネサステクノロジー、大陽日酸、スタンレー電気、日油技研工業、の計9社。
会議初日に行われた招待講演では、東京大学生産技術研究所 藤田博之教授が「TWO DECADES OF MEMS FROM SURPRISE
TO ENTERPRISE」と題した内容で、この20年間のMEMS分野研究と産業化の歴史を概観するとともに、今後20年先を見据えた研究テーマについて発表、聴講者の関心を集めていました。
以下に口頭発表セッションとポスターセッションの項目を件数と共に示しますが、特徴としては細胞を扱う研究などバイオ分野の発表が多く見受けられたこと、また非シリコン材料として優れた物理化学安定性をもつパリレン(paraxylylene)やPDMS(polydimethylsiloxane)などの機能性ポリマーを多用した各種デバイスの発表が多い、などがあげられます。
【ポスター発表セッション】
・ Design,Analysis and Theoretical Concepts(9件)
・ Materials and Device Characterization(13件)
・ Fabrication and Packaging Technologies(31件)
・ Biomedical and Chemical Devices and Systems(45件)
・ Medical and Physical Micro Sensors and Systems(17件)
・ Actuators(13件)
・ Micro-Optical Devices and Systems(17件)
・ Wireless Communication Micro Devices and Systems(13件)
・ Nanoelectromechanical Devices and Sysytems(10件)
・ Power MEMS and Energy Harvesting(10件)
1月10日~13日に中国海南省三亜市において、ASME(米国機械学会)、CMES(中国機械学会)共催による国際会議Micro Nano
China 2007(International Conference on Integration and Commercialization
of Micro and Nanosystems in Sanya, China)に参加しました。この学会は2001年よりASME Nanotechnology
Instituteが開催しているNanosystemsのインテグレーションに関する学会でこれまでは米国内で開催されていたが、今回中国機械学会、及びMANCEFとの共催で初めて米国外の中国海南省三亜市で開催されました。中国開催の背景として中国でのMEMS関連の研究開発が盛んになっており、米国で活躍する中国出身のMEMS研究者が中心となり、両国の機械学会の共催したのが中国開催の背景と考えられます。