財団法人マイクロマシンセンター

[No.2007-02] 2007年2月22日発行


ニ ュ ー ス 目 次  


  1 第11回マイクロナノ先端技術交流会(H19年2月5日)
  2 国際会議MEMS2007報告(H19年1月22日~25日)
  3 第8回MEMS講習会の開催(H19年1月19日)
  4 ロボット三団体合同賀詞交歓会の開催(H19年1月17日)
  5 国際会議MNC2007報告(H19年1月10日~13日)


  1「ナノテク2007」にMEMS関連プロジェクトを出展予定(H19年2月21日~23日)
  2 第13回国際マイクロマシンサミットの開催案内
  3 ハノーバメッセ2007への出展
  4 マイクロナノ2007の開催案内


  1 経済政策
  2 産業技術政策動向


  1 第2回運営政策小委員会および第2回運営委員会の開催案内
  2 第3回評議員会および第2回通常理事会の開催案内

  
ニ ュ ー ス 本 文



1 第11回マイクロナノ先端技術交流会(H19年2月5日)

 (財)マイクロマシンセンターでは、MEMS協議会の産学連携事業の一環として、賛助会員企業の専門家を対象に、マイクロナノ技術に関する各産業分野における先端技術への認識と理解を深め、マイクロナノ技術の普及啓発と産学の技術交流を図ることを目的として、「マイクロナノ先端技術交流会」を実施しています。
第11回のマイクロナノ先端技術交流会は、産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門の前田龍太郎主幹研究員、及び名古屋工業大学大学院工学研究科機能工学専攻の堂田邦明教授を講師にお迎えし、マイクロマシンセンター会議室にて2月5日に開催されました。
前田主幹研究員からは、「MEMSおよびナノ製造の商業化(コストのかからないナノ製造)」と題して、ナノインプリント技術やデスクトップ製造装置開発についての講演、また堂田教授からは、「マイクロ・メゾ成形技術の動向」と題して、国外(アメリカ、台湾、韓国、ドイツ等)におけるマイクロマニュファクチャリングの取り組みの現状とマイクロ・メゾ(10~0.1mm)スケールの成形技術動向についての講演をいただきました。

産業技術総合研究所
先進製造プロセス研究部門
前田龍太郎主幹研究員

名古屋工業大学
大学院工学研究科機能工学専攻
堂田邦明教授

 講演終了後には前田主幹研究員、堂田教授を囲んでの技術交流会も和やかに行われました。

2 国際会議MEMS2007報告(H19年1月22日~25日)

 MEMSに関する国際会議「20th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS 2007)」が2007年1月22日(月)~25日(木)、神戸・ポートピアホールにて開催されました。 本学会は1987年の第1回に始まり今年で20回目となります。日本では過去にも5回開催されていますが(奈良、大磯、名古屋、宮崎、京都)、記念すべき20回目が日本で行われることは日本のMEMS研究開発力、産業化力を内外に発信するちょうど良い機会となったのではないでしょうか。

 会議参加者は初日オープニングセッション時点で607名、最終的には22カ国から665名となっていました。採択された発表論文件数は昨年に比べて減少(昨年239件、今年221件)していますが会議への参加者は増えており、聴講のみの参加者の割合が高くなっているものと思われます。このことは、近年のMEMS分野に対する注目の高さを裏付けるものといえそうです。内訳は開催地が神戸ということもあり日本を含むアジアからが全体の6割を占めており、残り北米地域、欧州地域がそれぞれ2割程度となっています。

 投稿論文は611件、採択された論文は221件、採択率は36.2%となっており、採択率としては昨年(投稿論文件数 789件、採択論文件数239件、採択率30%)より高くなっていますが、依然として本学会が論文に対するオリジナリティーを求めているといえます。発表スタイルは昨年同様にシングルセッションで行われ、午後と一部、午前の部でポスターによる発表がありました。

 採択論文221件の内訳は口頭発表43件、ポスター178件であり、地域別には欧州地域が投稿論文117件と少ないものの採択率が57.2%(論文件数67件)と全体平均36.2%に比べてかなり高くなっていることが大きな特徴です。 一方、アジア地域の採択率は25.9%(投稿論文328件、採択論文85件)、北米地域の採択率は41.8%(投稿論文165件、採択論文69件)となっていました。

 発表の国別内訳としては米国が最も多く68件、続いて日本が62件となっており、韓国19件,ドイツ15件,台湾14件,スイス8件,スウェーデン7件,シンガポール5件、と続いています。 日本、米国はこれまでと同様にあらゆるセッションで発表がなされており、MEMS研究の層の厚さが感じられます。 また所属別では大学・研究機関からの発表が圧倒的に多く94%となっており、その多くは新しい概念・原理、加工方法に関する報告と情報交換の機会と捕えた発表であるとの印象を持ちました。 一方、企業からの発表は6%と少ないですが独Robert Bosch GmbHや日立からCMOS回路とMEMSセンサーのモノリシック集積化に関する発表など、製品化に直結した具体的テーマであるとの印象をもちました。

 日本企業からの発表は大学・研究機関との共同研究を含めて日立、ユニソク、東芝、デンソー、三菱電機、ルネサステクノロジー、大陽日酸、スタンレー電気、日油技研工業、の計9社。
 会議初日に行われた招待講演では、東京大学生産技術研究所 藤田博之教授が「TWO DECADES OF MEMS FROM SURPRISE TO ENTERPRISE」と題した内容で、この20年間のMEMS分野研究と産業化の歴史を概観するとともに、今後20年先を見据えた研究テーマについて発表、聴講者の関心を集めていました。
 以下に口頭発表セッションとポスターセッションの項目を件数と共に示しますが、特徴としては細胞を扱う研究などバイオ分野の発表が多く見受けられたこと、また非シリコン材料として優れた物理化学安定性をもつパリレン(paraxylylene)やPDMS(polydimethylsiloxane)などの機能性ポリマーを多用した各種デバイスの発表が多い、などがあげられます。

【口頭発表セッション】
・ Session 1 : Medical MEMS (3件)
・ Session 2 : Cell & Particle Handling (5件)
・ Session 3 : Physical Sensor (5件)
・ Session 4 : Fabrication and Packaging (4件)
・ Session 5 : Reactor (2件)
・ Session 6 : Power MEMS (2件)
・ Session 7 : Nano Tool (3件)
・ Session 8 : Bio & Chemical Sensor System (5件)
・ Session 9 : Actuator (4件)
・ Session 10 : Optical MEMS (5件)
・ Session 11 : Wireless (2件)
・ Session 12 : Fabrication Technique (3件)

【ポスター発表セッション】
・ Design,Analysis and Theoretical Concepts(9件)
・ Materials and Device Characterization(13件)
・ Fabrication and Packaging Technologies(31件)
・ Biomedical and Chemical Devices and Systems(45件)
・ Medical and Physical Micro Sensors and Systems(17件)
・ Actuators(13件)
・ Micro-Optical Devices and Systems(17件)
・ Wireless Communication Micro Devices and Systems(13件)
・ Nanoelectromechanical Devices and Sysytems(10件)
・ Power MEMS and Energy Harvesting(10件)
 なお、MEMS 2007での詳細内容については当センターにて実施しています分野別動向調査にてまとめますので、こちらをご参照下さい。
 次回のMEMS2008は2008年1月13~17日の日程で米国・アリゾナ州のツーソン(Tucson)にて開催予定となっています。


口頭発表会場

   ポスター発表会場

3 第8回MEMS講習会の開催(H19年1月19日)

 第8回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」を平成19年1月19日(金)に(財)北九州産業学術推進機構との共催により同機構の 産学連携センター(北九州市若松区)で開催しました。

 今回は九州地区で始めての初心者・中級者向けMEMS講習会でしたが、最近のMEMS産業に対する関心の高さから、参加者は64名と盛況な講習会となりました。恒例になりました講習会の中間に技術相談会(MEMSファンドリー各社のパネル展示説明)を設けて、個別の相談が可能とするとともに、MEMS-ONEプロジェクトで開発しましたMEMS用設計・解析支援システム用ソフトの紹介ビデオを放映しました。

 講習会の終了後、リフレッシュコーナーにおいてファンドリーサービス産業委員会委員、講師の先生方と参加者のみなさんとの懇談会を開催しましたが、こちらも大変盛況でした。ご協力有難う御座いました。


青柳専務理事開会挨拶

パネル技術説明会


立命館大学 理工学部
教 授  杉 山 進

九州大学 大学院工学院
教 授  澤 田 廉 士   
   

4 平成19年ロボット三団体合同賀詞交歓会の開催(H19年1月17日)

 1月17日(水)に(社)日本ロボット工業、(財)製造科学技術センターおよび(財)マイクロマシンセンター合同の新年賀詞交歓会が虎ノ門パストラル新館1階「鳳凰の間」にて、443人出席のもと開催されました。

 平成20年の開催日は1月17日(木)で、同会場で開催する予定です

受付会場


経済産業省 製造産業局
細野哲弘局長ご挨拶

5 国際会議Micro Nano China 2007 報告(H19年1月10日~13日)

   1月10日~13日に中国海南省三亜市において、ASME(米国機械学会)、CMES(中国機械学会)共催による国際会議Micro Nano China 2007(International Conference on Integration and Commercialization of Micro and Nanosystems in Sanya, China)に参加しました。この学会は2001年よりASME Nanotechnology Instituteが開催しているNanosystemsのインテグレーションに関する学会でこれまでは米国内で開催されていたが、今回中国機械学会、及びMANCEFとの共催で初めて米国外の中国海南省三亜市で開催されました。中国開催の背景として中国でのMEMS関連の研究開発が盛んになっており、米国で活躍する中国出身のMEMS研究者が中心となり、両国の機械学会の共催したのが中国開催の背景と考えられます。

 今回はMEMS協議会海外アフィリエートのMANCEFからの要請で、日本におけるMEMS技術開発、産業化推進の状況について招待講演し、加えて以下の目的で参加しました。
 ・近年研究開発が盛んとなり、将来日本のMEMS産業へも影響を及ぼすと思われる
  中国の研究開発、産業化の動向を調査する
 ・中国と米国の研究協力の状況について調査する

会議は近年リゾートとしても注目されている海南島の最南端に位置する三亜市で開催され、108件の口頭発表、260件のポスター発表が行われました。セッションの内容、参加国分析は表1、表2の通りです。
           表1 口頭発表分析 : セッション別と国別件数
           表2 ポスター発表分析 : セッション別と国別件数

 結果として、以下の成果を得ることができました。
  ・口頭発表、及び参加者との情報交換により、日本のMEMS産業化への取り組みは産官学連携により質・量とも充実しているとの認識を、中国・台湾・韓国等アジア諸国に与えることができた。
  ・中国の研究動向の全容の把握
  ・MEMS関連研究動向
  ・MEMS関連研究グループ総数:140 研究者:3,000名
  ・中心的MEMS研究グループ:50 研究者:1,452名
  ・華北地域:清華大学、北京大学、CAS、CETC13所
  ・華東地域:SIMIT、上海交通大学
  ・東北地域:大連理工大学、ハルピン工業大学
  ・その他地域:重慶大学、西安交通大学、中国科技大学
  ・2006年~2020年の研究開発長期戦略においてマイクロナノは重点分野である
  ・産業化動向
  ・北京、瀋陽、太原、杭州、無錫、重慶等で企業化開始
  ・産業化支援を目的とする組織設立等の動きはない
  ・米中の研究協力
  ・NSFが中心となり米中の研究協力を推進
  ・北京に事務所開設(2006年5月)
  ・NSF U.S.-Chinaプログラムへの投資状況
  ・約150のプロジェクトを推進中
  ・投資額15MUS$(共同研究先の投資は含まず)

 中国は米国在住の中国人研究者との連携を強め、マイクロナノ分野でも今後一気に研究の高度化、産業化が進展する可能性があり、今後も継続的に調査していく必要があります。



1.「ナノテク2007」にMEMS関連プロジェクトを出展予定(2月21日~23日)

 平成19年2月21日(水)から23日(金)まで東京ビッグサイトにて開催されるナノテク2007に当センターからプロジェクト2件を出展予定です。

 ナノテクノロジー関連で国内最大のイベントであるナノテク2007にはNEDO技術開発機構のプロジェクトブース内において、「MRMS用設計・解析支援システム開発(MemsONE)」と「高集積・複合MEMS製造技術開発(ファインMEMS)」の2件を出展し、MEMS技術に関する取り組みの全体像を展示する他、特にMemsONEについては来春の開発成果としてのβ版のリリースに向けたアッピールをする予定です。これらの出展により、電気・電子系、機械系の他、化学系やバイオ系の研究者、技術者に対して、ナノテクノロジーとMEMSとの融合により、より高度なMEMSデバイス・プロセス技術への展開、ナノテクノロジーの事業化発現の基盤としてのMEMS技術展開等の情報提供をしていく所存です。

2 第13回国際マイクロマシンサミットの開催案内(4月26日~28日)

 当センターが常設の事務局として記録の保存、開催の準備等について支援している「マイクロマシンサミット」は、各国のマイクロマシン/MEMSに関する教育、技術動向、政策やトピックス等についての現状や将来展望を自由に議論し、世界のマイクロマシン/MEMS分野の進展に寄与することを目的として、毎年、開催希望国において開催されています。
 今年で第13回目を迎えたマイクロマシンサミットは、オーストラリア、ベネルクス、カナダ、中国、EU委員会、フランス、ドイツ、インド、日本、韓国、地中海地域(MEDITERRANEAN)、ノルディック地域、シンガポール、スイス、台湾、イギリス、米国、の17カ国・地域からの参加を得て、4月26日(木)から3日間にわたり、イタリア・ベニスで開催されます。

 日本からは、東京大学大学院 下山勲教授を首席代表とし、代表6名、オブザーバ4名が参加する予定です。当センターの賛助会員、MEMS協議会メンバーはオブザーバとして参加することができますので、詳しくは、当センター産業交流部にお問い合わせください。
なお、13回マイクロマシンサミット(イタリア・ベニス)及び、今までのマイクロマシンサミットの状況については当センターのホームページhttp://www.mmc.or.jp/をご覧ください。

3 ハノーバメッセ2007への出展(4月16日~20日)

 平成19年4月16日(月)から20日(金)までドイツ、ハノーバー市にて開催されるハノーバーメッセ、マイクロテクノロジーフェアにオムロン(株)、オリンパス(株)、松下電工(株)、及び三菱電機(株)様のご協力を得てMEMS協議会として出展する予定です。「ハノーバー・メッセ」は世界最大の産業見本市といわれ、毎年世界65カ国以上から5,000社前後の出展社が参加し、20万人前後のビジター、3,000人の報道関係者が訪れます。日本企業も例年約50社が出展し、日本からは1,000人前後が訪れます。

 マイクロテクノロジーフェアはマイクロ・ナノテクノロジーの応用に関するトレードショーでMEMS協議会の海外アフィリエートであるiVAMが主催するもので、MEMS協議会の海外ビジネス交流活動としての一環として出展します。2年目の出展となる今年は、「MEMS協議会の活動」に加え、「高集積・複合MEMS製造技術開発(ファインMEMS)」や、7月に開催予定の「マイクロナノ2007」を紹介する予定です。また協力いただく各社様からは、MEMS関連の技術紹介が予定されています。

 また、メッセ期間中はフェアと併せてフォーラムが開催され、オリンパス(株)、松下電工(株)、MEMS協議会からプレゼンテーションする予定です。

4 マイクロナノ2007の開催案内(7月25日~27日)

 マイクロナノ2007は、東京ビッグサイト及び東京ベイ有明ワシントンホテルを会場として平成19年7月25日(水)~27日(金)に下記のとおり開催する予定です。             
                   記
  (1)第18回マイクロマシン/MEMS展(7/25~7/27)
           於:東京ビッグサイト西3&4ホール
     ○ MemsONE(β版)展示・デモ(予定)
     ○ ファインMEMSプロジェクトの中間成果展示(予定)
  (2)MEMSフォーラム(7/25~7/27)
           於:東京ビッグサイト西3&4ホール
  (3)第13回マイクロマシン・ナノテクシンポジウム(7/26)
           於:東京ベイ有明ワシントンホテル(アイリス)
  (4)国・NEDOプロジェクト(ファインMEMS)中間成果発表会(7/27午後~)
           於:東京ビッグサイトの会場内を予定



1.経済政策動向

■月例経済報告(1月22日)

 1月の月例報告では、景気の基調判断について「景気は、消費者に弱さがみられるものの、回復している。」との判断。先行きについては、企業部門の好調さが持続しており、これが家計部門へ波及し国内民間需要に支えられた景気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要がある。としている。
  ○月例経済報告関係資料 http://www5.cao.go.jp/keizai3/2007/0122getsurei/main.html

■経済産業省の主な経済指標(1月30日)

 経済産業省は各種経済指標を取りまとめた資料を発表。たとえば、鉱工業指数に関しては、「11月(確報値)の生産は前月比0.8%と2ヶ月連続の上昇、出荷は同1.9%と2ヶ月連続の上昇、在庫は同1.3%と4ヶ月連続の上昇、在庫率は同1.7%と2ヶ月ぶりの上昇。」と分析している。
  [概要(PDF)] http://www.meti.go.jp/statistics/downloadfiles/omonakeikishihyo.pdf
  [ダイジェスト] http://www.meti.go.jp/statistics/data/hshihyo01j.html

■経済成長戦略関連

 国際競争力の強化と地域経済の活性化を二本柱とし、継続的に人口が減少するという逆風の下でも「新しい成長」が可能なことを示す「新経済成長戦略」に関連するこれまでの政策動向は以下の通り。

  ○経済成長戦略大綱のとりまとめについて (H18.7.6)
       http://www.meti.go.jp/topic/data/e60713aj.html
     7月6日の財政・経済一体改革会議において、「経済成長戦略大綱」が決定され、
     公表されている。 本大綱は、人口減少が本格化する2015年度までの10年間に
     取り組むべき施策について、経済産業省を中心としてとりまとめたもの。経済と
     財政の一体的な改革を進めるに当たって、歳出・歳入一体改革と並ぶ車の両輪
     として、政府・与党の最優先課題と位置づけられている。

  ○新経済成長戦略について (H18.6.9)
       http://www.meti.go.jp/press/20060609004/20060609004.html
     経済産業省は、「国際競争力の強化」と「地域経済の活性化」を二本柱とし、
     継続的に人口が減少するという逆風の下でも「新しい成長」が可能なことを示す
     「新経済成長戦略」をとりまとめ、6月9日にその内容を公表している。

  ○新産業創造戦略について (H17.6.13)
       http://www.meti.go.jp/policy/economic_industrial/shin_sangyou.html
 

2.産業技術政策動向

■総合科学技術会議開催(1月30日)

 第63回総合科学技術会議が1月30日開催され、議事は以下のとおり。
(1)第3期科学技術基本計画に基づく強力な科学技術振興のための「推進プラン2007」
(2)最近の科学技術の動向
 なお、配布された資料については、以下の総合科学技術会議(第63回)議事次第参照。
     http://www8.cao.go.jp/cstp/siryo/haihu63/haihu-si63.html

 また、科学技術の振興に関する施策の総合的かつ計画的な推進を図るための第3期科学技術基本計画は平成18年3月28日に閣議決定されている。
  [本文(PDF形式)]  http://www8.cao.go.jp/cstp/kihonkeikaku/honbun.pdf
  [概要(PDF形式)]  http://www8.cao.go.jp/cstp/kihonkeikaku/gaiyo.pdf
  [分野別推進戦略]  http://www8.cao.go.jp/cstp/kihon3/bunyabetu.html

■経済産業省の産業技術政策

 ○産業技術政策の概要(パンフレット)
   ―技術革新による強靭な経済発展基盤の構築に向けて―
     http://www.meti.go.jp/policy/innovation_policy/main_01.files/pamphlet.pdf
 ○平成19年度経済産業省予算案の概要
  12月24日に政府予算案が閣議決定されました。今年の経済産業省予算の概要については以下のHPを 参照ください。
     http://www.meti.go.jp/policy/sougou/yosan/H19YosanKohyoTop.htm
 ○平成19年度産業技術関連予算案の重点
     http://www.meti.go.jp/policy/innovation_policy/19fyyosanan.pdf

 経済産業省では、イノベーションの創出を通じた我が国の産業技術力の強化に向け、民間企業などにおけるイノベーションを促進する環境整備を進めるとともに、国においても知的資源の充実のための様々な取り組みを進めている。関連資料は以下の通り。
 ○イノベーション・スーパーハイウェイ構想について
       http://www.meti.go.jp/policy/innovation_policy/ishw.htm
 ○平成19年度産業技術関連予算要求の重点(発表資料 PDF 6ページ)
       http://www.meti.go.jp/topic/downloadfiles/060825-9.pdf
 ○経済産業省の研究開発 「技術戦略マップ2006」
       http://www.meti.go.jp/policy/kenkyu_kaihatu/main-toptrm2006.html
 「技術戦略マップ2006」は昨年版の20分野から24分野に拡大。技術戦略マップは、新産業を創造していくために必要な技術目標や製品・サービスの需要を創造するための方策を示したもの。

■NEDO産業技術政策関連

 ○NEDO海外レポート991号 省エネルギー特集(各国の取組状況)2007.1.10
       http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/992/index.html
 ○NEDO海外レポート993号 燃料電池・水素 特集(各国の取組状況)2007.1.24
       http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/993/index.html



1 第2回運営政策小委員会および第2回運営委員会の開催案内

 来年度の事業・研究テーマに関して、下記委員会が3月20日(火)に開催されます。
  ○第2回運営政策小委員会
     議題 1,今後のセンター研究活動の展開について
         2,Mems-ONEの普及について
         3,MEMS協議会について
  ○第2回運営委員会
     議題 1,平成19年度事業計画について
         2,平成19年度収支予算について
         3,平成19年度借入金限度額について
         4,平成19年度委員会構成について
         5,MEMSシステム開発センター規程、賛助会費規則の一部改正について
         6,平成18年度事業の実施状況について
         7,理事の一部変更について
         8,賛助会員の入会について

2 第3回評議員会および第2回通常理事会の開催案内

 3月20日(火)に開催されます第2回運営委員会で審議された議題について、3月28日(水)に開催予定の第3回評議員会、第2回通常理事会に諮られ、承認されますと平成19年度の事業がスタートいたします。



 

財団法人マイクロマシンセンター  サイトマップ  センターアクセス  お 問 合 せ 
Copyright (c) Micromachine Center. All rights reserved.