１ MEMS-ONEプロジェクト開発の完了報告
「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト（通称MEMS-ONEプロジェクト）」は平成16年度からの新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO技術開発機構）委託事業として推進されてきましたが、平成19年3月に当初計画以上の成果を得て完了致しました。
本プロジェクトは藤田博之プロジェクトリーダ、小寺秀俊サブリーダの下、ソフトベンダー3社、MEMSデバイス企業5社、13大学、1国立研究機関、およびマイクロマシンセンターの産官学連携で進められました。プロジェクトの途上においてはナノインプリント解析や回路一体化解析のテーマを追加してMEMS用解析ソフトとしての機能の拡充が図れました。推進に当たって6つの委員会を適宜開催して、各担当部署で発生する課題を全メンバーで共有、水平展開することで、“MemsONE”解析ソフトとして計画通りの開発が達成され、成果物が得られました。
昨年11月からは開発成果の一部を評価版として希望者に配布、3月時点で約400本（ライセンスベース）を数え、企業、公的機関、及び大学の技術者・研究者において試験的な活用をしていただいております。使用者の70％の方からはアンケートに答えて、機能、価格、要望等の声を戴いており、これらを参考にして改修を図り、本年6月からは、本プロジェクトで取り組んだ開発課題の全テーマを包含した成果版（β版）を実費で頒布する計画です。
またMemsONEの継続的なメンテナンスサービスを提供する体制づくりも近々発足させる予定です。MEMS産業の裾野拡大に貢献するツールとして、大学・研究機関での研究、MEMS企業の開発・設計に、またMEMSを自社事業に活用しようとする企業とファンドリー企業との連携づくりに役立つ事を期待しています。
２ マイクロマシン技術に係るアウトカム調査結果報告
当センターは過去に実施したNEDO技術開発機構による研究開発プロジェクト「マイクロマシン技術プロジェクト」（1991～2000年度実施）、「マイクロ流体システムを応用したダイオキシン類の高速測定技術の研究開発プロジェクト」（2000年度実施）、「ＭＥＭＳプロジェクト」（2003～2005年度実施）の3プロジェクトの波及効果であるアウトカムについて、（株）日鉄技術情報センターと共同で2006年9月から2007年3月まで調査を行いました。
調査は技術的アウトカム、経済的アウトカム、社会的・科学技術的アウトカムの視点より調査・整理を行い、技術的アウトカムでは、現在実用化した製品及び技術は18種類、近未来（2010年頃）実用化できる製品が11種類あり、経済効果では、2005年度で約110億円/年、2010年頃には380億円/年規模の売り上げが推測されています。
なお、この調査の実施にあたり当センターの中に、上記３プロジェクトを実施した関連企業等で構成した「マイクロマシン技術に係るアウトカム調査検討委員会」（委員長：セイコーインスツル（株）古田一吉氏）を設置し、調査を行いました。この調査結果は、NEDO技術開発機構からも公表される予定ですが、マイクロマシンセンターのホームページでも順次紹介していく予定です。
３ MEMS技術戦略マップのローリングに関する調査報告
マイクロマシンセンターでは、MEMS技術戦略マップのローリング調査の基礎データとして、今後変化が激しくなるMEMS関連市場の現状と2010年、及び2015年の市場予測結果を取りまとめました。
MEMS 市場の規模については、いくつかの市場調査報告書があるにしても、MEMS技術応用範囲の広がりが進展している中でその全体像（産業像）は見えていないのが現状です。このため、本調査では、情報通信・自動車・民生用機器・環境エネルギー・バイオ・メディカル等の産業分野別に分けて実施しており、この結果、これら産業分野全体の2005年の国内MEMS関連市場は、約4,400億円、2010年は1兆1,700億円、2015年は2兆4,000億円と予測されました。
なお、この調査の実施にあたっては、当センターの中に、学識経験者、MEMS技術研究者からなる「MEMS関連市場の分析・予測と日本の競争力分析に関する調査研究委員会」（委員長：東京大学大学院情報理工学系研究科 下山勲教授）を設置し、NEDO技術開発機構の調査研究委託を受けて実施しました。この調査結果は、NEDO技術開発機構からも公表される予定ですが、マイクロマシンセンターのホームページでも順次紹介していく予定です。
４ MEMSフロンティア未来デバイス調査報告
(財)機械システム振興協会からの委託事業として平成18年度に進めてきたMEMSフロンティアとしてのナノ・バイオとの融合による未来デバイス技術に関する調査研究は、その成果を報告書にまとめ完了いたしました。本調査研究は、20年後の社会に革新的インパクトを与え、「環境・エネルギー」、「健康・医療」、「快適・安心・安全」分野で新しいライフスタイルを創生する第３世代のMEMSにより、自動車、情報機器、さらに医療・福祉、環境・エネルギー等の分野において、機器・システムを高付加価値化、差異化するキーデバイスを創製し、わが国製造業の国際競争力を強化し、新産業を創生することを目的として、委員長（東京大学教授）以下、本委員会委員、グリーンデバイスWG、ホワイトデバイスWG、ブルーデバイスWG、プロセスインテグレーションWGの各委員のべ75名が調査・企画に参加し、検討してきました。
その結果、高集積・複合MEMSに続く第3世代MEMSとして、ナノ・バイオと電気機械との融合により自律分散で機能するデバイス、システムBEANS（Bio
Electri-mechanical Autonomous Nano Systems）という新しい概念のデバイスを提唱しました。このBEANSを実現するために必要なプロセス技術を、トップダウンプロセスである微細加工と、ボトムアッププロセスであるナノ・バイオプロセスとを融合したマイクロナノ統合製造技術と捉え、特に、3次元ナノ構造形成、界面制御、プロセスの大面積化・連続化を柱として調査研究を進めました。そして、デバイス、プロセスのテーマ企画、イノベーションスーパーハイウェイ構想に沿った研究開発方針、及びそれを実行するための体制についての提言を最終報告書としてまとめました。最終報告書は、各委員が分担して執筆し、技術動向、推進すべき具体的なテーマ、方針・体制、産官学の連携、及び海外動向を含め200ページを超えるものとなりました。
その結果は、関係先である、経済産業省、NEDO、また産業界の任意団体である産業競争力懇談会からも評価していただいています。これも委員長、WGリーダーはじめ委員、関係各位のご指導・支援・協力の賜と感謝しています。
尚、報告書は委員各位、関係各機関に近く配布されます。またMIF会員で希望者には印刷代等実費を負担いただき配布する予定です。
５ 「中国におけるMEMS研究の動向」懇話会の開催
平成19年3月29日（木）標記「中国におけるMEMS研究の動向」懇話会が中国からMEMS研究の第一人者が来日され、下記のように開催されました。
この懇話会は精密科学技術ネットワークMEMS商業化プロジェクト、産総研先進製造プロセス研究部門 、及びマイクロマシンセンターの共催で行われ、最近研究開発が盛んになってきた中国のMEMS研究の動向を知る機会として、また第一線の研究者とのネットワークを作る場として、企業、大学から多くの参加者が集い活用いただきました。
記
日 時：平成19年3月29日 15：00～17：30
場 所：秋葉原ＵＤＸビル8F （株）松下電工創研東京研修所 
プログラム
１．主催者挨拶
産総研先進製造プロセス研究部門
前田 龍太郎
２－１ 中国におけるMEMS関連国家プロジェクト
２－２ 中国マイクロナノ学会の国際活動
２－３ Development of DRIE simulation Tools"
北京大学 教授 Alice Haixia Zhang
３．西安交通大学における微細加工関連研究開発
西安交通大学 精密工程研究所副所長
教授 Suping Fang ＜懇話会参加者との懇談＞
４．Micromachine in Endoscop
北京大学 教授 Tianyu Xie
５．日本におけるMEMS産業化とマイクロナノ技術開発支援
(財)マイクロマシンセンター調査研究部 安達 淳治
６ 平成19年度・マイクロマシンセンターの事業計画承認される
財団法人マイクロマシンセンターの平成19年度事業計画は、3月20日の運営委員会及び
3月28日の評議員会、通常理事会においてご審議いただき承認されました。詳細はＭＭＣのＨＰ上並びに広報誌「マイクロナノ第59号」に掲載予定ですが、基本方針は次のとおりです。
平成19年度においては、昨年より3ヶ年計画で開発がスタートした「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」（通称：ファインMEMSプロジェクト）の推進に継続的に取り組むとともに、19年3月に開発が終了した「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」（通称：MEMS-ONEプロジェクト）についてはサポート体制を構築し成果普及業務に移行するものとする。また産業化のための環境整備活動については、昨年発足したMEMS協議会の政策提言活動や産業交流・活性化事業をはじめとして、調査研究事業、標準化推進事業、普及広報事業等も前年に引き続き積極的に推進するとしています。
７ 山田浩（株式会社 東芝）、岩岡秀人（金沢工業大学）の両氏がIEEEフェロー資格を授与される
（株）東芝研究開発センターの山田浩主任研究員及び金沢工業大学ものづくり研究所の岩岡秀人教授（元横河電機(株)）の両氏は、2007年1月1日付でIEEEフェロー資格を授与されました。IEEE(The
Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. アメリカに本部を持つ電気・電子技術の学会、会員数：37万人(160カ国))のフェローは会員資格の最高級のグレードであり、当該分野で著名な業績を挙げ、比類のない経験と知見を獲得したという事実、またその業績が世の中の改革と進歩に役立ったという事実を有する人のみが認定される資格です。IEEEは毎年、Voting
Memberの0.1％という、ごく限られた人数のみフェローへの昇格を認定するとのことです。
山田浩及び岩岡秀人の両氏は、当センターが1991年から10年間行いましたＮＥＤＯ委託研究開発事業「マイクロマシン技術プロジェクト」の遂行に参画、協力頂いた方々です。
山田浩氏の受賞理由は、半導体デバイスにおいてI/O数の増加と微細化の課題を解決したWLCSP(Wafer Level Chip Scale
Package)の研究と、平面的な半導体デバイス実装密度の限界を解決した、高密度３次元実装技術の研究が評価されたものです。この研究成果は10年プロジェクトの成果「管内自走環境認識システム」用途のデバイス「マイクロ視覚」に適用されています。
岩岡秀人氏の受賞理由は、検知及び計測用光デバイス及び光ＭＥＭＳの開発へのリーダーシップが評価されたものです。この開発成果は10年プロジェクトの成果「共通基盤技術における計測技術」の中で、マイクロマシンの発生する微小な力・トルクを計測可能とした計測技術に適用されています。山田浩及び岩岡秀人お二方のIEEEフェローの受賞は「マイクロマシン技術プロジェクト」の立派なアウトカムであると言えます。
１ 第13回国際マイクロマシンサミットの開催案内(4月26日～28日)
当センターが常設の事務局として記録の保存、開催の準備等について支援している「マイクロマシンサミット」は、各国のマイクロマシン／MEMSに関する教育、技術動向、政策やトピックス等についての現状や将来展望を自由に議論し、世界のマイクロマシン／MEMS分野の進展に寄与することを目的として、毎年、開催希望国において開催されています。
今年で第13回目を迎えたマイクロマシンサミットは、オーストラリア、ベネルクス、カナダ、中国、EU委員会、フランス、ドイツ、インド、日本、韓国、地中海地域（MEDITERRANEAN）、ノルディック地域、シンガポール、スイス、台湾、イギリス、米国、の17カ国・地域からの参加を得て、4月26日（木）から3日間にわたり、イタリア・ベニスで開催されます。
日本からは、東京大学大学院 下山勲教授を首席代表とし、代表6名、オブザーバ4名が参加いたします。
今回のサミットでの日本代表のプレゼンテーションは次の5件を予定しています。
①FineMEMS - The Highly Integrated, Complex MEMS Project -
Ｄｒ. I. Shimoyama, The University of Tokyo
②MEMS Industry Forum: Market, Standardization and Industry Development
K. Aoyagi, Micromachine Center
③Recent Activity on Miro/Nano Technology at OMRON Corporation
K. Imanaka, OMRON Corpration
④Wafer Level Packaging Technology at Matsushita Electric Works
M. Arakawa, Matsushita Electric Works
⑤Recent Progress of MEMS and Nano Techonology at Olympus
K. Karaki, Olympus Corporation
なお、13回マイクロマシンサミット（イタリア・ベニス）及び、今までのマイクロマシンサミットの状況については当センターのホームページhttp://www.mmc.or.jp/をご覧ください。
２ ハノーバメッセ2007への出展（4月16日～20日）
平成19年4月16日（月）から20日（金）までドイツ、ハノーバー市にて開催されるハノーバーメッセ、マイクロテクノロジーフェアにオムロン（株）、オリンパス（株）、松下電工（株）、及び三菱電機（株）様のご協力を得て MEMS協議会として出展する予定です。「ハノーバー・メッセ」は世界最大の産業見本市といわれ、毎年世界65カ国以上から5,000社前後の出展社が参加し、20万人前後のビジター、3,000人の報道関係者が訪れます。日本企業も例年約50社が出展し、日本からは1,000人前後が訪れます。
マイクロテクノロジーフェアはマイクロ・ナノテクノロジーの応用に関するトレードショーでMEMS協議会の海外アフィリエートであるiVAMが主催するもので、MEMS協議会の海外ビジネス交流活動としての一環として出展します。2年目の出展となる今年は、「MEMS協議会の活動」に加え、「高集積・複合MEMS製造技術開発（ファインMEMS）」や、7月に開催予定の「マイクロナノ2007」を紹介する予定です。また協力いただく各社様からは、MEMS関連の技術紹介が予定されています。
また、メッセ期間中はフェアと併せてフォーラムが開催され、オリンパス（株）、松下電工（株）、MEMS協議会からプレゼンテーションする予定です。
３ マイクロナノ2007の開催案内(7月25日～27日）
マイクロナノ2007は、東京ビッグサイト及び東京ベイ有明ワシントンホテルを会場として平成19年7月25日(水)～27日(金)に下記のとおり開催する予定です。
記
（１）第18回マイクロマシン/MEMS展（7/25～7/27）
於：東京ビッグサイト西3＆4ホール
○ MemsONE（β版）展示・デモ（予定）
○ ファインMEMSプロジェクトの中間成果展示（予定）
（２）MEMSフォーラム（7/25～7/27）
於：東京ビッグサイト西3＆4ホール
（３）第13回マイクロマシン・ナノテクシンポジウム（7/26）
於：東京ベイ有明ワシントンホテル（アイリス）
（４）国・NEDOプロジェクト（ファインMEMS）中間成果発表会（7/27午後～）
於：東京ビッグサイトの会場内を予定
４ 2007国際ロボット展について（11月28日～12月1日）
社団法人日本ロボット工業会/日刊工業新聞社主催による、2007国際ロボット展は下記により開催予定ですので、ご案内申し上げます。なお、2007国際ロボット展に特別企画として「マイクロファクトリー実証ゾーン」が設けられます。主催者によると、「本特別ゾーンでは、未来のマイクロファクトリーの実現に向けた様々な機器、製品、ソリューションビジネスを一同に展示・展開される」とのことであります。
記
会 期 平成19年11月28日（水）～12月1日（土）
会 場 東京ビッグサイト 東ホール
開催時間 午前10時～午後5時（最終日は、午後4時30分まで）
予想来場者 10万人
入 場 料 一般1,000円 学生・団体（15名以上）500円
但し、事前登録者及び招待券持参者は無料
そ の 他 現在、特別企画「マイクロファクトリー実証ゾーン」への出展者を募集中ですので、
関心のある方は2007国際ロボット展事務局(URL: http://www.nikkan.co.jp./eve/ )
までお問い合わせ下さい。
１．経済政策動向
■月例経済報告（3月15日）
3月の月例報告では、景気の基調判断について「景気は、消費に弱さがみられるものの、回復している。」との判断。先行きについては、企業部門の好調さが持続しており、これが家計部門へ波及し国内民間需要に支えられた景気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要がある。としている。
○月例経済報告関係資料
http://www5.cao.go.jp/keizai3/2007/0315getsurei/main.html
■経済産業省の主な経済指標（3月30日）
経済産業省は各種経済指標を取りまとめた資料を発表。たとえば、鉱工業指数に関しては、「2月（速報値）の生産は前月比▲0.2％と2ヶ月連続の低下、出荷は同▲1.4％と3ヶ月連続の低下、在庫は同▲0.4％と2ヶ月連続の低下、在庫率は同▲2.3％と2ヶ月ぶりの上昇。」と分析している。
［概要(PDF)］ http://www.meti.go.jp/statistics/downloadfiles/omonakeikishihyo.pdf
［ダイジェスト］ http://www.meti.go.jp/statistics/data/hshihyo01j.html
■経済成長戦略関連
国際競争力の強化と地域経済の活性化を二本柱とし、継続的に人口が減少するという逆風の下でも「新しい成長」が可能なことを示す「新経済成長戦略」に関連するこれまでの政策動向は以下の通り。
○経済成長戦略大綱のとりまとめについて (H18.7.6)
http://www.meti.go.jp/topic/data/e60713aj.html
7月6日の財政・経済一体改革会議において、「経済成長戦略大綱」が決定され、
公表されている。 本大綱は、人口減少が本格化する2015年度までの10年間に
取り組むべき施策について、経済産業省を中心としてとりまとめたもの。経済と
財政の一体的な改革を進めるに当たって、歳出・歳入一体改革と並ぶ車の両輪
として、政府・与党の最優先課題と位置づけられている。
○新経済成長戦略について (H18.6.9)
http://www.meti.go.jp/press/20060609004/20060609004.html
経済産業省は、「国際競争力の強化」と「地域経済の活性化」を二本柱とし、
継続的に人口が減少するという逆風の下でも「新しい成長」が可能なことを示す
「新経済成長戦略」をとりまとめ、6月9日にその内容を公表している。
○新産業創造戦略について (H17.6.13)
http://www.meti.go.jp/policy/economic_industrial/shin_sangyou.html
２．産業技術政策動向
■総合科学技術会議開催（3月1日）
第64回総合科学技術会議が3月1日開催され、議事は以下のとおり。
（１）ライフサイエンス分野におけるリサーチツール特許の使用の円滑化に関する指針について
（２）平成19年度科学技術関係予算案及びその重点化の状況について
（３）「イノベーション２５」中間とりまとめについて
（４）最近の科学技術の動向
なお、配布された資料については、以下の総合科学技術会議（第６４回）
http://www8.cao.go.jp/cstp/siryo/haihu64/haihu-si64.html
また、科学技術の振興に関する施策の総合的かつ計画的な推進を図るための第3期科学技術基本計画は平成18年3月28日に閣議決定されている。
［本文（PDF形式）］ http://www8.cao.go.jp/cstp/kihonkeikaku/honbun.pdf
［概要（PDF形式）］ http://www8.cao.go.jp/cstp/kihonkeikaku/gaiyo.pdf
［分野別推進戦略］ http://www8.cao.go.jp/cstp/kihon3/bunyabetu.html
■経済産業省の産業技術政策
○産業技術政策の概要（パンフレット）
―技術革新による強靭な経済発展基盤の構築に向けて―
http://www.meti.go.jp/policy/innovation_policy/main_01.files/pamphlet.pdf
○経済産業省の研究開発 「技術戦略マップ2006」
http://www.meti.go.jp/policy/kenkyu_kaihatu/main-toptrm2006.html
「技術戦略マップ2006」は昨年版の20分野から24分野に拡大。技術戦略マップは、新産業を創造していくために必要な技術目標や製品・サービスの需要を創造するための方策を示したもの。
■NEDO産業技術政策関連
○NEDO海外レポート997号 テーマ特集：欧州の研究開発への取組 2007.3.22
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/997/index.html
○NEDO海外レポート996号 テーマ特集：宇宙・航空 2007.3.7
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/996/index.html
１ ホームページのパスワード変更のお知らせ
平成19年度のスタートにあたり、当センターのホームページの賛助会員ページのアドレスの変更を、4月1日(日)に行いまいした。賛助会員の皆様には「連絡窓口担当者」宛に新パスワードをE-Mailにてお知らせしてあります。
２ マイクロマシンセンターの組織変更のお知らせ
財団法人マイクロマシンセンターの組織は、理事長、専務理事、事務局長そして総務部、調査研究部、産業交流部の3部とＭＥＭＳシステム開発センターで構成されています。4月1日よりＭＥＭＳシステム開発センター内の組織を企画管理部（ファインＭＥＭＳの推進と管理業務）と開発部（プロジェクトの開発）及びemsＯＮＥサポート部（通称：ＭemsＯＮＥサポートセンター）に改組しました。これは、ＭＥＭＳ－ＯＮＥプロジェクトが3月で終了し、新たにプロジェクトの成果である「ＭemsＯＮＥ」（ＭＥＭＳ用設計・解析支援システム）の普及促進を積極的に行う体制を整えたものです。
３ マイクロマシンセンターの人事異動
○平成19年 3月31日付
（氏 名） （新） （旧）
磯川 俊彦 オリンパス（株） 調査研究部研究開発課長
（兼）標準課長
○平成19年 4月 1日付
見持 律往 調査研究部主任研究員 三菱電機（株）
（兼）研究開発課長・標準課長
五島 滋雄 ＭＥＭＳシステム開発センター ＭＥＭＳシステム開発センター
企画管理部企画担当部長 企画第2部長
山川 浩二 ＭＥＭＳシステム開発センター ＭＥＭＳシステム開発センター
企画管理部管理担当部長 管理部長
廣部 嘉道 ＭＥＭＳシステム開発センター ＭＥＭＳシステム開発センター長
開発部長に併任
水津 美晴 ＭＥＭＳシステム開発センター ＭＥＭＳシステム開発センター
ＭemsＯＮＥサポート部長 企画第一部長
〔通称：ＭemsＯＮＥサポートセンター〕
４ 経済産業省（製造産業局）の人事異動
○平成19年 3月23日付
（氏 名） （新） （旧）
土屋 博史 内閣府内閣官房広報室に併任 産業機械課長補佐（技術担当）
内閣官房美しい国づくり推進室
参事官補佐
○平成19年 4月 1日付
三宅 晃司 （独）産業技術総合研究所 産業機械課情報化推進係長
先進製造プロセス研究部門
加藤 晋 産業機械課情報化推進係長 （独）産業技術総合研究所
知能システム研究部門
５ 「第5回新機械振興賞」受賞候補者募集のお知らせ（推薦はＨ19.5.18まで）
財団法人機械振興協会（会長 豊田章一郎）では、優秀な研究開発を行い、その成果を実用化することによって、わが国機械工業技術の進歩発展に著しく寄与した企業・大学・研究機関及び研究開発担当者を表彰しており、平成19年度第5回新機械振興賞の受賞候補者を募集している旨の通知がありましたのでお知らせいたします。詳しくは、下記ＵＲＬ参照。
ＵＲＬ： http://www.tri.jspmi.or.jp/prize/
６ (財）機械システム振興協会から新機械システム普及促進事業募集のお知らせ
(財)機械システム振興協会から、平成19年度新機械システム普及促進事業の対象として新機械システム募集のご案内がありました。
詳細は下記の連絡担当者にお尋ね下さい。
普及促進部 佐野様 ・ 樋口様
電話 03－3454－1311
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