［No.2008-08］ 2008年8月20日発行

１　「マイクロナノ2008」成功裡に終了（７月29日～8月1日）

小寺秀俊教授　　　　　　　　会場風景　　　　　　　Albert Chang氏　 　　　T.Howe教授

NEDO　上原 明理事	経済産業省・是永基樹課長補佐	東京大学　下山 勲教授

　　　

熱気に包まれた発表会場	ﾌｧｲﾝMEMS展示ブース

　　
(5).MEMSフォーラム(MEMS Forum)
　MEMS関連産業の拡大・発展のための課題の共通認識を深めることを目的に、（財）マイクロマシンセンターの特別事業委員会であるMEMS協議会の諸活動の情報発信・意見交換の場として、8月1日に、マイクロマシン／MEMS展の展示会場内に設けた特設会場において『MEMSフォーラム』を開催いたしました。
　今年のMEMSフォーラムは、初めに、MEMS協議会事務局長・青柳桂一よりMEMS協議会の諸活動を紹介した後、セッション１ではMEMS産業基盤の構築に向けた現在の課題、セッション２ではMEMS協議会のアカデミアアフィリエートからの活動紹介、セッション３では、国際標準、人材育成、MEMSファンドリー基盤公設試でのMEMS関連研究開発支援、MEMS設計基盤などMEMS産業発展の課題についての具体的な活動状況が紹介されました。
MEMSフォーラムでの各セッションの講演内容・講演者は次のとおりです。

【セッション１：MEMS産業基盤強化】

　①MEMS産業の基盤強化に向けて―大学からの発言―
　　東京大学大学院　情報理工学系研究科　研究科長　教授　下山勲氏
　　下山勲教授からは、大学はイノベーションの源泉である知識を提供するだけでなく、これからは、ノウハウ・知財・人材・技術・ビジネスとしての実証までの産学連携が重要であることを、少子高齢化社会に向かう中でハイテクが単なる生活支援の道具の提供ではなく高齢者の生活スタイルそのものを支援していく例を挙げてご講演されました。

　②MEMS市場拡大に向けて―第１世代MEMS～第３世代MEMS（BEANS）―
　　（財）マイクロマシンセンター（MMC）　調査研究／国際担当部長　安達淳治氏
　　安達淳治氏からは、MEMSの国家戦略上の位置づけ及びマイクロマシン・MEMSの国のプロジェクトの流れとその成果を概観し、今年からスタートした国のプロジェクト「BEANS」（Bio Electromechanical Autonomous Nano Systems：異分野融合型次世代デバイス）によって創生される新しいライフスタイル（環境・エネルギー、医療・福祉、安全・安心）から、技術の発展と市場の拡大が期待されることを発表されました。
　③MEMS分野の技術戦略マップ２００８
　　（独）新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）　　機械システム技術開発部　主査　渡辺秀明氏
　　渡辺秀明氏からは、NEDOの技術戦略マップ策定の目的、マップの構成を説明され、昨年度のマップのローリング活動であるMEMS人材育成の内容及び研究開発プロジェクトの企画立案への反映の例として異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクトを説明されました。
【セッション２：産学連携セッション】
　セッション２では、MEMS協議会活動を支える産学連携の観点から、産学連携セッションをオーガナイズされた名古屋大学大学院　佐藤一雄教授の司会のもと、MEMS協議会アカデミアアフィリエートからの情報発信として、次の方々からご講演をいただきました。
　①産学連携セッション開催にあたり
　　名古屋大学大学院工学研究科　教授　佐藤一雄氏
　　佐藤一雄教授からは、新しいプロジェクトの情報、マイクロ研究拠点形成の動向、マイクロ関連学会・研究会の動向の3つの観点から今年の産学連携セッションを構成した経緯の説明の後、3人の先生の活動を紹介されました。
　②安全・安心な社会を実現する先進的統合センシング技術：人体装着超小型センサー
　　兵庫県立大学大学院工学研究科　教授　前中一介氏
　　前中一介教授からは、科学技術振興機構（JST）戦略的創造研究推進事業で、安全・安心な社会を実現するための先進的統合センシング技術の創出を目指した「前中センシング融合プロジェクト」の狙いと研究の状況についてご講演されました。
　③超精密マイクロ３次元機械加工による次世代光学素子の量産化
　　名古屋大学大学院工学研究科　教授　社本英二氏
　　社本英二教授からは、文部科学省の国際的教育研究拠点形成プログラム（G-COEプログラム）であるマイクロ・ナノメカトロニクス教育研究拠点で進めている、超精密マイクロ機械加工の現状とその技術課題を克服する研究開発例として楕円振動切削加工技術が紹介されました。
　④日本機械学会マイクロ・ナノ工学専門会議　マイクロエネルギー研究会の紹介
　　東北大学大学院工学研究科　教授　桑野博喜氏
　　桑野博喜教授からは、世界的なマイクロエネルギー開発の潮流、高付加価値マイクロエネルギー源の意義と期待、マイクロエネルギーによる新製品・新市場についてお話され、マイクロエネルギー研究を学際的にかつ産学連携のもとに進めるオープンな情報交換を行い、日本を世界のマイクロエネルギー研究開発の拠点にすべく研究会を設立したことが紹介されました。
【セッション３：MEMS産業発展の課題】
　セッション３は、（財）マイクロマシンセンター／MEMS協議会で委員会活動の中からMEMS分野の国際標準への取組み、MEMSファンドリーの基盤強化の課題及びMEMS協議会のアフィリエート機関から現在進めている課題としてマイクロナノ製造人材育成プログラムの紹介、地域企業への研究開発支援の現況について紹介されました。
　①MEMS分野の国際標準化動向
　　帝京大学理工学部情報科学科　教授　大和田邦樹氏
　　大和田邦樹教授からは、IECのTC４７(Semiconductor Devices)の中にSC４７F(Micro-electromechanical Systems)が発足し、日本が幹事国になったことが報告され、MEMS標準化ロードマップの紹介と日本提案規格案の推進などを、マイクロマシンセンターの国際標準化事業委員会で進めていることを紹介されました。
　②マイクロナノ製造人材育成への産総研の取組―産学人材育成パートナーシップ事業を中心に―
　　（独）産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門　　主幹研究員　前田龍太郎氏
　　前田龍太郎氏からは、マイクロナノ製造の商業化への課題となっている設備・人材・コストについて説明され、その課題の一つである人材について、産総研が進めているマイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関するイノベーション人材育成について紹介されました。
　③MEMSファンドリー基盤強化
　　立命館大学　立命館グローバル・イノベーション研究機構　ナノマシンシステム技術研究センター教授　杉山進氏
　　杉山進教授からは、MEMSファンドリーの現状と、日本のMEMSファンドリー機能強化に向けてマイクロマシンセンターMEMS協議会で検討を進めているMEMSデザイン拠点構想について紹介されました。
　④MEMSファンドリーネットワーク構築に向けた活動紹介
　　MEMS協議会ファンドリーサービス産業委員会委員長
　　オムロン㈱エレクトロニクスコンポーネンツビジネスカンパニーセミコンダクタ統括事業部　
　　　　　マイクロデバイス事業　　　　部開発部　部長　佐藤文彦氏
　　佐藤文彦氏からは、MEMS協議会ファンドリーサービス産業委員会委員長の立場から、MEMSファンドリーサービスネットワークの運営、MEMS講習会の活動を初めとしたMEMS産業の裾野拡大に向けたファンドリーサービス産業委員会の活動を紹介されました。
⑤MEMS技術を用いた神奈川県産業技術センターの研究開発支援事例
　　神奈川県産業技術センター電子技術部電子材料チーム　主任研究員　安井学氏
　　安井学氏からは、神奈川県産業技術センターで行っているMEMS関係研究開発の照会と、公設試として企業と連携　して行っているMEMS技術を用いた研究開発事例の紹介がなされました。
⑥MemsONE最新版機能機能紹介と今後の予定
　　　　日本ユニシス・エクセリューションズ㈱　研究開発部MEMSプロジェクト担当部長　前田幸久氏
　　　前田幸久氏からは、NEDOのプロジェクト成果であるMEMS用設計・解析支援システム（MemsONE）の最
　　新版の特徴機能の紹介と、今後に予定される主な機能強化項目について紹介されました。

　マイクロナノ２００８MEMSフォーラムは、昨年と同様に、第１９回マイクロマシン／MEMS展の会場内に設けた特設会場で開催しました。当日は特設会場の定員を上回る延べ４００名の聴講者があり、新技術・新製品の展示と併せ、MEMS関連技術動向、産業動向のカンファレンスへの参加も容易になり、MEMSビジネス、MEMS技術についての現状と展望が一望できたことで、フォーラム参加者の方々からご好評をいただきました。
　MEMS協議会では、MEMS関連産業の発展のための課題の共通認識を深める機会の場としてのＭＥＭＳフォーラムの内容充実を図っていきますので、今後ともよろしくお願いいたします。
　　

２　BEANSプロジェクトの研究開発スタート

　BEANSプロジェクト（異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト）の研究開発が７月１日から５年計画でスタートいたしました。
　背景には、MEMS技術がさらに飛躍的な技術の発展を遂げ、その応用範囲を急速に広げることで、国家・社会的課題である「環境・エネルギー」、「医療・福祉」、「安全・安心」分野で新しいライフスタイルを創出する革新的デバイスを創製することが急務とされています。そのためには基盤技術であるプロセス技術の確立が必須となっており、これまでの製造技術の概念・常識を打ち破った革新的な技術を創出・確立することが肝要であるとし、国のプロジェクトとして２０年後を見据えたBEANSプロジェクトがスタートしたものである。BEANSプロジェクトの推進テーマは、４テーマで次のとおりです。
　（１） バイオ・有機材料融合プロセス技術の開発
　（２） ３次元ナノ構造形成プロセス技術の開発
　（３） マイクロ・ナノ構造大面積・連続製造プロセス技術の開発
　（４） 異分野融合型次世代デバイス製造技術知識データベースの整備
　実施体制は、プロジェクトリーダー遊佐　厚（財団法人マイクロマシンセンターBEANS研究所長）、サブリーダー藤田博之（東京大学教授）及び木股雅章（立命館大学教授）のもとに財団法人マイクロマシンセンター、東京大学、九州大学、財団法人無人宇宙実験システム開発機構が母体となり集中研方式で研究開発を進めてまいります。また、独立行政法人産業技術総合研究所が研究協力として参画されています。
　　

３　NANO KOREA ２００８－Microtech WORLDへの出展（8月27日～29日）

　平成20年8月27日（水）から29日（金）まで、韓国・京幾道高陽市の KINTEX（韓国国際展示場）で開催されるNANO KOREA ２００８－Microtech WORLDに、マイクロマシンセンター／MEMS協議会の活動状況をパネル展示する予定です。
　「NANO KOREA 2008」(The 6th Int'l Nanotech Symposium & Exhibition in Korea)は、韓国で開催される唯一のナノテクノロジー国際展示会で、今年で6回目を迎え、韓国及び海外企業150企業・団体が出展を予定し、昨年は35カ国から6,000人以上の来場者が訪れます。MEMSデバイス、材料及び装置の世界市場は年々拡大成長を続けているところから、韓国では初のMEMS展「Microtech WORLD」（The 1st International MEMS Exhibition in Korea）を「NANO KOREA 2008 」と同時開催することになりました。
　マイクロマシンセンターでは、MEMS協議会が日本におけるMEMS産業化推進の産学官連携のハブ機関として活動していることを韓国及び海外に示すため、MEMS協議会の諸活動を紹介・展示するとともに、この機会を捉え、海外のMEMS関連団体・研究機関との協力関係を深めていく予定です。
　
　

　　

１　第11回MEMS講習会の開催(8月28日）

２　MEMS協議会・交流会の開催案内（10月29日）

１．経済政策動向

２．産業技術政策動向

２．産業技術政策動向

１．経済産業省の人事異動

２．ＮＥＤＯの人事異動

３．COOL BIZ実施中