１ 平成20年MMCの十大ニュース
輝ける2009年の新春を迎えました。本年もよろしくお願い申し上げます。
昨年夏の米国におけるサブプライムローン破綻の問題に端を発した金融危機はまたたく間に全世界に広がり、各国とも深刻な経済不況に陥っております。まさに暴走したマネーが世界経済を直撃したわけで、米国の象徴的な企業であるビッグ３も政府の支援なしには企業経営が存続しえないといった信じがたい状況が生じています。さらには、米国の政権交代の空白期間を狙った年初からのイスラエルによるパレスチナ侵攻など軍事的にも大きな懸念材料が増大しています。
国内では、国内でのねじれ国会に由来する不安定な政治状況が依然として続いており、昨今の難局打開には相当な期間が必要との見方が広がっています。
このような状況の中ですが、（財）マイクロマシンセンターでは着実な活動を行っております。すなわち、わが国の力の源泉である「ものづくり力」強化に資するべく、「産業のマメ」といわれ製造業の発展に不可欠な基幹デバイスとなっているMEMSの技術開発、産業化を積極的に推進しております。国・NEDOプロジェクトに係る技術開発では、第３世代MEMS（BEANS）の基盤的なプロセス技術を開発する研究開発プロジェクトが発足しました。今後５年間にわたり開発を進めてまいります。
また、順調に推移してきた第２世代MEMS（ファインMEMS）の研究開発が３年目の最終段階に入り、最後のブラッシュアップを行っております。一方、MEMS産業の発展を支援することを標榜するMEMS協議会は、昨年３年目に入りました。引き続きMEMS産業化のための総合イベント「マイクロナノ2008」の開催、MEMSモールの開設、国際標準化活動をはじめとする諸々の環境整備活動を展開してきました。
以下当センターの平成20年十大ニュースをご覧いただき、このような我々の活動状況をご理解いただければ幸いです。
(1)わが国新産業創出の起爆剤としてＢＥＡＮＳプロジェクトがスタート
平成20年7月1日から５年間のプロジェクトとして、異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト（通称：ＢＥＡNＳプロジェクト）が当センターを中心にスタートしました。
プロジェクト開始と同時にMMC内にBEANS研究所を設置し、18の参画企業より研究者が出向し、東京大学、九州大学、産総研に研究拠点を置いた集中研方式で研究開発を推進中です。
また、これまで15～16名だったMMC職員も35～36名（うち、女性も3名から7名なる）となり、関係学会への積極的な参加・出展など活発な研究活動が行われています。さらにＭＭＣ事業予算も４億円から一挙に10数億円になり、BEANSプロジェクト全体に関係する者も100名を超えています。
今後の研究の展開によっては予算、人員ともさらに増加するのではと期待されています。このBEANSプロジェクト（環境・医療・安全・安心分野の革新的デバイスの創製）が成功すれば、20年後には環境や人に優しい快適なライフスタイルが実現するはずです。ご期待ください。
詳しくはＵＲＬ：http://www.beanspj.org/ 及びhttp://beanspj.cocolog-nifty.com/blog/に掲載中ですのでご覧ください。
(2)MemsONE Ver1.0 のリリース開始
Ver1.0 起動画面 |
MEMS-ONEプロジェクトの成果であるMemsONEβ版は、平成19年度のNEDO技術開発機構より委託された MemsONE普及事業により、一層の完成度の向上が図られました。この成果をベースとした商用版「 MemsONE
Ver.1.0」を一般企業向けに平成20年２月よりリリースを開始しました。MemsONEでは、一般企業向けの「エンタプライズ版」と大学・研究機関向けの「アカデミック版」の２体系を用意し、アカデミック版については３月中旬からリリースを開始しています。
MemsONEの販売・頒布、機能更新、普及活動等は、MemsONEコンソーシアムを結成し、「MemsONEサポートセンター」をマイクロマシンセンター内に置いて、ソフトベンダーと連携して推進しています。
(3) IECでMEMS分野の分科委員会が新設され、日本が幹事国に！
MEMS分野における国際標準規格づくりはIIEC（国際電気標準化会議）/TC(専門委員会)47（半導体デバイス）のWG4（ワーキンググループ
4）で行われてきましたが、日本からSC（分科委員会）への昇格の提案と幹事国引受けの申し出を行い、日本のこれまでの実績と貢献が各国に評価され、承認されました。
MMCはSC(SC47F)の国内審議団体を引き受けるとともに、MMCの竹内氏が国際幹事に就任しました（7月）。これによりMEMS国際標準化を日本が主体的に進めていく環境が整いました。国際会議は、6月にTC47/WG4会議と日韓中ワークショップ、10月にTC47会議に合せたSC47F会議をそれぞれ東京で開催し、活発な審議が行なわれました。
規格開発では、現在、次の国際規格案として、「寿命加速試験法」、「校正用標準試料」、「接合強度試験法」を提案準備中ですが、今年度より、MEMSデバイスの規格として、「ジャイロ」と「電子コンパス」の標準化のための調査研究をスタートしました。国内では、既にIEC規格として発行されている「マイクロマシン及びMEMSに関する用語」がMEMSに関する初のJIS規格として発行されました（3月）。
このように昨年は、MEMS標準化飛躍の年となりましたが、それを象徴するように、国際標準化の強化に功績があったとして、MEMS関連で3人もの方が経済産業省の工業標準化事業表彰を受賞しました（大和田邦樹氏 帝京大学教授 経済産業大臣表彰、高島和希氏 熊本大学教授 産業技術環境局長表彰、土屋智由 京都大学准教授 産業技術環境局長表彰）。今年もさらに戦略的・継続的な標準化活動を実施してまいります。
(4)ファインMEMSプロジェクト最終年度その成果が見え始める
H18年度からスタートしたファインMEMSプロジェクト（NEDO「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」）も今年度が最終年度となりました。このプロジェクトは、これからの社会ニーズに対応すべく自動車、情報などの重要分野での必須デバイス第二世代MEMSの基盤技術を構築する目的で計画されました。
具体的には、わが国MEMS技術の潜在的な強みとさらなる補強という視点で1)MEMS／ナノ機能結合、2)MEMS／半導体一体形成、3)MEMS／MEMS結合という三つの製造技術課題を厳選し、さらにそれらから得られた知識情報の集積というべき4)ファインMEMS知識データベースの整備、も重要という視点スタートしました。
また、さらに昨今欧米の集積化MEMS開発動向に対し早急に取り組むべき課題としてMEMSと回路集積に重要となる5)ファインMEMSシステム化設計プラットフォーム研究開発が二年目に追加され、現在に至っております。これらの各課題に取り組む参加団体は18団体で、先端的な技術課題乃至わが国に広く普及すべき課題として公的機関8団体（委託）、産業化に直接展開できる課題として民間企業8社（助成）、の構成となっています。
最終年度にあたり、H20年7月28日～8月1日に東京ビッグサイトで開催されたマイクロマシン・MEMS展において、開発サンプルを含めた成果展示を行い、7月31日には中間成果報告会を開催、その成果群が続々と具体的な形で発表されました。助成事業者からのCMOSプロセスと統合されたオンチップ型集積化MEMSはもとより、いろいろな視点でのZ方向への積層化MEMS群、それに不可欠な3次元的なインターポーザ、などの先進的な展示、が行われました。また、自己組織化を活用した大規模実装や、極限的なトップダウン技術としてのナノ機能の取り込み、ボトムアップとの融合を予言するようなCNT
MEMS展示など委託事業者からの先駆的な展示と発表が行われました。会場には、始終満員の観客が訪れ、活発な質疑と討論の中、第二世代MEMSの具体的な形がみえてきました。
マイクロマシンセンターとしても、NEDO技術開発機構のプロジェクトの管理を支援する活動の一環として上述の成果報告会等の企画を実施したほか、受託事業であるファインMEMS知識データベースの整備において目標を大幅にクリアーするデータ量を集積してきており、現在そのリリースの準備段階に入っています。また、ファインMEMSシステム化設計プラットフォーム研究開発のアウトプットであるWebシステムでの「MEMS等価回路ジェネレータ」の開発を進める中、この考え方が新たなMEMSに関する設計手法として提唱され、日本機会学会主催の「電気等価回路から考えるMEMS設計手法研究会」が発足されるなどの新たな動きが生れるまでになっております。
新年を向かえ、この3月にはそれぞれの研究開発課題における最終成果が続々と創出されますのでご期待下さい。
(5)総合イベント「マイクロナノ2008」が世界有数の国際展示会・イベントに成長！
マイクロマシン・MEMS分野の総合イベント「マイクロナノ2008」は、昨年7月29日（火）から8月1日（金）に東京ビッグサイトを主会場として開催し、この分野の総合展示会・イベントとして名実ともに成長・定着しました。
ＭＥＭＳ、ナノテク技術の実用化・製品普及、産学の連携強化、内外の技術交流等を目的とした総合展示会である「マイクロマシン／MEMS展」は、1990年の第1回開催で出展者数42社・団体、小間数40小間でスタートし、昨年の第19回では、358社・団体、483小間数の規模となり、20年間で出展者数約8.5倍、小間数約12倍と、MEMS、ナノテク技術の実用化・製品普及とともに着実に発展してきており、総入場者数でも14,075名で、一昨年度12,424名の約12%アップとなりました。
また同時開催のカンファレンスでは、(1)「第14回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム」、(2)「ファインMEMS（高集積・複合MEMS製造技術）プロジェクト中間成果発表会」、(3)「MEMSフォーラム」、において、単機能デバイスを中心とした第1世代MEMS、多機能・複合デバイスである第2世代MEMS、さらにバイオ・ナノテクと融合して新たなライフスタイルの創出に向けて革新的インパクトを与えることができる第3世代MEMS（BEANS）などについて発表・情報交換が行われ、多数の聴講者が詰めかけました。これは、我が国製造業の基盤技術・キーデバイスの一つとして期待されるMEMS開発・実用化の流れを網羅したものであり的を得たカンファレンスとして評価された結果であると思われます。
このほかの同時開催カンファレンスでも、(4)「日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム」ではマイクロテクノロジー分野で世界をリードする日独両国による最先端技術の紹介、(5)「MEMS協議会海外アフィリエイト・ワークショップ」では、ドイツ、韓国、ブラジル、シンガポールのアフィリエイトからの活動紹介が行われ、国際交流・ビジネスマッチングの機会も設けられ、「マイクロマシン・MEMS展」とともに世界有数の国際展示会・イベントに成長したとの評価が得られました。
今年2009年の総合イベント「マイクロナノ2009」は、7月29日（水）から31日（金）の3日間、東京ビッグサイト（東京国際展示場）東５・６ホールで開催します。特に、世界最大規模のMEMS、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する国際展示会である「マイクロマシン／MEMS展」は第20回を迎え、20周年記念特別プラグラムを含めた同時開催カンファレンスも予定しており、総合イベント『マイクロナノ2009』によりMEMS産業の発展に貢献していく所存です。
(6)MEMS協議会の積極的活動
平成18年4月1日に発足より３年目となるMMC特別事業委員会であるMEMS協議会（MEMS Industry Forum：略称MIF）は、昨年度は、海外アフィリエートとして、NTRA（韓国）、IME（シンガポール）、SUFRAMA（ブラジル）、VTT（フィンランド）、NNMC（米国）、CEA Leti（フランス）の６機関の参加を含めて、構成メンバーがMEMS関連企業、アカデミー、地域拠点、海外機関など昨年末時点で合計188機関となりました。（発足時は143機関）
また、昨年もMIFの下に設置された各種委員会において、行政、関係機関への政策提言活動や、産業交流・活性化のために、活発な活動を行いました。特に、2008年10月1日より、ホームページ上に種々企業のMEMS技術、製品を紹介するMEMSモールを開設いたしました。（http://www.mmc.or.jp/mall/）
MEMS分野の活動紹介や新商品・新技術紹介を行うものであり、MEMSデバイス、ファンドリー、製造装置等の新商品や新技術カタログを紹介するもので、MEMSビジネス活性化を支援することを目的とし、将来的にはMEMSビジネスポータルサイト化を目指します。
当面、当センターのMEMS協議会に参加するメンバー企業のMEMS事業、技術、製品を紹介しますが、将来的には参加企業の範囲を拡大し、MEMS製品全体の情報収集が可能なバーチャルモールとして展開も検討しています。
さらにMEMS産業を活性化するための種々の検討を進めておりますので、本年も皆様の一層のご支援をお願いいたします。
(7)MEMS協議会の海外活動が活発化
MEMS協議会では、MEMS協議会が日本におけるMEMS産業界推進の産学官連携のハブとして機能するため必要となる、海外のMEMS産業化推進団体、公的研究機関とのアフィリエート関係を構築し、MEMS協議会の活動内容を発信するとともに、海外企業とのビジネス交流を促進しています。海外アフィリエート機関は、MEMS協議会が発足した平成18年4月では5機関でしたが、昨年末時点で17機関の増大し、MEMS協議会の海外活動が活発になりました。
マイクロマシンセンターが常設事務局である国際マイクロマシンサミットは、昨年第14回が韓国で開催され、18カ国/地域から代表者56名、オブザーバ43名の合計99名が参加して、マイクロマシン／MEMSに関する教育、技術動向、政策やトピックス等の現状や将来展望など、マイクロナノ技術の開発・応用に関しての幅広い意見交換を行いました。
また、海外アフィリエート機関が主催する、「COMS2008」(メキシコ：9/1-4)、Minaoim Seminar(ブラジル：9/11-13)、 MIG MEMS Executive Congress(米国：11/5-7）に参加に参加しMEMS協議会活動及び日本のMEMS関連状況を発表するとともに、マイクロ/ナノ関連企業、大学等を訪問、海外の技術・産業動向情報を収集するとともに、海外の公的研究機関が主催する日本国内でのセミナー・イベントにも積極的に協力するなど、MEMS協議会の海外活動が充実してきました。
これからもMEMS協議会メンバー各位のご協力のもとに、MEMS協議会が日本のMEMS産業界推進の産学官連携ハブ機関としての活動を推進していきますので、よろしくお願いいたします。
(8)MEMS分野の人材育成事業が始動
マイクロマシンセンターでは、平成10年には1兆1,700億円、平成15年には2兆4,000億円と予想されるMEMS市場規模を支える人材を質・量ともに充実させていくために、産業界が望むMEMS人材像へのステップアップ方策も加味したMEMS人材育成システムの概念図をまとめるとともに、企業内人材育成の充実、産学連携による人材育成の充実、他分野の人材が容易にMEMS分野に参入可能となる環境整備という、3つの視点からのMEMS人材育成事業の方策をまとめました。
この方策の実現に向かい、現在（独）産業技術総合研究所が中心となって進めている「マイクロナノ量産技術と応用デバイス製造に関する新事業開拓イノベーション人材育成プログラム」に協力するとともに、各地域コンソーシアムとも連携し、産学連携による実践的な人材育成や、社会人を対象としたMEMS技術講座・研修コースの拡充に向けての具体的な人材育成事業及びMEMS分野の人材育成ホームページの開設などの検討をスタートいたしました。
(9)MMCテクノサロンのオープンとオフィス環境の整備
マイクロマシンセンターでは、新しい事業を展開する上で現在のセンターの大幅なレイアウト変更と同時に、新たに近くの柴田ビル3階（32坪/105.786㎡）を借上げて会議室を確保致しました。この会議室名は「MMCテクノサロン」として、会議専用のスペースとしました。これにより、従来外部の会議室の予約業務や借用費用の削減が大幅に改善されました。
MMCテクノサロンは通常は30名程度の会議が可能なようにセットされていますが、スクール形式にテーブルを置き換えれば40名程度の会議が可能となります。会議室の環境は、これまでのセンター内に設置されていた会議室と同等の環境で、無線LANや電話も設置されています。その他、喫煙スペースや自販機も設置して、会議に出席された方々が利用しやすい環境を整えることとしました。
「MMCテクノサロン」の場所 http://www.mmc.or.jp/gaiyou/map/
所在地：千代田区神田佐久間河岸71-3
柴田ビル3階（MMCから神田川沿い徒歩1分）
(10)新非営利法人制度の施行
平成20年12月１日に公益法人制度改革関連３法が施行されました。当財団法人マイクロマシンセンターを含む現行の公益法人は、すべて法律上の「特例民法法人」となり、平成25年11月30日までの５年間の移行期間に新たな法人形態に移行することとなりました。移行期間中は、現在の名称「財団法人マイクロマシンセンター」をそのまま使用し、業務もこれまでどおり実施してまいります。
今後も、マイクロマシン・MEMS産業の一層の発展を目指して参りますので、引き続き倍旧のご厚情を賜りますようお願い申しあげます。
なお、名称は現状のままが認められておりますので、団体表示及び名刺などもそのままの形で使用しております。この点もご理解を宜しくお願い致します。
２ 第1回MemsONEユーザー会の開催（12月17日）
MemsONE Ver1.0を昨年2月よりリリースを開始し、10ヶ月が経過致しました。この間、Ver1.1をリリースすると伴に、実習講座や各種イベント出展などの普及活動を推進して来ました。これらの活動により、ユーザが徐々に増えつつあることを踏まえ、ユーザとサポートセンター間およびユーザ間の情報交換・交流の場として「MemsONEユーザ会」を下記要領で開催致しました。
◆開催日時： 平成20年12月17日（水）14:00～17:00～交流会
◆開催場所： ＭＭＣテクノサロン
◆参加費用： 無料
◆開催内容： １）MemsONE活用事例など５件（大学：３件、企業：２件）
２）Ver2.0の機能・商品体系紹介とデモ
３）MemsONE活用上のＱ＆Ａ
４）技術相談・交流会
本ユーザ会にはユーザおよびMemsONE普及促進委員会の関係者が参加し、第１回としては想定以上の20数名の参加がありました。今後は徐々に増えていくものと期待しています。
また、技術相談・交流会では東京大学藤田教授および京都大学小寺教授にMemsONE普及への励ましのご挨拶をいただきました。
主催者挨拶（青柳専務理事） |
小寺教授（京都大学） |
曽根准教授（東京工芸大学） |
飯塚技術職員（東京大学） |
網倉GL（オリンパス） |
原田主任研究員（日立製作所） |
今回は東京での第１回を開催致しましたが、今後は東京と関西で各年１回を開催していく予定です。
１ マイクロナノ2009の開催案内（2009年7月29日～31日）
来年の｢マイクロナノ2009｣は、平成21年7月29日（水）～７月31日（金）の3日間、東京ビッグサイトで開催することで準備を進めています。
来年は、MEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会である「マイクロマシン／MEMS展」が第20回目を迎える節目にあたり、マイクロナノ／MEMS分野の最新技術・製品が効果的に一望できる総合イベント「マイクロナノ2009」として、展示会ではマイクロナノ／MEMS分野の産業展開をよりビジュアルに表した特別展示や、展示会場内に設けた特設会場においては、マイクロナノ／MEMS分野の国内外先端技術動向や海外の産業化動向の他、「マイクロマシン／MEMS展」の20周年を記念した特別プログラムなど、多彩なプログラムを計画しています。
マイクロナノ／MEMS分野の技術・製品が効果的に一望できる総合イベント「マイクロナノ2009」をご期待下さい。
なお、「第20回マイクロマシン／MEMS展」の出展募集は、オーガナイザーであるメサゴ・メッセフランクフルト㈱から、近々行われます。（10月下旬ごろ）
○展示会
『第20回マイクロマシン／MEMS展』
（MEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会）
会期：7月29日（水）～7月31日（金）の3日間
会場：東京ビッグサイト 東５＆６ホール
○シンポジウム・カンファレンス（予定）：
会場はいずれも『第20回マイクロマシン／MEMS展』展示会場内特設会場を予定。
①第15回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム
②BEANSプロジェクト中間成果発表会
③MEMSフォーラム（MEMS協議会からの情報発信）
④日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム
⑤MEMS the World Workshop （MEMS協議会海外アフィリエート・ワークショップ）
２ 第12回MEMS講習会の開催（2009年2月6日）
第12回MEMS講習会を来年2月6日（金）に、初めて東海地方で開催いたします。
今回は、同日開催される財団法人浜松地域テクノポリス推進機構主催の「はままつメッセ2009」と
同時開催という形で開催いたします。皆様のご参加をお待ち申し上げます。
＜開催概要＞
日 時：2009年2月6日（金）13:00～18:00(～19:00懇談会)
場 所：グランドホテル浜松 2F 桃山の間
〒432-8507 静岡県浜松市中区東伊場1-3-1
TEL：053-452-2111
（はままつメッセ2009ホームページ： http://www.hamatech.or.jp/messe2009/)
主 催： 財団法人マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会
共 催： 財団法人浜松地域テクノポリス推進機構
静岡大学イノベーション共同研究センター
参加費： 一般 5,000円 ／MEMS協議会メンバー 4,000円
定 員： 60名
プログラム
13:00 主催者／共催者挨拶
・青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事）
・共催者代表 ＜検討中＞
13:10－13:50 MEMSの集積・融合の進展と新産業創出への期待
杉山 進 （立命館大学 ナノマシンシステム技術研究センター長 教授 ）
13:50－14:30 電気等価回路によるMEMS設計法
橋口 原 （静岡大学 電子工学研究所 教授）
14:30－14:40 ――― 休憩 ―――
14:40－15:55 MEMSプロセスについて
①14:40－14:55 エッチングプロセス
林 俊雄
（名古屋大学理学部教授、（株）アルバック 半導体技術研究所担当部長）
②14:55－15:10 ８インチＭＥＭＳプロセス
西尾 英俊
（オムロン（株） マイクロデバイス事業部開発部 技術専門職）
③15:10－15:25 ナノインプリント（低コスト微細成形技術）
高橋 正春
（産業総合研究所 先進製造プロセス研究部門 グループ長）
④15:25－15:40 ウエハレベルパッケージ技術
末益 龍夫
（（株）フジクラ シリコン技術開発部 部長）
⑤15:40－15:55 表面活性化法を用いたＭＥＭＳウエハ常温接合
奥戸 崇史
（パナソニック電工（株） 微細プロセス開発センター 技師）
15:55－16:35 東海地区のMEMS企業技術紹介
MEMS量産工場での普及の進む完全ドライ・レーザダイシング
“ステルスダイシング技術の原理と進化”
内山 直己
（浜松ホトニクス（株） 電子管事業部 第６製造部 主任部員）
16:35－17:20 MEMSデバイスおよびシミュレーションについて
①16:35－16:50 光MEMSの標準プロセス
網倉 正明
（オリンパス（株） MEMS開発本部 プロセス技術部 ｸﾞﾙｰﾌﾟﾘｰﾀﾞｰ）
②16:50－17:0 マイクロ流体デバイスの加工技術
小出 晃
（（株）日立製作所 マイクロ機構デバイスユニット ﾕﾆｯﾄﾘｰﾀﾞｰ）
③17:05-17:20 MEMS用設計・解析支援システム（MemsONE）の現状とその応用
岩崎 拓也
（みずほ情報総研（株） サイエンスソリューション部 ｼﾆｱｺﾝｻﾙﾀﾝﾄ）
17:20－17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
佐藤文彦 委員長
（オムロン（株） マイクロデバイス事業部 開発部 部長）
17:30－18:00 ――― 技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩 ―――
18:00－19:00 懇談会
３ 第17回先端技術交流会の開催（2009年2月17日）
（財）マイクロマシンセンターでは、MEMS協議会の産学連携事業の一環として、賛助会員企業の専門家を対象に、マイクロナノ技術に関する各産業分野における先端技術への認識と理解を深め、マイクロナノ技術の普及啓発と産学の技術交流を図ることを目的として、「マイクロナノ先端技術交流会」を実施しています。
第17回のマイクロナノ先端技術交流会は、早稲田大学理工学術院 庄子習一教授、東京大学大学院 三田吉郎准教授をお招きし、下記のとおり開催します。
第17回マイクロナノ先端技術交流会
・開催日時：平成21年2月17日（火）
・会場：マイクロマシンセンター「MMCテクノサロン」
・プログラム：
13:25～13:30 主催者挨拶（MMC 青柳専務理事）
13:30～15:10 講演①
講師：早稲田大学理工学術院電子光システム学科ナノ理工学専攻
庄子 習一 教授
講演題目：「細胞機能解析を目的としたMEMSデバイス」
講演概要：特定の細胞の機能解析を目的して、細胞培養、細胞破砕、生体分子分離・分析を実現するMEMS応用デバイスの研究例を紹介します。
15:10～15:20 休憩
15:20～17:00 講演②
講師：東京大学大学院 工学系研究科電気工学専攻
三田 吉郎 准教授
講演題目：「自律分散マイクロロボットを通じた集積化MEMSの研究」
講演概要：水面を自律走行するMEMSを例題とし、世界最低電圧のEWOD液滴駆動法と深さ10μｍ幅150ｎｍの三次元構造光受光素子での実現を通じて、MEMS技術革新を狙う集積化MEMSの研究を紹介します。
17:00～17:10 休憩
17:10～19:00 技術相談及び交流会（立食形式）
（会場：MMC本部会議室）
開催案内については、MEMS協議会ホームページやマイクロナノExpressにてご案内しますので、皆様のご参加をお願いいたします。
４ MEMS協議会アフィリエート関係のイベント
（１）（財）北九州産業学術推進機構
●第3回ネットワーク強化勉強会（ひびきのエコ・ものづくりサロン）
「マイニングからエコへ-鉱山技術の環境問題への適用」
・日 時：平成21年1月20日（火） 16：00～19：00
・場 所：北九州学術研究都市 産学連携センター２階 会議室
・参 加 費：1,000円（ただし、「ひびきの会」会員は無料））
※内容詳細は、http://www.kq-ec.net/iac/info/details.html?eid=00066
（２）産学人材育成パートナーシップ事業
●講座 「先端精密工学の基礎」
・講 師：東京大学大学院 精密機械工学専攻
樋口俊郎教授、高増 潔教授
・日 時：平成21年1月29日（木） 10：00～16：30
・場 所：東京大学本郷キャンパス
工学部第14号館 １階 142号講義室
・受講料 無料 （定員 30名）
※内容詳細は、
http://www.pe.t.u-tokyo.ac.jp/ug/bulletin/pe_lecture_2009Jan29.pdf
１．経済政策動向
■月例経済報告（１２月２２日）
１２月の月例経済報告では、景気の基調判断について、「景気は、悪化している。先行きについては、当面、悪化が続くとみられ、急速な減産の動きなどが雇用の大幅な調整につながることが懸念される。加えて、世界的な金融危機の深刻化や世界景気の一層の下振れ懸念、株式・為替市場の大幅な変動の影響など、景気をさらに下押しするリスクが存在することに留意する必要がある。」としています。
年末、世界経済の減速が国内にも一段と影響を与えてきている現状が報告されています。詳しくは以下の資料をご参照ください。
○ 月例経済報告関係資料
http://www5.cao.go.jp/keizai3/2008/1222getsurei/main.pdf
■経済産業省の主な経済指標（２００８年１１月速報 2008年１2月26日）
経済産業省は、商鉱工業及びサービス業など幅広い分野にわたって統計調査を実施しており、それらの調査・分析結果について取りまとめた統計をホームページ上に公表しています。
生産・出荷・在庫・在庫率指数概況でみますと、 １１月の生産は、前月比▲8.1%の低下と2か月連続の低下(前年同月比は▲16.2%の低下)となり、指数水準は94.0(季節調整済)となりました。生産の低下に寄与した業種は、輸送機械工業、一般機械工業、電子部品・デバイス工業等。品目別にみると、普通乗用車、普通トラック、駆動伝導・操縦装置部品の順に低下しています。また、11月の出荷は、前月比▲8.4%の低下と2か月連続の低下(前年同月比は▲17.0%の低下)となり、指数水準は93.5(季節調整済)。出荷の低下に寄与した業種は、輸送機械工業、電子部品・デバイス工業、一般機械工業等でした。11月の在庫は、前月比0.7%の上昇と3か月連続の上昇(前年同月比は4.2%の上昇)となり、指数水準は110.3(季節調整済)。在庫の上昇に寄与した業種は、化学工業、電子部品・デバイス工業、鉄鋼業等でした。
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-1.html
鉱工業指数
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result/pdf/press/h2a2810j.pdf
２．産業技術政策動向
■総合科学会議の動向
総合科学技術会議は、平成２０年１２月２５日、分野別推進総合ＰＴ ナノテクノロジー・材料ＰＴを開催しました。資料は以下を参照下さい。
http://www8.cao.go.jp/cstp/project/bunyabetu2006/nano/9kai/haihu9.html
また、総合科学技術会議では、「科学技術連携施策群 ナノバイオテクノロジー連携群成果報告会」を開催することになりました。詳細は、以下の通りです。
主催：内閣府
共催：文部科学省、厚生労働省、農林水産省、経済産業省、環境省
日時：平成２１年１月２８日（水） １１時００分～１７時００分
場所：日本科学未来館 みらいＣＡＮホール、第３会議室
〒１３５－００６４ 東京都江東区青海２－４１
http://www8.cao.go.jp/cstp/renkei/09128nanobio.pdf
■平成２０年度産業技術関連予算の概要（２００８年３月２８日成立）
経済産業省の産業技術予算のうち、「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発」については、一般会計で１２億円（要求は１６億円）が認められています。
http://www.meti.go.jp/press/20071224001/05_sangi.pdf
■イノベーションを取り巻く関連政策動向
１ 「日中韓ビジネス環境アクション・アジェンダ」の合意
日中韓3国が実際に投資環境の改善につながるような具体的個別の措置実施を促す「日中韓環境改善アクション・アジェンダ」について、日中韓3国間で正式に合意されたことが、12月12日に発表された。
平成15年10月に開催された日中韓首脳会合での共同宣言により、対内直接投資の促進に向けた措置をとる認識が共有され、共同研究を立ち上げることが合意された。この合意を受け3国で協議を続け、その成果として、このほどアクション・アジェンダが合意されたものである。
本アクション・アジェンダに盛り込まれている内容は以下のとおりである。
①パブリックコメント制度の導入、標準処理期間の遵守、申請の受理・不受理の書面による説明等の投資関連法令・規則の透明性
②知的財産権に関する紛争専門の裁判所制度の確立等の知的財産権の保護
③中央及び地方における苦情処理センターの設置等の紛争処理メカニズム
④中央及び地方政府におけるワンストップサービスセンターの設置等の投資関連サービスの促進
⑤中央・地方における法規制の運用一貫性確保等の中央・地方の統一行政
参考：http://www.meti.go.jp/press/20081212003/20081212003-1.pdf
２ 「ソーラー・システム産業戦略研究会」の立ち上げ
経済産業省は、12月9日、太陽電池産業の競争力の維持・強化を図るため「ソーラー・システム産業戦略研究会」を立ち上げた。
太陽光発電は、エネルギー政策の位置付けが強かったが、関連産業のすそ野も広く、将来の我が国産業の一翼を担うことへの期待も大きいことから、産業戦略としての観点からも今後の展開を考えることにしたものである。
検討課題としては、次の事項が挙げられている。
①基礎研究、製品開発、生産技術の高度化、標準化等の技術力の強化
②戦略的な調達、物流の効率化等の強化
③国内、及び海外における販売力・プロジェクト展開の強化
④規制制度改革
本研究会は、商務情報政策局及び資源エネルギー庁が共同で開催することとしている。また、とりまとめは来年2月を予定している。
参考：http://www.meti.go.jp/press/20081209002/20081209002-2.pdf
http://www.meti.go.jp/press/20081209002/20081209002-1.pdf
３ 日アセアン包括的経済連携（ＡＪＣＥＰ）協定の発効について
12月1日に日アセアン包括的経済連携（ＡＪＣＥＰ）協定が、我が国とラオス、ミャンマー、シンガポール、ベトナムとの間で発効した。これらの国以外のＡＳＥＡＮ各国との間では、各国から所要の国内手続きが完了した旨の通告がなされた後、順次効力が発生することになる。
この協定は、ＡＳＥANとの間の経済連携を強化するため、我が国とＡＳＥAN構成国との間の物品・貿易を自由化・円滑化し、知的財産分野及び農林水産分野等での協力を促進するとともに、サービス貿易の自由化、投資の自由化について今後交渉を行うこと等を定めるものである。
この協定は、既に発効しているシンガポール、メキシコ、マレーシア、チリ、タイ、インドネシア、ブルネイとの2国間経済連携協定に続き8番目に発行する経済連携協定である。また、我が国にとって、初の多国間協定となる。
参考：http://www.meti.go.jp/press/20081201001/20081201001.pdf
４ 気候変動枠組条約第14回会合（ＣＯP14）の概要
気候変動枠組条約第14回締約国会議（ＣＯP14）は、12月1日～12日の日程で、ポーランドのポズナンで開催された。
地球温暖化に関する2013年以降の枠組みについては、2009年末の合意に向け議論が行われているが、今回の会合はこの合意に向けた重要な会合と位置づけられていた。
この会合では、特に7月の洞爺湖サミット（Ｇ８）で合意した、2050年までに世界全体の排出量を少なくとも50％削減するという長期目標の共有で合意できるかどうか（「共有のビジョン」）が注目されていたが、合意に至らなかった。これは、中国、インド等から、長期目標だけではなく中期目標も重要、先進国からの資金援助や技術移転などすべてについて考え方を共有する必要がある等の意見が相次いだことによるものと言われている。
このほかの個別議題としては、技術の開発及び移転、途上国支援のための基金、京都メカニズムの制度改善、森林減少・劣化に由来する排出の削減、国際航空・海運からの排出、研究及び組織的気候変動観測等について幅広く意見が交換された。
我が国は、会議において、長期目標の共有、セクター別アプローチの考え方、国を経済発展段階に応じて分類する考え方、発展段階に応じて上位の分類に移行する仕組み（卒業）等について主張している。
今回の会合では、実質的な合意ができなかったとの評価が一般的であるが、来年のコペンハーゲンでのＣＯP15で合意することを目指して、引き続き努力することが求められている。
参考：http://www.env.go.jp/press/file_view.php?serial=12657&hou_id=10552
■NEDO産業技術政策関連
○ＮＥＤＯ海外レポート
103５号－平成20年12月17日 バイオマス特集
http://www.nedo.go.jp/kankobutsu/report/1035/index.html
1 ロボット3団体合同賀詞交歓会のご案内
（社）日本ロボット工業会、（財）製造科学技術センターおよび当センター合同の新年賀詞交歓会が以下のとおり開催されます。
連絡窓口担当者、運営委員会委員の方々には、連絡窓口担当者に出席予定者の調査依頼をお願いしております。また、賛助会員の代表者および理事、評議員の方々には、3団体の内から個別に封書にてご案内を申し上げております。
年初ご多忙のことと存じますが、万障お繰り合わせの上ご来臨賜りますようご案内申し上げます。
日 時 ： 平成21年1月15日（木）
12:00～13:30
場 所 ： 虎ノ門パストラル
新館1階 鳳凰の間
Tel：03-3432-7261
http://www.pastoral.or.jp/access/index.php
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