１ 平成21年度第1回MEMS協議会推進委員会およびMEMS協議会メンバー交流会の開催（2009年６月１２日）
○第1回MEMS協議会推進委員会
当センターの特別事業委員会であるMEMS協議会推進委員会の平成21年度第1回が、MEMS協議会の今仲行一副会長（オムロン㈱執行役員常務）、下山勲副会長（東京大学大学院情報理工学研究科研究科長・教授）出席の下、また来賓として経済産業省製造産業局産業機械課是永基樹課長補佐、NEDO技術開発機構上原理事をお迎えし、6月12日（金）に、マイクロマシンセンター通常理事会の後、MMCテクノサロンにて開催されました。
第1回MEMS協議会推進委員会では、平成21年度活動計画についての審議が行われ、以下の4つの活動について審議され、承認されました。
（１）政策提言活動
（２）産学連携活動
（３）MEMS開発のためのインフラ整備活動
（４）MEMSビジネス内外交流活動
それぞれの活動内容については、MEMS協議会のホームページをご覧下さい。
→ http://www.mmc.or.jp/mif/
○平成21年度第1回MEMS協議会メンバー交流会
第1回MEMS協議会推進委員会に引き続いて、6月12日（金）17:15から、MMCテクノサロンに程近いレストラン「あべにう」において、MEMS協議会の諸活動の理解を深め、MEMS協議会メンバーの相互交流が出来る場として「MEMS協議会メンバー交流会」が行われました。
このメンバー交流会には、来賓として、経済産業省製造産業局産業機械課、NEDO技術開発機構の方々をお迎えし、MEMS協議会正メンバー企業、アソシエートメンバー企業、ＭＥＭＳ協議会フェロー、MEMS協議会アドバイザーの方々、合わせて約60名の参加がありました。
開催にあたってMEMS協議会の今仲副会長から、この交流会の前に開催された「平成20年度第1回MEMS協議会推進委員会の状況を加味した開会挨拶、経済産業省製造産業局産業機械課是永課長補佐およびNEDO技術開発機構上原理事から来賓ご挨拶を頂いた後、MEMS協議会下山副会長（東京大学大学院教授）乾杯の音頭の後、交流・懇談を行いました。
今仲行一副会長の挨拶 |
交流・交歓風景 |
MEMS協議会メンバー同士の情報交流はMEMS協議会のホームページやメーリングリスト（マイクロナノネット）を通してできるようになってはいますが、ネット上の交流だけでなく、企業メンバーの方々が直接、膝を突き合わせて交流できる機会も必要とのご意見をいただいており、毎年2回開催をいたします。平成21年度第2回MEMS協議会メンバー交流会は、今秋10月下旬に開催予定です。
２ ファインMEMS知識DB及びMEMS等価回路ジェネレータの供用開始
６月第２週からファインMEMS知識データベースおよびMEMS等価回路ジェネレータを公開しました。ＮＥＤＯ委託・助成事業「高集積・複合MEMS製造技術開発（ファインMEMSプロジェクト（平成１８年度～平成２０年度）」の中で、マイクロマシンセンターでは、高度MEMS開発・製造に係わる研究者・技術者の支援、裾野拡大を図ることを狙いとして、２つのテーマについて開発を行いました。
知識データベースは、ファインMEMSプロジェクトに参画した事業者（委託及び助成）の研究開発成果（研究データ、科学的知見、および文献情報）、再委託した大学の研究開発の成果、およびマイクロマシンセンターが国内外の学会等で収集した発表論文、技術文献等を、平成２１年３月末時点で１５００件を超える知識データとして格納しています。
また、本プロジェクトに関わる特許情報として、２０００年以降の国内公開特許、米国登録特許、およびＰＣＴ公開特許を調査し、抽出したものをデータベースに実装しました。特に、特許出願件数の多いＭＥＭＳ/半導体の一体形成技術およびＭＥＭＳ/ＭＥＭＳの高集積結合技術については、主要な企業、研究機関の出願動向をまとめた分析資料集を作成し、これらをデータベースに実装してあります。
一方、ＭＥＭＳ等価回路ジェネレータは、MEMSと電子回路を等価回路モデルで表現する設計手法です。この手法の確立により、ＭＥＭＳと電気回路の集積化や多種類のＭＥＭＳの組合せによる集積化に関する研究開発が活発化し、製品に関する成功事例も出現する中、MEMS技術者や電子回路技術者のデバイス設計を容易にする新たなアプローチを提案するものです。
「ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発（平成１９年度～平成２０年度）」の成果として、今回各種デバイスの等価回路モデルおよび回路シミュレータで利用可能なネットリストを、MEMS等価回路モデルWeb
Library Systemに収納しています。
これらの成果は、インターネット上で提供することにより、知識情報、デザイン支援ツール等、様々なオープンコンテンツを搭載した百科事典”MEMSPedia”として、効果的な普及、拡充を図っていきます。是非、ご活用ください。
（１）MEMSPedia、ファインMEMS知識データベース、MEMS等価回路ジェネレータの概要に関しましては、
ホームページ：（http://www.mmc.or.jp/memspedia/）をご覧下さい。
（２）ファインMEMS知識データベースの詳細に付きましては、
ホームページ：（../../memspedia/finemems_db/）をご覧下さい。
（３）MEMS等価回路ジェネレータの詳細に付きましては、
ホームページ：（../../memspedia/web_library/）をご覧下さい。
３ LetiワークショップとヨーロッパのMEMS実情報告(2009年６月６日～６月１４日)
6月11日・12日の2日間、フランス グルノーブルにおいて、MEMS協議会の海外アフィリエートであるLETIと共同でMEMSに関するワークショップ、MMC/LETI
Workshop on MEMSを開催しました。さらに、LETI以外の欧州の海外アフィリエート研究機関などを、6月8日から12日にかけて相次ぎ訪問しました。日本からの参加者は、東京大学 藤田先生、九州大学 安達先生、八尋先生、リンテック 中田様、住友精密（STS）田中様、NEDO 岡野様、経産省 浅野様、MMC/BEANS研究所 安達、MMC 片白の9名です（一部の方々は途中からの参加）。
以下はその概要報告です。
○VTT（フィンランド オウル）6月8日
・VTTは国立の研究所でオウルはEspooに次ぐ2番目の規模の拠点。
・Kopola教授およびKansakoski氏と面談して相互の活動を紹介し合い、今後の連携について探りました。
・日本からは、有機エレクトロニクスに関する研究紹介を安達教授から、BEANS-PJの紹介を安達氏から、リンテックの企業および技術紹介を中田氏から、オリンパスのMEMS技術紹介を片白から行いました。
・VTTからは全体紹介に加え、Printed Intelligenceプロジェクトの紹介があり、非常に興味深い内容でした。いわゆるRoll to Rollを前提としたアプリ開発は究極のコストダウン策と言えると思います。
○Fraunhofer ISC（ドイツ ウルツブルグ）6月9日
・ISCはInstitute for Silicate Researchのことで、５８もあるFraunhofer研究所のひとつ。表面化学に強みを持つ。
・MicrosystemsのビジネスユニットリーダーであるPopall等、5名の方々とミーティングを持ち、相互の紹介と今後の連携について話し合いました。
・日本側からは、安達教授から研究紹介および安達氏からBEANSの全体紹介および研究トピックスの紹介を行いました。
・Fraunhofer ISCの開発した有機無機ハイブリッドポリマー（ORMOCER）は興味深い特性を有しており、様々な応用に関して連携の可能性があります。
○IMEC（ベルギー ルーベン）6月10日
・IMECはフランダース州のサポートで発足し、継続的に拡大している研究所。More Moor（ムーアの法則の推進）、More than Moor（ムーアの法則と別方向の発展）、およびConvergence of More Moor & More than Moor（3次元集積や融合）を柱として研究開発を推進している。
・Heterogeneous Integrated MSTグループリーダーのMoor氏や有機エレクトロニクスの研究グループから研究者の参加を得てミーティングを行いました。
・日本側からは、安達教授および八尋氏から研究紹介および安達氏からBEANSの全体紹介および研究トピックスの紹介、中田氏から会社および技術紹介を行いました。
・IMECの3つ目の研究の柱（Convergence of More Moor & More than Moor）はBEANSとコンセプトが近く、様々な連携、交流の可能性があります。また、有機エレクトロニクスについても急速に投資を拡大させているようで、BEANS九州との連携の可能性がありそうです。
・IMEC300mmラインの見学もさせてもらいました。
○MMC/LETI Workshop on MEMS（フランス グルノーブル）6月11・12日
・ワークショップの参加者は日本からの9名を含め、約30名。VTTやFraunhofer、STマイクロなどからも参加あり。
・日本からは、藤田教授からBEANSプロジェクトの総括的な紹介および研究紹介、安達教授および八尋氏から有機エレクトロニクスの研究紹介、安達氏からパナソニック電工のパッケージ技術、MMCを中心とする標準化活動やBEANSのトピック紹介、浅野氏からMETIの研究開発推進の方針紹介、中田氏から会社および技術紹介、田中氏からSPPおよびSTSにおける研究開発紹介、片白からオリンパスにおけるMEMS開発の紹介、を行いました。
・LETIからも様々な研究紹介がありましたが、LETIを含む欧州の４つの研究機関が連携してHetero IntegrationにおけるOne Stop Shopを目指す枠組みの紹介は今後も注目すべきと思います。
・有機エレクトロニクス、国際標準化、表面修飾、の３つについて今後の連携を検討することとしました。
・Workshopの終了後、LETIのMEMS200（MEMSの8インチライン）の見学もさせてもらいました。平日3交代で稼働しており、試作期間はかかるようですが、安定した品質でプロトタイピングができそうです。
LETI/MINATEC前で日本側参加者全員 |
○STマイクロ CrollesのCMOSライン見学 6月12日午後
・最初にSTマイクロ Crollesの全体紹介をプレゼンしてもらい、ラインの見学をさせてもらいました。200mmラインと300mmラインが365日、24時間稼働しており、企業としての勢いを感じました。200mmラインへの投資が300mmラインより多いということで、製品構成の実態を反映していると思われました（担当者からは歴史が長いからとの説明ではありましたが）。
・クリーンルームの中は、数多い装置群に加え、白線に沿って行き交う自動搬送ロボットが印象深いものでした。
以上の訪問をきっかけとして、欧州研究機関とMEMS協議会メンバー企業、大学、研究機関の連携が深められるよう働きかけをして行きたいと考えています。
４ BEANS総合研究会報告（2009年5月19日～20日）
BEANS総合研究会が経済産業省、独立行政法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構から御来賓をお迎えして、2009年5月19日、20日の2日間、東京都府中市のクロスウェーブ府中にて総勢91名の参加により開催されました．本総合研究会は各テーマ、研究員の昨年度研究開発報告、各拠点間の技術融合による新技術創出、BEANSが創出する未来に関する議論、及びプロジェクト内協力、競争力の向上を目的として実施されました
19日は遊佐プロジェクト・リーダーご挨拶、ポスター形式による昨年度研究成果発表の後、翌日のグループ討論のための準備討論が個々に行われました。
プロジェクト・リーダーご挨拶では前出の総合研究会の目的と主旨についての意義やBEANSプロジェクト・メンバーのミッション、今後の課題としての研究ビジョンやシナリオの具現化が重要であるとのお話がありました。
ポスター形式による昨年度研究開発報告は44件ありました、優秀ポスター発表を目指して各研究員が各自の持ち時間ポスター発表を行い、多くの有効な議論が交わされていました。
ポスター発表の後は食事を挟み、翌日のグループ討論のための準備討論が深夜まで行われていました。
グループ討論 |
グループ討論発表 |
20日はグループ討論、グループ討論発表報告、昨年度研究成果総括、口頭研究発表、優秀ポスター賞、優秀研究表彰が行われました。
表彰式 |
藤田SPLの講評 |
グループ討論では各拠点センターの研究員、産官学が融合する形でグループが形成され、「BEANSプロセスの今後の展開」、「BEANSプロジェクトの目指す姿」、「BEANS異分野融合」の3つのテーマに関して、各テーマ2つのグループで議論が交わされました。グループ討論の発表はパネルディスカッション形式で行われ、重要な意見や考え方、ユニークな考え方の発表が行われ、会場からも多くの意見が出されていました。
昨年度研究成果総括では竹内Life BEANSセンター長、安達Life BEANS九州センター長、杉山3D BEANSセンター長、木股3D BEANS滋賀センター長、伊藤Macro BEANSセンター長の各拠点センター長より報告がありました。
口頭研究発表では、各センター長推薦による以下の研究員の優秀研究発表が行われ、活発的な質疑が交わされました。
Life BEANSセンター 津田 行子
Life BEANSセンター九州 平出 雅哉
3D BEANSセンター 久保田 智弘
3D BEANSセンター滋賀 小川 新平
Macro BEANSセンター 松本 壮平
表彰式では上記研究員の他、以下の優秀ポスター賞の表彰も行われ、木股サブ・プロジェクト・リーダーより表彰状が手渡されました。
最優秀ポスター賞 柴田 秀彬
優秀ポスター賞 百瀬 健、渡辺 吉彦、柏木 誠、平田 修造
最後に藤田サブ・プロジェクト・リーダーによる総括、ご講評の後、散会となりました。
５ 第2回BEANSプロジェクトセミナーの開催（2009年5月29日）
第2回BEANSプロジェクトセミナーが5月29日（金）に技術研究組合BEANS研究所と東京大学生産技術研究所の共催で開催されました。
今回のセミナーはH2１年度駒場リサーチキャンパス「生研公開」のプログラムのひとつに取り上げてられており、BEANSプロジェクトの研究活動を一般の人に初めて公開する良い機会となりました。
セミナーは「産業の豆！？次世代MEMSデバイスを考える」と云う時流に適った大変一目を引きつけたタイトルを付けたこと、また生研内でBEANSプロジェクトの前宣伝が功を奏したため、雨天にもかかわらず100名近い参加者がありました。
はじめにBEANS研究所の遊佐所長によるプロジェクト概要の説明あり、その後Life BEANSセンター、３D BEANSセンター, Macro
BEANSセンターそれぞれの代表的な研究テーマについてBEANS研究者の以下5人の諸氏に発表していただきました。
http://www.beanspj.org/kyoten/macro/・低損傷エッチングプロセス 東北大 寒川誠二
・超臨界プロセス 東京大 杉山正和
・有機材料ナノプロセス 九州大 八尋正幸
・バイオナノ界面プロセス 東北大 梅津光央
・大面積MEMSプロセス BEANS 武田宗久
参加者には、研究内容が半導体、MEMS, ナノ、バイオとの異分野融合(BEANS)領域の目新しさもあってか、どのテーマも最後まで熱心に聴講していました。また会場からは専門的な質問や有益な意見が多く寄せられて、その点では当初の狙いどおりBEANS一般初公開セミナーとして大成功であったと評価しています。
最後に、藤田BEANSサブプロジェクトリーダー（東京大学生産技術研究所 副所長）が産学連携の視点からBEANSへの熱い期待を述べて閉会となりました。
６ BEANSプロジェクト・ホームページの改訂
６月８日付でBEANSプロジェクトＨＰを改訂し、リリースしました。 http://www.beanspj.org/
今回の改訂のポイントは次の通りです。
１）全体としてBEANSプロジェクトの活動状況や内容について、一般の方に理解していただけるように、サクサクとした動き、簡潔かつ分かり易い表現を心がけています。
２）本プロジェクトにおいては、BEANS研究所本部以外に５つの研究拠点があって、それぞれ連携をとりながらも、競って研究開発を実施しています。そこで改訂版HPにおいては、各研究拠点のページを強調してプレイアップしました。すなわち各拠点のページごとに、センター紹介、研究テーマ、コンタクト先に加えて、メンバー紹介、アクセス、研究成果へのリンクがあります。
なお、研究員専用ページへのアクセスは IDとパスワードが必要です。
３）さらにBEANSプロジェクトでは、今回の改訂版HPサイト以外にも、以下のようないくつかのブログなどを持っています。それぞれ役割を分担して、BEANSプロジェクトからの情報発信を行っていきます。 大いに訪問していただきますようお願いいたします。
７ 平成21年度第1回運営委員会・通常理事会・評議員会の開催
平成21年第1回運営委員会を、6月10日(水)に財団法人マイクロマシンセンターテクノサロンで開催しました。また、同月12日(金)には平成21年度第1回通常理事会を財団法人マイクロマシンセンターテクノサロンで、また、15日（月）には第1回評議員会を財団法人マイクロマシンセンター会議室で開催しました。これらの運営に関する会議では、以下の議題が審議され、各々について承認又は報告がなされました。
これらの内容は、広報誌第６８号に掲載し、また、ホームページにも掲載いたしますのでご覧下さい。
議題は以下の通りです。
１ 平成２０年度事業報告について
２ 平成２０年度収支決算について
３ 平成２０年度収支差額の処分について
４ 理事の一部変更について
５ 賛助会員の入会について
６ 一般財団法人化の手続きについて
７ その他
① BEANS知識データ作成業務への一般競争入札の参加について
② 各事業のパンフレット紹介
１ 第18回マイクロナノ先端技術交流会の開催（2009年6月24日）
（財）マイクロマシンセンターでは、MEMS協議会の産学連携事業の一環として、賛助会員企業の専門家を対象に、マイクロナノ技術に関する各産業分野における先端技術への認識と理解を深め、マイクロナノ技術の普及啓発と産学の技術交流を図ることを目的として、「マイクロナノ先端技術交流会」を実施しています。
第１８回のマイクロナノ先端技術交流会は、東京工業大学 黒澤実准教授、東京大学 須賀唯知教授をお招きし、下記のとおり開催します。
開催日時： 平成２１年６月２４日（火） 13：25～17:00～19:00
開催場所：（財）マイクロマシンセンター テクノサロン
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸７１－３ 柴田ビル ３階
プログラム：
13：25～13：30 主催者挨拶
（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
13：30～15：10
講演題目 「弾性表面波リニアモータ」
講 師 東京工業大学 大学院総合理工学研究科物理情報システム専攻
黒澤 実 准教授
講演内容 古くからのMEMSデバイスである弾性表面波素子を用いたリニアモータについて、その研究の取り掛かりから、現在に至るまでを紹介するとともに、今後の展開を述べる。
15：10～15：20 ----- 休憩 -----
15：20～17：00
講演題目 「低温ウエハ接合」
講 師 東京大学 大学院工学系研究科 精密機械工学専攻
須賀唯知 教授
講演内容 プラズマやイオン照射を用いたウエハの低温接合とその3D実装・MEMSパッケージへの適用の可能性を紹介する。特に、真空中や大気中での接合、ナノ接合層を用いた接合、それらの
接合メカニズム等について述べる。
17：00～17：10 ----- 休憩 -----
17：10～19：00 技術相談及び交流会
（会場：マイクロマシンセンター本部 小会議室
東京都千代田区神田佐久間河岸６６ MBR99ビル6階）
開催案内については、MEMS協議会ホームページやマイクロナノExpressにてご案内しますので、皆様のご参加をお願いいたします。
２ マイクロナノ2009の開催案内（2009年7月29日～31日）
マイクロナノ／MEMS分野の最新技術・製品が効果的に一望できる総合イベント「マイクロナノ２００９」平成２１年7月29日（水）～７月31日（金）の３日間、東京ビッグサイトで開催することで準備を進めています。
今年は、世界最大規模のMEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会「マイクロマシン／MEMS展」が第20回目を迎える節目にあたり、展示会ではマイクロナノ／MEMS分野の産業展開をよりビジュアルに表した特別展示や、展示会場内に設けた特設会場においては、マイクロナノ／MEMS分野の国内外先端技術動向や海外の産業化動向の他、「マイクロマシン／MEMS展」の20周年を記念した特別プログラムなど、多彩なプログラムを計画しています。
◆『第20回マイクロマシン／MEMS展』
（MEMS、ナノテク、超精密・微細加工、バイオに関する国際展示会）
会期：7月29日（水）～7月31日（金）の3日間
会場：東京ビッグサイト 東５ホール
【ご出展お申込み・お問い合わせ先】
マイクロマシン／MEMS展事務局
メサゴ・メッセフランクフルト株式会社
〒102-0073
東京都千代田区九段北２－３－７ 前川九段ビル３F
Tel. 03-3262-8453 Fax. 03-3262-8442
E-mail. info@micromachine.jp
Website. www.micromachine.jp
◆同時開催シンポジウム・カンファレンス：
会場はいずれも『第20回マイクロマシン／MEMS展』展示会場内特設会場を予定。
①第15回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム～MEMS World～
（主催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会）
国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムは、最先端技術及びその動向について内外の学識経験者と情報を交換し、我が国のマイクロマシン/ＭＥＭＳ技術の更なる発展に寄与することを目的とし、1995年以来、当マイクロマシンセンターを主催者として開催して参りました。
昨年は、LSIとの集積化（第2世代MEMS）やナノ・バイオとの異分野融合（第3世代MEMS）の動きに注目し、さらにウエハーサイズの大口径化などにも着目しました。
本年は、これらの大きな動きの中で、「集積化・融合化の進むMEMS／ナノデバイス 産業化のブレークスルー」 ～研究開発拠点の集約化とMEMSアプリケーション～をテーマとして講演を集め、議論の場を提供します。
第2世代や第3世代MEMSに向かう方向性の中で、何がMEMS／ナノデバイスの産業化促進にとってキーとなるかを問題意識として、国際的に進む研究開発の拠点集約化に関する動き、産業化にとって最も重要なアプリケーションの動向、さらにその実現のための製造・材料技術について内外からの発表を頂きます。
なお今回は、展示会場内に設けた特設会場で開催することで、講演と出展企業・研究機関とのリンクを強める試みも行います。
プログラム→../../kokusai/sympo/15sympo/15program-j.pdf
②MEMS協議会フォーラム （主催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会）
MEMS協議会の諸活動の情報発信・意見交換の場として、MEMS産業発展のための産業基盤の構築、産学 連携によるMEMS技術基盤構築・展開の観点から、MEMS協議会及びアフィリエートメンバー（地域クラスター 、公設試、アカデミア）の活動状況を紹介し、MEMS関連産業の拡大・発展のための課題の共通認識を深める ことを目的として開催します。
今年のMEMS協議会フォーラムのセッション構成は、MEMS協議会活動から、(1)調査研究会での調査報告（技術・産業動向調査）、国際標準化活動についてご紹介、(2)MEMS開発のためのインフラ整備活動としてのMEMSファンドリーネットワーク、MemsONE、 MEMSPediaのご紹介、(3)MEMS産業拡大の原動力となる人材育成の取り組み、及びMEMS協議会のアフィリエートである地域クラスター、公設試から、地域のMEMS産業基盤強化についての取り組み状況についてご紹介いたします。
プログラム→http://www.micromachine.jp/pdf/09MIFForum.pdf
③産学連携ワークショップ
（主催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会）
MEMS協議会の産学連携活動の一環として、MEMS協議会のアカデミア・公設試アフィリエートから、第20回 マイクロマシン／MEMS展での展示内容と併せて、マイクロマシン・MEMSの最新の研究内容をご紹介いたしま す。
・東北大学大学院 江刺・小野・田中研究室 ・九州工業大学 安田研究室
・名古屋大学大学院 生田研究室 ・立命館大学ナノマシンシステム技術研究センター
・神奈川県産業技術センター ・MEMSパークコンソーシアム
・SRIインターナショナル先端自動制御技術センター
④MEMS実装・パッケージングフォーラム
（主催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会 共催：溶接学会マイクロ接合委員会）
「マイクロナノ２００９」の同時開催イベントの新しい切り口として、MEMS技術の中でも現在注目を浴びている「実装・パッケージング」に特化したセミナーを行ないます。
プログラム→http://www.micromachine.jp/pdf/09MEMSPackagingForum.pdf
⑤BEANSプロジェクトセミナー
（主催：NEDO技術開発機構 共催：技術研究組合BEANS研究所）
平成20年度から5年間の計画でスタートしました「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト（ BEANSプロジェクト）」の概要と、BEANSプロジェクトが目指す革新的次世代デバイス創出に必要な基盤的プ ロセス技術の展望についてご紹介いたします。
プログラム→http://www.micromachine.jp/pdf/09BEANSProjectSeminar.pdf
⑥日独マイクロナノ・ビジネスフォーラム
（主催：IVAMマイクロテクノロジーネットワーク 共催：マイクロマシンセンター／MEMS協議会）
ドイツNRW（ノルトライン・ヴェストファーレン）州に拠点を置く「IVAMマイクロテクノロジーネットワーク」の主催により、ヨーロッパを中心としたiVAM会員企業の技術・製品をご紹介するとともに、IVAM会員企業と日本の企 業とのビジネスマッチングの機会を提供いたします。
⑦ファインMEMSプロジェクト成果発表会 （主催：NEDO技術開発機構）
平成20年度に終了した「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト（ファインMEMSプロジェクト）」（平成18年度～平成20年度）の全研究開発成果として、4つの開発カテゴリー（MEMS／ナノ機能の複合、MEMS／半 導体の一体形成、MEMS／MEMSの高集積化、知識データベースの整備）と、ファインMEMSシステム化設計プラットフォームの開発の成果をご紹介いたします。
３ 第13回MEMS講習会の開催（2009年8月28日）
（財）マイクロマシンセンターでは、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために、MEMS講習会を開催しています。今回は第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ・MEMS技術」を下記のとおり開催いたします。
今回は、私たちの身近にいて社会生活を豊かにしてくれるサービス用ロボットとその実現に必須のセンサ・MEMS技術をテーマとして、ニーズ・シーズ情報をご紹介する講演を企画しています。プログラム内容はまだ調整中ですが、決定次第ご連絡いたします。皆様の積極的なご参加をお願い致します。
第13回MEMS講習会「ロボットを身近にするセンサ･MEMS技術」
開催日時：2009年8月28日（金）13:00～17:50～19:00
開催場所：アルカディア市ヶ谷（東京・私学会館）
〒102-0073 東京都千代田区九段北4丁目2番25号
TEL：03-3261-9921（代表）
地図URL http://www.arcadia-jp.org/
参 加 費：一般 10,000円／MEMS協議会メンバー 8,000円
問合せ先：〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル 6階
財団法人マイクロマシンセンター 普及促進部（原田）
TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873
プログラム：
13:00～13:10 主催者挨拶（マイクロマシンセンター：青柳専務理事）
13:10～13:55 MEMSの集積･融合の進展と新産業創出への期待（仮題）
（立命館大学 ナノマシンシステム技術研究センター長：
杉山 進 教授）
13:55～14:40 ロボットに必要なMEMS技術（仮題）
（東京大学 情報理工学系研究科長：下山 勲 教授）
14:40～15:20 （調整中）
15:20～15:50 ＜休憩及び技術相談会＞
15:50～17:50 （調整中）
17:30～18:00 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
（ファンドリーサービス産業委員会委員長：佐藤文彦）
18:00～19:00 懇談会
４ MEMSアフィリエート関係のイベント
●（財）北九州産業学術推進機構〔通称：FAIS〕産学連携センター
第８１回産学交流サロン（ひびきのサロン）
「北九州薄膜太陽電池研究会セミナー ～太陽電池産業への新規参入に向けて～」
「太陽電池産業への新規参入に向けて」というテーマにて、最新の産業動向、製造装置メーカとして
の取り組み、太陽電池性能評価といった観点から、下記講演を行います。
期 日：平成２１年７月９日（木）１４：３０～１９：００
主 催：財団法人北九州産業学術推進機構
会 場：北九州学術研究都市
参加費：無料（交流会は1,000円必要 ただし「ひびきの会」会員は無料）
内 容：
○講 演（14：30～17:30）
【研究発表】
「太陽電池産業の最新動向と政策動向」
株式会社資源総合システム 代表取締役社長 一木 修 氏
「太陽電池ビジネスへの取り組みと現状の生産体制ご紹介」
株式会社アルバック ＦＰＤ・ＰＶ営業統括部 統括部長 萩之内 剛 氏
「太陽電池の性能評価と新型太陽電池評価の課題」
独立行政法人産業技術総合研究所 評価システムチーム長 菱川 善博 氏
○交流会＆フリーディスカッション（17:30～19:00）
※内容詳細はこちらまで
http://www.kq-ec.net/iac/salon/index.html?eid=00039
【お問い合わせ】
（財）北九州産業学術推進機構 産学連携センター
TEL：093-695-3006 FAX：093-695-3018
●MEMSパークコンソーシアム
１．第11回 「MEMSPCカフェ」
日 時：平成２１年７月１０日（金） １６時００分～ １９時００分
会 場：フレンチレストランLe ciel -ル・シエル- （仙台市宮城野区）
内 容：
第１部 情報提供・意見交換・情報交換 （１６時１０分～１７時４０分）
Ⅰ 地方独立行政法人 青森県産業技術センター
スピーカー ： 八戸地域研究所 主任研究員 飯田 敬子 氏
テーマ ： 円筒表面への微細配線形成技術
Ⅱ 秋田県産業技術総合研究センター
スピーカー ： 高度技術研究所 主席研究員 山川 清志 氏
テーマ ： 磁気記録デバイスの開発を通じた微細加工技術の構築
Ⅲ 地方独立行政法人 岩手県工業技術センター
スピーカー ： 電子情報技術部 主任専門研究員 遠藤 治之 氏
テーマ ： ZnOデバイス開発と微細加工への取り組み
第２部 交流会 （１７時４０分～１９時００分）
お申し込みは、下記リンクからお願いいたします。
http://www.memspc.jp/pccafe/pccafe11.html
２．MEMS集中講義 in 名古屋及び 第13回MEMSPCカフェ in 名古屋
名古屋地区において、MEMS集中講座・第13回MEMSPCカフェを開催します。MEMS集中講座は、MEMS技術の基礎的知識から各種分野のアプリケーションへの応用展開まで、様々な角度からMEMS技術を収集できる内容です。
また、8月5日（水）講義終了後、MEMSパークコンソーシアム会員企業の紹介及び集中講座参加者の相互交流・連携構築を進めることを目的として、第13回MEMSPCカフェin 名古屋（交流会付き）を併催いたします。
日 時：平成21年8月4日（火）～6日（木）
9時30分（初日10時）～18時
※MEMSPCカフェ：8月5日（水）18時～20時
内 容：プログラムは、下記URLからご参照願います。
http://www.memspc.jp/openseminar/opense26.html
場 所： 豊田中央研究所 福利厚生センター 「アクタス」Ａホール
http://www.tytlabs.co.jp/japanese/comp/access.html
参加費： MEMSPCカフェは、会員は一口につき1名無料、
非会員は一人3,000円。
申込み方法：
お申し込みは、下記リンクから所定の申込用紙をダウンロードいただき、7月24日（金）まで、下記申込 先のメール又はファクシミリでお願いいたします。
http://www.memspc.jp/openseminar/opense26.html
<お問合わせ先>
MEMSパークコンソーシアム事務局
〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-01
東北大学大学院工学研究科付属 マイクロ・ナノマシニング研究教育センター内
TEL：022-795-4263 FAX：022-795-6259
E-mail：memspc@mems.mech.tohoku.ac.jp
１ 経済政策動向
■月例経済報告（５月２５日）
５月の月例経済報告では景気の基調判断について、「景気は、厳しい状況にあるものの、
このところ悪化のテンポが緩やかになっている。先行きについては、当面、雇用情勢が悪化するなかで、厳しい状況が続くとみられるものの、対外経済環境における改善の動きや在庫調整圧力の低下、経済対策の効果が景気を下支えすることが期待される。一方、生産活動が極めて低い水準にあることなどから、雇用情勢の一層の悪化が懸念される。加えて、世界的な金融危機の影響や世界景気の下振れ懸念など、景気をさらに下押しするリスクが
存在することに留意する必要がある。」としています。
政府は、当面は「景気対策」、中期的には「財政再建」、中長期的には「改革による経済成長」という３段階で、経済財政政策を進める。当面、景気対策を最優先で進めるため、総額75兆円程度の経済対策を着実に実施する。加えて、「経済危機対策」を実施するため、平成21年度第１次補正予算及び関連法案の早期成立に努める。これらの対策により、景気を下支えする効果が期待される。日本銀行が、内外の厳しい経済金融情勢の下、政府とマクロ経済運営に関する基本的視点を共有し、適切かつ機動的な金融政策により経済を下支えすることを期待するとしています。
詳しくは以下の資料をご参照ください。
○ 月例経済報告関係資料
http://www5.cao.go.jp/keizai3/2009/0525getsurei/main.pdf
■経済産業省の主な経済指標（鉱工業指数調査 ２００９年４月分確報 2009年6月12日）
経済産業省は、商鉱工業及びサービス業など幅広い分野にわたって統計調査を実施しており、それらの調査・分析結果について取りまとめた統計をホームページ上に公表しています。これは鉱工業製品を生産する国内の事業所における生産、出荷、在庫に係る諸活動、製造工業の設備の稼働状況、各種設備の生産能力の動向、生産の先行き2ヶ月の予測の把握を行うものです。概要は以下の通りです。
4月の生産指数の確報値は、前月比5.9%の上昇となり、指数水準は74.8(季節調整済)となりました。生産の上昇に寄与した業種は、化学工業、電子部品・デバイス工業、輸送機械工業等です。
また、出荷指数の確報値は、前月比3.0%の上昇となり、指数水準は75.3(季節調整済)となった。出荷の上昇に寄与した業種は、電子部品・デバイス工業、化学工業、輸送機械工業等でした。
在庫指数の確報値は、前月比▲2.7 %の低下となり、指数水準は97.1(季節調整済)となった。在庫の低下に寄与した業種は、電子部品・デバイス工業、一般機械工業、輸送機械工業等でした。在庫率指数の確報値は、前月比▲4.7%の低下です。
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-1.html
鉱工業指数
http://www.meti.go.jp/statistics/tyo/iip/result-2.html
２ 産業技術政策動向
■総合科学会議の動向
第８１回総合科学技術会議の開催
総合科学技術会議は、６月１２日に第８１回の総合科学技術会議を開催しました。
今回の議題は、科学技術政策推進のための知的財産戦略（2009年）です。資料はこちら
をご覧ください。
http://www8.cao.go.jp/cstp/siryo/haihu81/siryo1.pdf
■平成２１年度産業技術関連予算の概要
経済産業省の産業技術予算のうち、「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発」については、ＮＥＤＯ運営交付金４７２億円の内数として認められています。
http://www.meti.go.jp/press/20081224001/20081224001-5.pdf
■イノベーション創出を取り巻く関連政策動向
「今月号はお休みします。」
■NEDO産業技術政策関連
○ＮＥＤＯ海外レポート（最新号のご紹介）
・ 1045号 - 平成21年6月3日 ナノテクノロジー特集
・ 1044号 - 平成21年5月20日 再生可能エネルギー特集(2)
・ 1043号 - 平成21年4月22日 再生可能エネルギー特集(1)
上記の内、平成21年6月3日 ナノテクノロジー特集の該当部分は以下の通りです。
I. テーマ特集：ナノテクノロジー特集
・ 1 欧州地域におけるナノテクノロジーに関する動向
・ 2 中国・韓国・台湾におけるナノテクノロジーに関する動向
・ 3 インド・東南アジアにおけるナノテクノロジーに関する動向
・ 4 グラフェンに関する最近の研究事例（ドイツ）
・ 5 英国におけるナノテク研究トピックス
・ 6 米国（西海岸）におけるナノテク関連情報
・ 7 バクテリア・モーターの可能性（イタリア）
・ 8 10テラビット高密度メモリーのための自己集合化 (米国)
・ 9 水分解技術を促進するナノ構造半導体(米国)
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