MicroNano Monthly

［No.2019-04］ 2019年4月25日発行

ニ ュ ー ス 目 次　　

研究開発プロジェクトの終了報告
・道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発（RIMS）
・センサ端末同期用原子時計の研究開発」(ULPAC)
・ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発（UcoMS）
平成31年度マイクロマシンセンター事業計画について
技術研究組合NMEMS技術研究機構 平成31年度事業計画について
第25回マイクロマシンサミット2019のご案内 (2019年5月6日-10日)
MEMS Engineer Forum 2019のご案内 (2019年4月24日-25日)
Smart Sensing 2019のご案内 (2019年6月5日-7日)
先端技術開発プロジェクト(LbSS)の活動から) 
   
MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2020のご案内(2020年1月29-31日)
講習会・セミナーのご案内
MEMS協議会海外アフリエート開催のイベント
主要なMEMS関連国際会議 
　 　
経済・政策動向のトピックス
　 　
　　
ニ ュ ー ス 本 文

研究開発プロジェクトの終了報告

　MMC/NMEMS組合が受託した研究開発プロジェクトのうち、2018年度に終了した5つのプロジェクトにつきまして、今月、来月の2回に分け完了の報告を致します。
　今月は、次の3プロジェクトについてご報告いたします。
　　　・道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発（RIMS）
　　　・センサ端末同期用原子時計の研究開発」(ULPAC)
　　　・ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発（UcoMS）

-1　道路インフラ状態モニタリング用センサシステムの研究開発
　　　　（RIMS）プロジェクトが終了

　道路インフラは陸上貨物輸送量の90％以上を占め，国民の豊かな生活を支える重要な社会インフラですが，高度成長期以降に整備され，今後 20 年で建設後 50 年以上経過するインフラが増加して老朽化が進展します。また，過積載車等の過酷な使用状況による損傷の増加や異常気象等による大規模災害の増加等の建設当初には予想していなかった環境変化が道路インフラの老朽化をより進展させています。さらに，2012 年の笹子トンネル事故や2011年の東日本大震災のような災害により，道路インフラが分断されることによって国民の生活が大きく脅かされることが再認識され，道路インフラのモニタリングシステム導入による予防保全やインフラの長寿命化が重要な社会課題となっています。また，長大橋や発電所等の大規模インフラも高度経済成長期などに整備されたものが多く，老朽化への対応が大きな社会課題となっています。
　
　技術研究組合NMEMS技術研究機構（NMEMS）ではこのような社会要請をうけ，2014年度から高速道路の橋梁，道路付帯物，法面を対象にして，環境エネルギーを利用した自立電源を有し，各フィールドのモニタリングに適した新規の小型，安価，高性能，高耐久性の無線センサ端末並びに各フィールドのセンシングシステムを統合して道路インフラのトータルな維持管理が可能な道路インフラモニタリングシステム（RIMS）を開発し、実際の高速道路での実証を進めて参りました。
また、2017 年度からは これらモニタリング技術の長大橋や発電所等の大規模インフラへの展開も検討して参りました。
　
　本技術開発プロジェクトは、NMEMSが実施主体となり、新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）から業務委託を受け研究開発を実施して参りましたが、このたび3月8日をもってプロジェクトが終了となりました。
　
　長年に亘る皆さま方のご支援・ご協力に対しまして厚く感謝申し上げます。
今後は、本プロジェクトの成果の実用化フェーズに移行します。引き続きよろしくお願いいたします。　
　
　本プロジェクトを含むNEDOの「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」のセンサシステム技術・イメージング技術・非破壊検査装置技術の最終成果報告はNEDOインフラモニタリング技術シンポジウム(平成31年2月1日)として機械振興会館で開催され、セミナー形式の発表会(RIMSは報告1~報告6)とパネル展示が行われ、200名近くのご参加がありました。
　　　　https://www.nedo.go.jp/content/100887189.pdf
　
　当日のプレゼン資料並びに関連技術資料に関しては、下記URLをご参照下さい。
　　　　http://rims.la.coocan.jp/papers/index-last201901.html
　

-2　センサ端末同期用原子時計の研究開発（ULPAC）プロジェクトが終了

　RIMSをはじめとする無線センサネットワークを用いたモニタリングシステムでは、複数の端末から取得したデータを統合的に分析することで課題を見える化し、その解決を試みております。この統合的な分析では、データが取得された場所と時間が重要になりますため、定期的な時刻同期によりネットワーク内の全端末の時計を合わせております。しかし、その同期精度が天候などの通信環境に依存しますため、それらを補償する仕組みの構築が必要になるなど、ノウハウと労力が求められております。
　
　本研究は、時刻同期を不要とすることで誰もが無線センサネットワークを構築できることを目指しまして、2015年度よりRIMSの中の先導研究という位置づけで始まり、センサ端末に実装可能なサイズや消費電力の原子時計が実現可能かを探求して参りました。開発しました原子時計プロトタイプは、移動体通信基地局などで使われている小型原子時計と同等以上の時刻精度を二桁小さな消費電力で実現し、屋外での連続稼働実験などで、その性能を実証して参りました。本プロジェクトは終了しましたが、センサ端末に搭載するには、さらなる小型・低消費電力化が必要ですので、その実現を目指して新しいプロジェクトとして挑戦していく所存です。
　
　今後ともご指導ご鞭撻のほど、よろしくお願いいたします。
　

-3　ライフラインコアモニタリングシステムの研究開発（UcoMS）
　　　　プロジェクトが終了

　都市インフラ（ライフライン）で特に公共性の高い病院、地域エネルギー供給システムの中核（コア）となるポンプ、発電機、タービン等の回転機器は、経験に基づく非定常な目視・聴音点検が主体であることから、劣化の兆候を検知することが難しい状況です。また、故障の有無に関係なく一定の時間間隔でメンテナンス・部品交換を実施する「時間基準保全」のため、保全コストの低減が課題となっております。
　
　そこで、本プロジェクトでは、振動発電によるセンシング方式と低消費電力（10年間電池交換不要な）マルチホップ無線通信により、従来のシステムに比べ導入コストを格段に低く抑え、かつ監視ポイントの増減などの現場状況の変化への柔軟な対応を可能とする振動のモニタリングシステム及び異常振動固有の周波数情報だけを収集するP型（ペットボトルキヤップサイズ）端末の開発を行い、地域エネルギー供給施設、病院施設、製造施設、水力発電施設、水資源再生センターのご協力を得て、モニタリングシステムによる異常検知の検証と長期安定性・耐久性について実証を進めて参りました。プロジェクトは3月8日で終了いたしましたが、開発したシステム、端末につきましては、担当した企業により実用化・製品化の検討が進められております。
　
　プロジェクトの実施にあたり、ヒアリングで貴重なご意見・ご指導を頂きましたエネルギー供給施設管理会社様、発電事業者様、さらに実証現場を提供して頂いた関係諸機関の皆様に深く感謝申し上げます。
　
　尚、本プロジェクトの概要、成果発表資料は下記のプロジェクトHPからご覧に頂けますので、ご参照いただければと思います。
　　　　http://ucoms.la.coocan.jp/
　
　　また、NEDO「インフラ維持管理・更新等の社会課題対応システム開発プロジェクト」のHP（下記アドレス）では、技術資料、プロジェクト紹介動画等をご覧いただくことができますので、そちらもご参照いただければと思います。
　　　　https://www.nedo.go.jp/activities/ZZJP_100081.html

平成31年度マイクロマシンセンター事業計画について

　平成31年度事業において一般財団法人マイクロマシンセンターは、政府が推進するコネクテッド・インダストリーズによるSociety5.0の実現に不可欠なマイクロマシン／MEMS分野及びスマートセンシング分野（以下、「マイクロマシン／MEMS分野等」という。）の一層の発展を支援するため、非営利セクターとしての利点を生かしながら、以下のとおり、基盤技術の研究開発、事業環境整備及び普及促進のための取組みを一層強化していきます。
　
　この続きについては、以下のページを参照してください。
　　　　http://beanspj.cocolog-nifty.com/mems/2019/04/post-969a93.html

技術研究組合NMEMS技術研究機構　平成31年度事業計画について

　技術研究組合NMEMS技術研究機構の平成31年度事業計画の概要は以下のとおり。
　・平成31年度は、学習型スマートセンシングシステム（LbSS）の研究開発を実施する。

第25回マイクロマシンサミット2019のご案内 (2019年5月6日-10日)

　マイクロマシンサミットは、日本がイニシアティブを取り 1995年に第1回 を京都で開催して以来、開催希望国の持ち回りで毎年開催されています。マイクロマシン／MEMSに関する教育、技術動向、政策やトピックス等について現状や将来展望を自由に議論し、世界のマイクロマシン／MEMS分野の進展に寄与することを目的としています。当センターはマイクロマシンサミットの常設の事務局として記録の保存、開催の準備等について支援しています。
　
　今回第25回は、中国西安で2019年5月6日(月)-10日(金)に開催されます。この機会に皆様方にもデリゲート(有料)としてご参加頂き、各国のマイクロマシン/MEMSやナノテクに関する最新情報を入手し、各国の方々との交流を深めることにより、今後のビジネスや研究に役立てて頂ければと思います。
　
　詳細のご案内は、以下のホームページを参照して下さい。
　　　　http://www.mms2019.com/

MEMS Engineer Forum 2019のご案内 (2019年4月24日-25日)

　MEMS Engineer Forum(MEF)は、21世紀のキーテクノロジーとされるMEMS技術の現状と、向こう10年までの技術の将来に迫る、この分野のキープレイヤーの中でもエンジニアを中心に運営されるユニークな場です。世界中のMEMS研究者、開発者、技術者が一堂に集うこのフォーラムは、2009年3月の初開催以降、回を重ねて参りました。 前回、第10回MEMS Engineer Forumは、2018年4月25日（水）～26日（木）、東京　両国のKFCホールで開催され、2日間で延べ750名を超えるMEMSのEngineerが世界から集まり、技術やビジネスの未来を語りました。
　
　MEFは、MEMSに関する基礎技術ならびに隣接分野の技術において、エンジニアならではの視点と技量で、新しいカタチを形成し、そして融合させて参ります。さらに融合の過程や完成に向かう姿を国際的なレベルで検証することをミッションとしております。
　
　開催のご案内は、以下のホームページを参照下さい。
　　　　https://www.m-e-f.info/

Smart Sensing 2019のご案内 (2019年6月5日-7日)

　 Smart Sensing 2019はセンシング技術とIoT社会実現のリアルデータプラットフォーム創出のための展示会で、2019年6月5日（水）-7日（金）に東京ビッグサイト西ホールで開催されます。
　
　主催は一般社団法人日本電子回路工業会、一般社団法人エレクトロニクス実装学会、一般社団法人日本ロボット工業会です。同時に第49回国際電子回路産業展（JPCA Show）、第33回最先端実装技術・パッケージング展(マイクロエレクトロニクスショー)、第21回実装プロセステクノロジー展（JISSO PROTEC）、IoT対応半導体・回路基板展（有機デバイス総合展）、電気・光伝送技術展（WIRE Japan Show）、JEP/TEP(全国電子部品流通連合会/東京都電機卸商業協同組合) Showが併催され、昨年度は3日間で50,827名の来場者がありました。
　
　マイクロマシンセンターでは、MNOIC関係、MEMSセンシング＆ネットW-九システム展2020等のパネル展示を行いますので、是非お立ち寄りください。
　
　開催のご案内は、以下のホームページを参照下さい。
　　　　　https://www.smartsensingexpo.com/outline.html

先端技術開発プロジェクト(LbSS)の活動から

　生産効率の向上、しいては経営効率向上のために、工場等の設備の稼働状況や生産品質を把握する IoT システムの重要性が高まっております。このような IoT システムの普及を目指して、本事業では、システムエンジニアや熟練技術者が現場に入ってセンサ端末、データ収集システムの構築を行くことなく、ユーザの現場技術者だけでこれらを実施でき、エッジ（センサ端末＋コンセントレータ）だけで有価情報の自動抽出可能な学習型スマートセンシングシステムの開発を進めております。
　
　2016～2018年のNEDO委託事業で、システム・端末ハードウエア、ソフトウエア（学習/分析機能）の試作を完了し、2019年度より工場現場での実証実験に入ります。今年度からプロジェクトに（株）東光高岳が加わり、ユーザの立場でシステム評価を行っていただきます。
　これらのプロジェクト成果につきましては、2020年1月開催のMEMSセンシング＆ネットワークシステム展2020（下記アドレス）において、デモ展示・成果発表会を実施する予定です。
　　　　　https://www.optojapan.jp/mems/ja/
　　　　　

MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2020 のご案内

　「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展2020」は、会場、会期を一新し、nanotech2020を始めとするMEMSや各種センシングシステムと関連深い15展示会との同時開催展として、以下の要領で開催いたします。
　
会期：2020年1月29日-31日
場所：東京ビッグサイト 西2ホール/会議棟
詳細はwebを参照ください：
　　　　　https://www.optojapan.jp/mems/ja/
　
■出展申込受付中■
出展案内：（pdf）https://www.optojapan.jp/pdf/MEMS2019_EP_ja.pdf
出展申込書：https://application.jcdbizmatch.jp/jp/nanotech2020/MEMS

講習会・セミナーのご案内

◆ MEMSパークコンソーシアム　からのお知らせ
　基礎講座：
　東北大学のインターネットスクール（ISTU）を活用し、e-learningによりMEMS開発に必要な企画、設計、試作、評価にかかる基礎知識を習得することができる講座です。
　受講料：無料　申込:随時
　MEMS集中講義：　
　MEMS技術の基礎的知識から各種分野のアプリケーションの応用展開まで、様々な角度からMEMS技術を収集できます。
　試作実習：
　受講生に課題（試作を希望するMEMSデバイス）を持ち込んでいただき、4インチのプロセスラインを利用してマンツーマンに近い指導で装置の原理・使い方・プロセスのノウハウを学習し、「設計→試作→評価→発表」に取り組むことにより、MEMS開発者として必要な技術を体系的に習得していただきます。

問い合わせはMEMSパークコンソーシアム事務局までお願いします。
　　　　http://www.memspc.jp/person/kiso.html

　MEMS協議会海外アフィリエート関係のイベント

◆ 米国MEMS & Sensors Industry Group関連イベント ◆

ISS Europe 2019
　　http://www1.semi.org/eu/iss-europe
　　Mar. 31- Apr.2, 2019 @Milan, Italy

SEMICON Southeast Asia 2019
　　http://www.semiconsea.org/
　　May. 07-09, 2019 @Kuala Lumpur, Malaysia

MEMS & Sensors Executive Congress - MSEC 2019
　　https://www.orbotech.com/news-events/events/MSEC%202019
　　Oct. 22-24, 2019 @San Diego, CA, USA

SEMICON West 2019
　　http://www.semiconwest.org/
　　Jul. 09-11, 2019 @SanFrancisco, CA, USA

SEMICON Europa 2019
　　http://semiconeuropa.org/
　　Nov. 12-15, 2019 @Munich, Germany

SEMICON Japan 2019
　　http://www.semiconjapan.org/jp/
　　Dec. 11-13, 2019 @Tokyo, Japan

◆ Fraunhofer ENAS関連イベント ◆

Chemnitzer Seminar »MEMS Technologies and Applications
　　https://www.enas.fraunhofer.de/en/news_events/
　　May 21-22, 2019 @Chemnitzer, Germany

◆ LETI関連イベント ◆

LETI INNOVATION DAYS
　　http://www.leti-innovation-days.com/
　　June 24-28, 2019 @Grenoble, France

　主要なMEMS関連国際会議

MEF 2019
　　“MEMS Engineer Forum 2019”
　　日程：2019年4月24日-25日
　　場所：両国, 東京, 日本
　　　https://www.m-e-f.info/

ISMM2019
　　“11th International Symposium on Microchemistry and
　　Microsystems”
　　日程：2019年5月17日-20日
　　場所：Shaanxi, China
　　http://ismm2019.nwsuaf.com/

WCF2019
　　“World Chemistry Forum 2019”
　　日程：2019年5月22日-24日
　　場所：Barcelona, Spain
　　http://www.istci.org/wcf2019/

ICST 2019
　　“International Conference on Sensing Technology 2019”
　　日程：2019年6月4日-5日
　　場所：New York, USA
　　　https://waset.org/conference/2019/06/new-york/ICST

Transducers 2019
　　“The 20th International Conference on Solid-State Sensors,
　　 Actuators and Microsystems”
　　日程：2019年6月23日-27日
　　場所：Berlin, Germany
　　https://www.transducers-eurosensors2019.org/

令和元年度　電気学会E部門総合研究会
　　日程：2019年7月1日-2日
　　場所：神奈川, 日本
　　http://www.iee.jp/?post_type=custom_event&p=19690

JCK MEMS/NEMS 2019
　　“The 10th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS”
　　日程：2019年7月16日-18日
　　場所：旭川、日本
　　https://unit.aist.go.jp/umemsme/JCK2019/JCK2019_welcome.html

IEEE-NANO 2019
　　“The 19th IEEE Conference on Nanotechnology”
　　日程：2019年7月22日-26日
　　場所：Macau SAR, China
　　https://2019.ieeenano.org/

Biosensors 2019
　　“2nd World Congress on Biosensors and Bioelectronics”
　　日程：2019年8月21日-22日
　　場所：Miami, USA
　　https://www.meetingsint.com/conferences/biosensor-bioelectronics

MNE 2019
　　“The 45th International Conference on Micro & Nano Engineering”
　　日程：2019年9月23日-26日
　　場所：Rhodes, Greece
　　http://mne2019.org/

Nano S&T-2019
　　“The 9th Annual World Congress of Nano Science &
　　Technology-2019”
　　日程：2019年10月20日-22日
　　場所：Suzhou, China
　　http://www.bitcongress.com/nano2019/

IEEE-Sensors 2019
　　“IEEE-Sensors 2019”
　　日程：2019年10月27日-30日
　　場所：Montreal, Canada
　　https://ieee-sensors2019.org/

µTAS 2019
　　“The 23rd International Conference on Miniaturized
　　Systems for Chemistry and Life Sciences”
　　日程：2019年10月27日-31日
　　場所：Basel, Switzerland
　　 https://microtas2019.org/sponsors/MicroTAS2019_ExhibitorBrochure.pdf

MNC 2019
　　“The 32nd International Microprocesses and
　　Nanotechnology Conference”
　　日程：2019年10月28日-31日
　　場所：広島, 日本
　　http://imnc.jp/

Future Technologies from HAMAMATSU
　　　　-第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
　　　　（電気学会センサ・マイクロマシン部門）
　　　　-第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム
　　　　（日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門）
　　　　-第11回集積化MEMSシンポジウム
　　　　（応用物理学会集積化MEMS技術研究会）
　　　　-化学とマイクロ・ナノシステム学会第40回研究会
　　　　（化学とマイクロ・ナノシステム学会）
　　日程：2019年11月19日-21日
　　場所：浜松、静岡
　　http://www.sensorsymposium.org/index_j.html

MHS 2019
　　“The 30th 2019 International Symposium on Micro-Nano
　　Mechatronics and Human Science”
　　日程：2019年12月1日-4日
　　場所：名古屋, 日本
　　http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/mhs/mhs2019-Top.html

PowerMEMS 2019
　　“The 19th International Conference on Micro and Nanotechnology
　　for Power Generation and Energy Conversion Applications”
　　日程：2019年12月2日-6日
　　場所：Krakow, Poland
　　http://powermems2019.org/

IEEE-MEMS 2020
　　“The 33rd International Conference on Micro Electro
　　Mechanical Systems”
　　日程：2020年1月18日-22日
　　場所：Vancouver, Canada
　　https://www.mems20.org/




《経済・政策動向のトピック》

【2019年4月の経済報告】　
　本項は、マイクロマシン／MEMS分野を取り巻く経済・政策動向のトピックを、いろいろな観点からとらえて発信しています。
　業務の参考として頂ければ幸いです。

　　下記より【2019年4月の経済報告】（pdf）をご参照下さい。
　　　　http://mmc.or.jp/info/monthly/economic_report/2019_04.pdf



「プレミアムフライデー」への取り組み

　マイクロマシンセンターでは、2017年2月より「プレミアムフライデー」の試行を開始しました。
当センターでは、引き続き実施中です。

皆様方のご協力をお願いします。

　　　
一般財団法人マイクロマシンセンター　　NMEMS技術研究機構
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