No.2004-07
2004年7月10日発行
目  次
Ⅰ 国内外トピックス
  1 新聞記事
Ⅱ マイクロマシンセンターの動き
  1 MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト推進委員会の開催
  2 第1回調査研究事業委員会の開催
  3 国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムプログラム委員会の開催
  4 第1回専門用語委員会の開催
  5 平成16年度・第2回運営委員会の開催
Ⅲ 行政動向
  1 経済産業省製造産業局産業機械課の人事異動
  2 NEDOの人事異動
Ⅳ 外部団体情報
  1 社団法人日本ロボット工業会の人事異動
Ⅴ イベント案内
  1 当センター主催のイベント
  2 その他のイベントのお知らせ
Ⅵ その他会員への情報
  1 マイクロマシンセンターの人事異動
  2 MEMSファンドリーサービス講習会のお知らせ


本  文
Ⅰ 国内外トピックス

1 新聞記事


6月11日 日経産業新聞
腕時計型脈波センサー:心電図使わず自立神経の異常検知 自宅で簡単判定;デンソー

 デンソーは名古屋私立大学の早野順一郎教授と共同で、自立神経活動を計測し睡眠障害や疲労の蓄積度合いなどを簡単に検知できる腕時計型の「脈波センサー」を開発した。同センサーを使えば個人が自宅などで簡単に自立神経失調などを発見できる。デンソーと早野教授は脈(脈波)からこの活動量を解析する手法を確立。腕時計型の装置を装着して脈波に含まれる心拍の変化を内臓の高感度センサーにより計測。装置に内蔵したマイコンで副交感神経の活動量を即座に計算できる仕組み。デンソーは今春発表した2015年までの経営ビジョンで、自動車関連事業とそれに次ぐ新事業の育成を柱に打ち出している。

6月17日 日経産業新聞
はねて動くロボット:形状記憶合金を伸縮;立命館大、新移動機構を開発

 車輪も脚もないのに移動したり階段を上ったりできる。立命館大学の平井慎一教授のチームは、ロボットの新しい移動機構を開発した。内部に組み込んだ形状記憶合金を伸び縮みさせて、自力ではねたり転がったりする。災害現場で被災者を探すロボットなどへの応用を目指す。試作したロボットは輪状で直径が約4センチメートル。内部に組み込んだ八本の形状記憶合金を電気信号で伸び縮みして動く。坂を上がることや、その場で飛び跳ねるといった基本動作を確認した。今後、東レエンジニアリング、京都大学と共同で輪を三本組み合わせたボール状ロボットを試作し、来年開催予定の愛知万博で一般に披露する。

6月18日 日本経済新聞
血液1滴で瞬時に検査:緊急投薬など救命医療に;慶大が超小型センサー

 糖尿病や心不全などの患者から血液を一滴記採取するだけで、容体を瞬時に把握できる超小型センサーを慶應義塾大学のチームが開発した。症状が急変した場合の緊急投薬など救命医療で利用できる。開発したセンサーは容体判定の目安になる血糖値や酸性度、乳酸値など五つの数値を調べ、医師が適切な治療法を素早く決められる。センサーは長さ約4センチ、幅2.5センチの薄い板状で、理工学部の鈴木孝治教授らが試作した。血糖値などのデータを電気的に測るため0.01ccの血液を垂らせば瞬時に測定できる。

6月22日 日経産業新聞
遺伝子 チップ上で増幅・解析:基礎技術を開発;栄研化学と徳島大大学院

 栄研化学は21日、徳島大学大学院の馬場嘉信教授と共同で、名刺大のチップ上で15分程度で遺伝子を増幅・解析できる基礎技術を開発したと発表した。医療現場などでの迅速な遺伝子検査に有効な技術ととらえ、実用化を急ぐ。同社が開発した増幅技術「LAMP法」に対応したプラスチック製の専用チップを使用。チップ上に調べたい遺伝子の資料を搭載し、専用装置でセ氏60度程度に加熱すると10分程度で遺伝子を大量に増幅する。増幅した遺伝子は解析に必要な量だけ自動抽出され、チップをそのまま電気泳動装置に載せると1~2分で解析できるという。

6月25日 日経産業新聞
DNAを芯に極細導線:半導体や微小機械向け;北大

 北海道大学の居白城邦治教授らは人口DNAを素材に、直径がナノメートルサイズの極細導線を開発した。細いDNAが導線の芯として使えることに着目、これに微小な銀粒子を付着させて導線にした。DNAの物理的な性質を利用したユニークな成果で、半導体の配線や微小機械などに有望。2010年ごろの実用化を目指す。開発した極細導線は直径が約40ナノメートル、長さが数マイクロメートル。人工DNAが芯の役割をして、その周囲に直径4~5ナノメートルの銀粒子が付着している。実験で導電性を確かめたところ、導線として使えることが分かった。

6月25日 日本経済新聞、日経産業新聞、日刊工業新聞、電波新聞
世界最小の燃料電池:携帯機器向けに;東芝、来年中の商品化目標

 東芝は24日、携帯音楽プレーヤーなど小型電子機器の電源に使う世界最小の燃料電池を開発したと発表した。親指ほどの大きさで100ミリワットの電力を出せる。携帯音楽プレーヤーなら最大約20時間駆動できるという。東芝が開発したシステムは、燃料ポンプや送気ファンなど複雑な機構を使わない「パッシブ型」と呼ばれる電池システム。サイズは縦56ミリ、横22ミリで、重さは8.5グラム。東芝は濃度99.5%以上の純メタノールを使用できるように改良。燃料タンクの体積を1/10以下にした。電極の設計も改善し、電力の出力効率を約5倍向上させたという。

6月25日 日本経済新聞
空気振動から不審者検知:留守宅への侵入を撃退;オムロンがセンサー

 オムロンは留守中の自宅に侵入する不審者を、音や微妙な空気の振動の変化から検知する技術を開発した。ドアがピッキングされる音など、住宅特有の不信音に反応できるセンサーにした。室内のコンセントに差し込んでおき、非常時は離れた場所に無線連絡する。新システムは車両荒らし防止装置を基本とし、住宅構造や住宅の材質によって生じる音などを調べ上げ、対応できるセンサーを開発した。

6月25日 日本経済新聞、日経産業新聞
大型液晶パネル製造装置:アルバック、韓国に工場

 半導体・薄型ディスプレー製造装置大手のアルバックは24日、韓国に二ヶ所目の液晶パネル製造装置の工場を建設すると発表した。サムスン電子とLGフィリップスLCD向けに大型パネル向け装置を生産する。真空反応室など基幹部品も内製し、装置を安定的に供給する。

6月28日 日刊工業新聞
世界最小触覚センサー:CMC活用 医療器具などに応用;岐阜大が開発

 岐阜大学工学部の元島栖二教授はカーボンマイクロコイル(CMC、約1/1000ミリメートルのピッチでコイル状に巻いた非晶質の炭素繊維)を活用して、弾力性のある世界最小の超高感度触覚センサーを開発した。100マイクロ×100マイクロ×100マイクロメートルのサイズで、10ミリグラム以下の応力、圧力を検出できる。ひねる、押すといった違いも識別できる。手術用の医療器具など、微小で高い感度が求められる分野への応用が期待される。29日に名古屋市内で開かれる「CMC研究会」で発表する。

7月8日 日本経済新聞、日経産業新聞
電子カルテ・内視鏡を連動:診療所向けシステム;三洋電機とオリンパス

 三洋電機は7日、オリンパスと共同で電子カルテシステムと内視鏡を連動させる「内視鏡データ転送システム」を開発したと発表した。患者の属性情報と内視鏡の画像情報を直接つなぐことで情報入力の手間が省ける。三洋が診療所向けに開発した電子カルテシステム「ドクターズ・パートナー」とオリンパスの内視鏡システムの間で情報の互換性を持たせる。内視鏡のシャッターボタンを押すだけで画像データが電子カルテのサーバーに送信・保存されるしくみなので操作性が高く、情報の入力ミスも防げる。


Ⅱ マイクロマシンセンターの動き

1 MEMS用設計・解析システム開発プロジェクト推進委員会の開催

 第1回のMEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト推進委員会(委員長:東京大学 藤田教授、副委員長:京都大学 小寺教授)が6月30日(水)に開催されました。本委員会は、当センターが産学官連携研究コンソーシアムを結成してNEDO技術開発機構から受託した「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」を円滑に推進するためのプロジェクト推進・調整機関として運営されます。今回の委員会には本プロジェクトに参画する主要メンバーが出席し、初顔合わせを行うと伴に、今後3ヶ年の実施計画書作成に向けた全体調整を行い、NEDOとの契約を8月初旬に貫徹することを申し合わせしました。またプロジェクトの愛称を “MEMS-ONE”と付け、プロジェクトメンバー間の意志疎通の旗印になるとともに、完成後の広範な採用を祈願しました。


2 第1回調査研究事業委員会の開催

 平成16年度第1回調査研究事業委員会(委員長:東京大学 藤田博之教授)が6月15日(火)に開催されました。本委員会では、マイクロマシンに係わる①調査研究計画の策定、②技術動向の調査・分析、③産業動向の調査・分析、④情報の収集・提供を目的としており、下記委員会より構成されています。
 ・次世代プロジェクト懇談会
 ・国内外技術動向調査委員会
 ・市場調査委員会
 ・平成16年度受託調査プロジェクトに係る委員会
  第1回目の今回は、各委員会の本年度計画を確認しました。
 なお、当委員会の委員構成は次のとおりです。
 委員長 藤田博之 東京大学 生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター
 委  員 新野秀憲 東京工業大学 精密工学研究所精機デバイス部門超微細加工研究分野
      下山 勲  東京大学 大学院 情報理工学系研究科 知能機械情報学専攻
       羽根一博 東北大学 大学院 工学研究科 機械電子工学専攻
       生田幸士 名古屋大学 大学院 工学研究科 マイクロシステム工学 生体医用マイクロ工学講座
       民谷栄一 北陸先端科学技術大学院大学 材料科学研究科
       庄子習一 早稲田大学 理工学部 電子・情報生命工学科
       石川雄一 独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門
       渡辺秀明 オムロン株式会社 技術本部 先端デバイス研究所 マイクロマシニンググループ
       太田 亮  オリンパス株式会社 研究開発センター MEMS事業推進部プロセス開発グループ
       古田一吉 セイコーインスツルメンツ株式会社 技術本部 開発企画グループ
       竹井 裕  ソニー株式会社 マイクロシステムズネットワークカンパニー
       須藤 肇  株式会社東芝 研究開発センター 機械・システム ラボラトリー
       原田 武  株式会社日立製作所 基礎研究所 ナノ材料・デバイスラボ
       末益龍夫 株式会社フジクラ 電子デバイス研究所
       武田宗久 三菱電機株式会社 先端技術総合研究所 センシング技術部
       岩岡秀人 横河電機株式会社 コーポレートマーケティング本部



3 国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムプログラム委員会の開催

 国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムプログラム委員会(委員長:東京大学 藤田博之教授)が6月18日(金)に開催されました。今年11月11日(木)に科学技術館サイエンスホールで開催される第10回国際マイクロマシン・ナノテクシンポシウムのプログラム(案)について審議され、次のように決定しました。今回のシンポシウムは、次世代プロジェクトの必要性をアピールできるプログラムを編成することとし、これを受けて、セッション1の特別講演は、立命館大学杉山進教授に「MEMSの現状と展開」について講演を依頼することになりました。 セッション2では「マイクロマシン技術と安心・安全な高度情報社会」と題し、自動車、ディスプレイ、内視鏡とMEMSとの関りについて企業の方々に講演を依頼し、セッション3「新しいMEMSシステムと必要なテクノロジー」及びセッション4「政策動向」と題し、海外の企業、研究機関、大学、及び日本の大学の第一人者の方々に講演を依頼することになりました。セッション5は、パネル形式とし、藤田教授が司会をつとめ、海外からの招待講演者を交えてディスカッシヨンを行います。
  内外の招待予定者、講演テーマ(仮題)等については、下記のプログラム(案)を参照下さい。

         第10回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム(案)
           (平成16年11月11日 科学技術館サイエンスホール)

セッション1:オープニング                             司会 青柳桂一
  9:30-9:35   開会挨拶
  9:35-9:40  来賓挨拶
  9:40-10:20  特別講演 「MEMSの現状と今後の発展(次世代プロジェクトの必要性)」
               立命館大学教授 杉山 進
セッション2:マイクロマシン技術と安心・安全な高度情報化社会     司会 桑野博喜
 10:20-10:50  「自動車とMEMS(センサー)」
              トヨタ自動車 車両技術本部第3電子技術部長 藤川東馬
 10:50-11:20  「ディスプレイとMEMS」
              ソニー レコーディングメディアカンパニー 開発部門長 竹井 裕
 11:20-11:50  「最新の内視鏡」
              オリンパス 医療システムカンパニー 医療研究開発本部長 降籏廣行

 11:50-12:50 昼食

セッション3:新しいMEMSシステムと必要なテクノロジー           司会 下山 勲
 12:50-13:20  「センサーネットワーク」
              Crossbow Technology Inc. 
 13:20-13:50  「MEMSとネットワークシステムの夢」
              IMEC Microsystem Dept. Director Chris Van Hoof
 13:50-14:20  「ナノインプリント」
              産総研先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループ長   前田龍太郎
 14:20-14:50  「MEMSと流体制御」
              東京大学工学研究科 機械工学専攻教授 笠木伸英
 14:50-15:20  「バイオ・細胞チップの最新動向」
              北陸先端科学技術大学材料科学研究科教授 民谷栄一

 15:20-15:35 休憩

セッション4:政策動向                                司会 前田龍太郎
 15:35-16:05  「大学間でのマルチ材料製造研究に関するEUプログラム」
              Cardiff University Prof. Stefan Dimov
 16:05-16:35  「MEMSの市場動向」
              東京大学情報理工学研究科知能機械情報学専攻教授  下山 勲
 16:35-17:05  「アメリカのMEMS研究の最新動向」
              UC Irvin Prof. Bill Tang
 17:05-17:35  「MEMS用設計・解析支援システム」
              京都大学工学研究科機械工学専攻教授 小寺秀俊

セッション5:パネルディスカッション                       司会 藤田博之
 17:35-17:45  ショートプレゼンテーション
              東北大学工学研究科ナノメカニクス専攻教授 桑野博喜
 17:45-17:55  ショートプレゼンテーション
              立命館大学マイクロ機械システム工学科教授 木股雅章
 17:55-18:55  ディスカッション
              東大 下山勲、東北大 桑野博喜、京大 小寺秀俊、立命館大 木股雅章
              産総研 前田龍太郎、 セイコーインスツルメンツ 古田一吉、
              UC Irvine B. Tang、 Gardiff Univ. Stefan Dimof
セッション6:クロージング
 18:55-19:00  閉会挨拶 



4 第1回専門用語委員会の開催
 標準化委員会第1回専門用語部会(委員長:諸貫信行 東京都立大学)が6月21日(月)に開催されました。マイクロマシン専門用語の国際標準化提案がIEC(国際電気標準会議)/ TC47(半導体デバイス)になされており、国際標準化活動は、現在CD(Committee Draft)の段階にあり、専門用語部会は本国際提案活動をバックアップしています。国際投票の締切りは今年9月10日に迫っています。専門用語のIECへの本提案はCDとして関係各国に回付され、色々なコメントがなされており、今回、これに伴い、用語定義の修正やこれまでのアルファベット順の用語配列から項目別配列への変更について検討し、用語集の最後の修正を行い、締切りまでに完成させることになりました。
なお、専門用語委員会の委員構成は次のとおりです。
 委員長  諸貫 信行  (東京都立大学)
 委  員  壁井 信之  (埼玉県循環器・呼吸器病センター)
        石川 雄一  (産業技術総合研究所)
       大和田邦樹  (国際標準化工学研究所)


5 平成16年度・第2回運営委員会の開催
 
 平成16年度・第2回運営委員会が6月22日(火)に開催されました。
 審議事項は、経済産業省/NEDO技術開発機構の「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」の委託公募事業に対して、当センターが代表契約者として受託することになり、この受託に関して①MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクトの発足について、②組織規程の改正について等で、原案通り承認されました。

Ⅲ 行政動向

1 経済産業省製造産業局の人事異動


 平成16年6月21日付
            新                    旧
   小川陽子  国土交通省国土計画局       製造産業局産業機械課技術係長
           大都市圏計画課主査

   中桐裕子 製造産業局産業機械課技術係長  経済産業政策局調査統計部
                                 総合調整室総括係

 平成16年6月22日付
            新                    旧
   北村俊昭  通商政策局長             製造産業局長

   中嶋 誠  貿易経済協力局長          製造産業局次長

   石毛博行  製造産業局長             資源エネルギー庁次長

   奥田真弥  製造産業局次長            大臣官房審議官(政策総合調整担当

   塚本 修  製造産業局次長            大臣官房審議官(地域経済産業グループ・
                                 資源エネルギー庁担当)

   小宮義則  製造産業局産業機械課長      経済産業政策局知的財産政策室長

   福水健文 近畿経済産業局長           製造産業局次長

   藤田義文 新エネルギー・産業技術総      製造産業局産業機械課長
          合開発機構に出向(総務部長)


2 NEDOの人事異動


 平成16年6月21日付
            新                    旧
   阿部一也  機械システム技術開発部主査   採用(官庁出向)

   辻 義信  企画調整部長             機械システム技術開発部長

 平成16年6月23日付
            新                    旧
   藤田義文  総務部長                採用(官庁出向)

   山本哲也  機械システム技術開発部長     採用(官庁出向)

 平成16年6月30日付
            新                    旧
   西出重人  退職(会社復帰)            機械システム技術開発部主査

 平成16年7月1日付
            新                    旧
   水谷智昭  機械システム技術開発部主査   採用(会社出向)

   横町政芳  機械システム技術開発部主査   採用(会社出向)

   斉藤恵子  総務部主査              機械システム技術開発部主査

   高野正好  機械システム技術開発部主査   環境技術開発部主査
Ⅳ 外部団体情報

1 社団法人 日本ロボット工業会の人事異動


 平成16年6月18日付
             新                   旧
   田村忠男   退  任                専務理事

   飯倉督夫   専務理事               特定非営利活動法人プロジェクト
                                 マネージメント資格認定センター
                                 専務理事

 平成16年6月19日付
             新                   旧
   田﨑雅元   退  任                会  長
          (川崎重工業㈱取締役社長)

   稲葉善治   会  長                ファナック㈱代表取締役社長
          (ファナック㈱代表取締役社長)

   
Ⅴ イベント案内

1 当センター主催のイベント


(1) MEMSファンドリーサービス講習会
  開 催 日:平成16年7月21日(水)13:00~
  開催場所:アルカディア市ヶ谷
  主  催:(財)マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会
  参 加 費:8,000円

(2) 第15回マイクロマシン展
  開 催 日:平成16年11月10日(水)~12日(金)
  開催場所:科学技術館(東京、北の丸公園)

(3) 第10回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
  開 催 日:平成16年11月11日(木)
  開催場所: 科学技術館、サイエンスホール


2 その他のイベントのお知らせ

 ・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
 ・番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。

(1) 第10回化学センサ国際会議
  開 催 日:2004年07月11日(日) ~ 14日(水)
  開催場所:つくば国際会議場
  主  催:第10回化学センサ国際会議組織委員会,電気化学会
  情報入手:http://www.ics-inc.co.jp/10-imcs/

(2) SEMICON West 2004
  開 催 日:2004年07月12日(月) ~ 16日(金)
  開催場所:San Francisco, California U.S.A.
  主  催:SEMI
  情報入手:http://www.semi.org/wps/portal/_pagr/127/_pa.127/305

(
3) 第9回光エレクトロニクス・光通信国際会議/第3回光インターネット国際会議
  開 催 日:2004年07月12日(月) ~ 16日(金)
  開催場所:パシフィコ横浜
  主  催:電子情報通信学会
  情報入手:http://edpex104.bcasj.or.jp/oecc-coin/

(4) Nanotech 2004: The 1st International Conference on Nanotechnology
  開 催 日: 2004年07月13日(火) ~ 17日(土)
  開催場所: Meritus Mandarin Hotel, Singapore
  主  催: Nanyang Technological University, Singapore
  情報入手: http://www.nanotech2004.org/

(5) インターオプト'04 (InterOpto'04)
  開 催 日: 2004年07月13日(火) ~ 16日(金)
  開催場所: 幕張メッセ国際展示場
  主  催: (財)光産業技術振興協会
  情報入手: http://www.oitda.or.jp/main/io/io04home-j.html

(6) 2004年 半導体MIRAIプロジェクト成果報告会
  開 催 日: 2004年07月13日(火)
  開催場所: 都市センターホテル (東京)
  主  催:半導体MIRAIプロジェクト
  情報入手:(技)超先端電子技術開発機構(ASET),MIRAIプロジェクト推進部門
  TEL:029-849-1523

(7) 第27回フラーレン・ナノチューブ総合シンポジウム
  開 催 日: 2004年07月28日(水) ~ 30日(金)
  開催場所: 東京大学 武田先端知ビル
  主  催: フラーレン・ナノチューブ研究会
  情報入手: http://www.photon.t.u-tokyo.ac.jp/~fullerene/

(8) Optical MEMS 2004(2004年光マイクロマシン国際会議)
  開 催 日: 2004年08月22日(日) ~ 26日(木)
  開催場所: 香川県高松市、サンポート高松
  主  催: 電気学会センサ・マイクロマシン準部門
  情報入手: http://www.conferences.jp/optical-mems04/

(9) COMS2004 (The 9th International Conference on the Commercialization of   Micro and Nano Systems)
  開 催 日: 2004年08月29日(日) ~ 09月02日(木)
  開催場所: Alberta, Canada
  主  催: MANCEF
  情報入手: http://www.mancef-coms2004.org/

(10) μTAS2004 (The 8th International Conference on Miniaturized Systems for  Chemistry and Life Sciences)
  開 催 日: 2004年09月26日(日) ~ 30日(木)
  開催場所: Malmo, Sweden
  情報入手: http://www.microtas2004.lu.se/

(11) 第6回国際シンポジウム「ロボットとの共存」 - Living with Robots - Symbiosis   of Robots and Human Being -
  開 催 日: 2004年10月04日(月) ~ 05日(火)
  開催場所: 東京、一橋記念講堂
  主  催: (社)日本工学アカデミー
  情報入手: http://www.eaj.or.jp
  協 賛:(財)マイクロマシンセンター 

(12) 第21回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
 (The 21st Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)
  開 催 日: 2004年10月14日(木) ~ 15日(金)
  開催場所: 京都テルサ
  主  催: 電気学会 センサ・マイクロマシン準部門
  情報入手: http://www.iee.or.jp/smas/

(13) European Micro and Nano Systems 2004 (EMN04) Advances & Applications  for Micro & Nano Systems
  開 催 日: 2004年10月20日(水) ~ 21日(木)
  開催場所: ESIEE, Noisy le Grand, Paris, France
  主  催: Tima, ASME, and etc.
  情報入手: http://tima.imag.fr/conferences/EMN/


Ⅵ その他会員への情報

1 マイクロマシンセンターの人事異動


    平成16年6月30日付
                 新                    旧
       山田 孝   退  職                 事務局長(兼)総務部長

    平成16年7月1日付
                 新                    旧
       町田 進   事務局長(兼)総務部長       採 用
                調査研究部・主任研究員併任


2 講習会「MEMS設計・加工技術」のご案内


 当センターファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために初心者・中級者を対象に下記のとおり第3回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」を開催いたします。積極的なご参加をお願い致します。なお、賛助会員企業の連絡窓口担当者には既に別途ご案内を差し上げてあります。

         第3回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
            日時 2004年7月21日(水)13:00~17:30~19:00
            場所 アルカディア市ヶ谷(私学会館)4階 鳳凰
                   〒102-0073 東京都千代田区九段北4丁目2番25号
                   TEL:03-3261-9921(代表)
            主催 財団法人マイクロマシンセンター
                ファンドリーサービス産業委員会
            参加費:8,000円 参加費には講習会資料と懇談会費が含まれます。
                 参加費は当日、受付でお支払い下さい。(領収書をご用意します。)

                        プログラム

 13:00  主催者挨拶  青柳 桂一 (財団法人マイクロマシンセンター 専務理事)
 13:10  新産業創出のキーとなるMEMSテクノロジー
               杉山  進  (立命館大学理工学部 教授)
 14:00  光MEMSの設計技術
               太田 亮 (オリンパス(株) 研究開発センター MEMS開発本部グル
                       ープリーダー)
 14:35  MEMS設計におけるシミュレーション
               入江 康郎 ((株)富士総合研究所 科学技術研究部 MEMSプロジェ
                       クト 主任研究員)

―――――――――――――――休憩 15:10~15:20――――――――――――――

 15:20  MEMS加工・製造プロセス
               小澤 信男 (沖電気工業(株) SiMC MEMS事業推進チーム 課長)
 15:55  MEMS製造装置
               林 俊雄  ((株)アルバック 半導体技術研究所 第1研究部長)
 16:30  MEMS実装技術
               橋本 幹夫 ((株)フジクラ 電子デバイス研究所 シリコン技術開発本部
                        グループ長)
 17:05  ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
               三原 孝士  (オリンパス(株) 未来創造研究所 上席研究員)

―――――――――――――――休憩 17:30~17:40――――――――――――――

 17:40~19:00   懇談会 (4階 飛鳥)
 

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