No.2004-12
2004年12月14日発行
目  次
Ⅰ 国内外トピックス
  1 Power MEMS2004報告
  2 新聞記事
Ⅱ マイクロマシンセンターの動き
  1 MEMS信頼性評価技術調査委員会の開催
  2 第3回次世代プロジェクト委員会/マイクロ・ナノ調査研究委員会の開催
  3 第4回MEMS産業化共同調査委員会の開催
  4 マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催
  5 第4回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」のご案内 
Ⅲ 行政動向
  1 第41回総合科学技術会議配布資料
Ⅳ 海外からの訪問者
  1 台湾工業技術研究院(ITRI)の来訪
Ⅴ 外部団体情報
  1 独立行政法人 産業技術総合研究所(産総研)情報
Ⅵ イベント案内
  1 当センター主催のイベント
  2 その他のイベントのお知らせ
Ⅶ その他会員への情報
  1 ロボット3団体合同賀賀詞交換会のご案内
  2 年末年始休日のお知らせ
  3 NEDO情報・システム部ナノテク海外情報


本  文
Ⅰ 国内外トピックス

1 Power MEMS2004報告
 PowerMEMS分野の専門家たちが集まる第4回ワークショップ「PowerMEMS 2004」が京都テルサにて 平成16年11月28日~30日に亘って開催された。参加総員約100名、国内外から半々の専門家が集まり、口頭発表とポスターセッションに分かれて2日間高いレベルの討議がされた。両方合わせて54件の発表があった。
 発表からこの分野の研究動向を分析すると、発表件数では、最多数は主催国ということで当然ながら日本が9大学から26件、米国が13大学16件、その次は韓国の4大学4件、以下イギリス、ベルギー、イタリア、シンガポール、カナダ、フランス、ドイツ、オランダ、スウエーデン、アイルランド、オーストリア、スペインとなっている。日本の26件のうち10件が東北大学、東大4件、立命館大3件という集中振りで、この分野の研究活動の広がりは少ないようである。一方米国はUCB3件、Columbia U.とCIT(California Institute of Tech.)の各2件、他は各1件で、広く活動していることが伺える。海外勢では欧州組(スペイン、イタリア、オーストリア、オランダ等)は単一機関の研究ではなく、国を跨いで連携していることも特徴といえる。今回の発表内容では分野としてMicropropulsion、Micro Fuel Cell、Micro Heat Engine、新規パワー源、およびそのための製造技術に関するものであった。技術課題としてはパッケージングや接合等の実装技術が重要基盤技術として認識されているようである。


2 新聞記事

11月11日 日経産業新聞
負担少ない肺がん用内視鏡:オリンパスメディカル

 オリンパスの医療機器子会社、オリンパスメディカルシステムズは、少ない患者負担で肺がんのリンパ節転移の診断ができる気管支内視鏡を17日に発売すると発表した。超音波内視鏡と検体を吸引する針を組み合わせた。超音波画像で周囲の様子を確かめながら、組み込んだ針でリンパ節を採取する。血管の位置も確認でき、安全性が向上する。従来は皮膚に穴を開けて内視鏡を挿入したり、エックス線下で検査する方法が主流だった。

11月19日 日経産業新聞
高純度、安く量産:単層ナノチューブ、身近に;産総研

 産業技術総合研究所は高純度高品質の「単層カーボンナノチューブ(筒状炭素分子)」を従来の数百分の一以下のコストで量産する技術を開発した。単層ナノチューブは次世代ディスプレーや燃料電池、バイオ、電子素子など広範な応用が期待されているが、純度、品質、コストいずれにも課題があり、あまり実用化が進んでいない。開発したのは「化学的気相成長法(CVD)」の一種。基板上に触媒となる鉄微粒子の薄膜を形成、原料となるエチレンガスをセ氏750度、常圧で反応させると、基板から芝生が伸びるように単層ナノチューブが一斉に出来上がり、約10分間で高さ2.5ミリになった。従来手法と比べて高さで500倍、成長速度で3000倍の高効率という。今回の成果は19日付けの米科学誌サイエンスに発表、近くサンプル提供も始める。

11月23日 日刊工業新聞
超微量を高感度解析:がん遺伝子検査に道;オリンパス

 オリンパスは22日、ナノグラムレベルの超微量遺伝子サンプルを高感度で解析できる技術を開発したと発表した。従来に比べ最大1000倍高感度化し、100倍の測定レンジを自動化する。開発した「DNAマイクロアレイ解析技術」は平面基板を用いる通常のDNAマイクロアレイと異なり、独自開発した3次元DNAマイクロアレイや血液分析機、顕微鏡技術を融合した。これにより遺伝子増幅を不要にし、より微小なサンプルから遺伝子解析ができるようになった。

11月25日 日経産業新聞、日刊工業新聞
様々な成膜を1台で:回路幅32ナノ半導体に対応;アルバック

 アルバックは24日、回路線幅が32ナノメートルの半導体製造まで対応できる成膜装置「ENTORON-EX W300シリーズ」を2005年1月から販売すると発表した。最大10個の反応室を組み合わせることが可能で、様々な成膜機能を1台でこなすことができる。半導体のチップ内部に金属層や絶縁膜を重ねる配線工程に使う。

11月25日 日経産業新聞、日刊工業新聞
世界最小の「センサー端末」:ボタン電池2個、1年以上利用可;日立・YRPユビキタス

 日立製作所と、無線ICタグ(荷札)の研究開発会社、YRPユビキタス・ネットワーキング研究所(東京・品川、所長・坂村健東京大学教授)は24日、世界最小の省電力センサー端末を開発したと発表した。開発したセンサー端末は、本体の大きさが立て2.3センチ、横2.0センチ、厚さ1.5センチで、ぺットボトルのキャップ程度。温度センサー、赤外線センサー、湿度センサーなどと組み合わせて設置する。周波数315メガヘルツの微弱無線をアンテナから距離10メートル程度まで送信できる。間欠的に動作するセンサーネットワーク制御技術を使うことで省電力化し、1年以上利用できるようにした。

11月25日 日経産業新聞
内視鏡型顕微鏡 レンズ最小1.3ミリ:オリンパス小動物向け

 オリンパスは24日、世界最小の直径1.3ミリの対物レンズを組み込んだ小動物用の内視鏡型顕微鏡を開発したと発表した。先端から近赤外などのレーザー光を照射し、体内の注射した蛍光色素を目印に様々な臓器をくわしく観察する。体内の特定の物質に目印をつけて細胞内の状態や薬の働きを可視化する「分子イメージング」と呼ぶ次世代画像化技術向けに開発した。がんの転移の仕組みや薬の効きやすさの役立つとみて、早期の製品化を目指す。

11月25日 日本経済新聞
透明で曲がるトランジスタ:ディスプレーに応用;科技機構と東工大

 科学技術振興機構は24日、東京工業大学の細野秀雄教授らと共同で、透明で曲げられる新型トランジスタを開発したと発表した。有機EL(エレクトロ・ルミネッセンス)などの表示技術と組み合わせれば曲げられるディスプレーの作製が容易になる。半導体材料に使われるインジウムやガリウム、亜鉛などでできた透明な酸化物を利用した。この酸化物は常温で加工できるため、熱に弱いプラスチックの上でも薄膜を作ることができ、その上にトランジスタの電子回路を作製した。

11月30日 日経産業新聞
光学顕微鏡、200ナノの物体10分で識別:解像度3倍以上に;東工大、オリンパス

 東京工業大学とオリンパスは、光学顕微鏡で大きさが200ナノメートルの物体を10分で識別することに成功した。従来は3時間程度かかった独自の観測手法を改良し測定時間を大幅に短縮した。解像度も3倍以上高めることができた。改良を進めれば、1個1個の細胞を生きたまま観察することが可能になるという。開発に成功したのは東工大の藤井正明教授ら。試料に対して2色のレーザー光を重ねて照射して観測する独自手法を改良したのが特徴。レーザー光の周波数を10ヘルツから1万倍高い100キロヘルツにすることで性能を高めた。

12月1日 日本経済新聞、日経産業新聞、日刊工業新聞
錠剤感覚の内視鏡:受信者の負担を軽減;オリンパス、カプセル型開発

 オリンパスは30日、薬の錠剤のように飲み込むカプセル型の内視鏡を開発、日米欧の医療機関で治験(臨床試験)をはじめたと発表した。従来のチューブ型内視鏡では届かない省庁の検査向けで、受診者にとってもチューブによるのどの痛みや吐き気などの負担がかからない。2年以内の実用化を目指している。カプセルは直径1.1センチメートル、長さ2.6センチのプラスチック製。飲み込むと食堂や胃を通り抜けて小腸に達し、小型ライトで照らし内臓カメラが毎秒2コマで内壁を撮影する。画像は無線送信し、小型の映像端末を通じて医師がかいようなど異常を探す仕組み。使い捨てで、飲み込んでから焼く8時間後に便と一緒に排泄される。

12月3日 日経産業新聞
ポリ乳酸使い複雑な立体:マイクロマシン実現も;名大、50マイクロメートルレベルで制御

 名古屋大学の生田幸士教授らは、複雑な立体形状を生分解性樹脂の「ポリ乳酸」で作る技術を開発した。50マイクロメートルレベルで制御しながら大きさが数ミリのバネやパイプなどを作った。ポリ乳酸は石油系樹脂に比べて環境負荷が少なく産業界が注目している。ポリ乳酸を金属製注射器に入れ、セ氏200度に加熱する。溶けたポリ乳酸を注射器の小さな穴から作りたい立体形状になるように押し出す。加熱温度と、注射器を移動する速度を調整すると、50マイクロメートルレベルで制御しながら微細構造を作れるという。例えば、底があるパイプとバネを組み合わせれば、外部からの指令に基づいて決まった時間に薬物を放出する治療用マイクロマシンを作れるとみている。

12月8日 日刊工業新聞
MEMS専門組織設置:センサーに応用;オムロン

 オムロンは7日、MEMSを使ったセンサーなどの開発販売を手がける社内組織「MEMSプロジェクト」を05年1月に設けると発表した。同プロジェクトには企画、開発、営業の担当者34人が参加する。技術者と営業担当者が連携して市場の要求に合う製品を開発し、携帯電話やデジタル家電むけなどに売り込む。03年度に38億円だったMEMS製品の売上高を07年度には100億円に引き上げる。05年度には携帯電話の位置情報検出などの用途を想定して、3軸加速度センサーを発売する。


Ⅱ マイクロマシンセンターの動き

1 MEMS信頼性評価技術調査委員会の開催

 第3回MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究委員会(委員長 石川雄一 独立行政法人産業技術総合研究所)が11月16日(月)に開催されました。今回の委員会では、産総研の音響振動科強度振動標準研究室の臼田室長からMEMS計測評価技術に関する幅広い内容の講演を聴取しました。またMEMS計測評価分野のワークショップであるMEMSTAND(2003年3月開催)の概要の報告をしていただいた。
 今回の委員会では将来的に知識・材料データベースにおいて関係するMEMS設計・解析支援システム開発プロジェクト(MEMS-ONE)の概要も開発センターから報告された。


2 第3回次世代プロジェクト委員会/マイクロ・ナノ調査研究委員会の開催
 プロジェクト提案のコンセプトなどを集中的に検討するための次世代プロジェクト検討小委員会(委員長:東京大学 下山勲教授)を11月5日(金)、11月15日(月)と10月の初回と合せて、3回開催されました。その中で、現状のMEMSの発展を見据え、次世代のMEMSである「ファインMEMS」としてコンセプトを作り上げ、その取組技術分野をデバイス技術、共通製造技術に分け内容の検討に入りました。これらについては、11月22日(月)に開催された平成16年度第3回マイクロ・ナノシステムデバイスに係る加工組立・計測評価・ハンドリング技術に関する調査研究委員会(委員長:東京大学 下山勲教授)に正式に提案し、活発な議論のもと概ね了承されました。今回の議論の内容を受け、さらに密度の濃いものとするべく検討中です。


3 第4回MEMS産業化共同調査委員会の開催

 第4回MEMS産業化共同調査委員会(委員長:オリンパス(株)、太田 亮氏)が12月2日(木)に開催されました。今回の委員会では、ファンドリーサービス活性化の手段としてのMEMS専門用語見直し、当センター(MMC)のファンドリーユーザへの対応手順に関して突っ込んだ議論がされました。
専門用語の見直しとファンドリーユーザへのMMCの対応手順については、前回のファンドリーサービス産業化委員会での議論を踏まえ、事務局案に対する改善を図った上で次回のファンドリーサービス産業化委員会に提案することになりました。具体的には、専門用語の見直しについては、各社ホームページ上の使用用語の収集と企業間での比較、課題等を抽出しました。またMMCのファンドリーユーザへの対応手順については、ファンドリーサービス産業化委員会で議論されたMMCの役割の設定、対応手続きに使用する様式の項目について改善案を討議、作成しました。


4 マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催

 当センターでは、マイクロ・ナノ先端技術に関係している賛助会員企業の専門家を対象に、マイクロ・ナノ技術に関する各産業分野における先端技術への認識と理解を深め、マイクロ・ナノ技術の普及啓発と産学の技術交流を図ることを目的として、昨年度から年数回技術交流会を実施することに致しました。そこで、ナノバイオテクノロジーの専門家である名古屋大学大学院の馬場嘉信教授を講師にお招きし、第2回技術交流会が12月10日(金)に当センターで開催されました。青柳専務理事の主催者挨拶に続き、馬場教授の講演「ナノバイオデバイスによるゲノム医療・創薬」が行われました。
 講演は、先ずバイオテクノロジーとナノテクノロジーとの接点について、ナノ解析・操作のためのツール(ナノ直接観察方法、ナノ操作方法等)の重要性について具体的事例をあげながら判り易く説明され、ナノテクノロジーやマイクロチップテクノロジーがバイオテクノロジーを大きく発展させる可能性について言及されました。また、DNA解析におけるナノ空間(ナノピラーとナノボール)の効果について、実験結果などが報告されました。本講演内容に対しては参加者の方々の関心が非常に高く、活発で熱心な質疑応答が交わされました。講演後に馬場先生および参加者同士(24名)の簡単な懇談の場を設け、技術交流を図って頂き有意義なマイクロ・ナノ技術交流会となりました。今後引き続き先端技術応用分野に関する技術交流会を開催致しますので、ご期待の上是非ご参加ください。


5 第4回MEMS講習会「MEMS設計・加工技術と応用例」のご案内

 当センターファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために初心者・中級者を対象に下記のとおり第4回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」を開催いたします。積極的なご参加をお願い致します。なお、賛助会員企業の連絡窓口担当者には既に別途ご案内を差し上げてあります。

 第4回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
     日時  2005年1月17日(月)13:00~17:50~19:00
     場所  ぱ・る・るプラザ京都(JR京都駅前)6階会議室D及び会議室5
              〒600-8216 京都市下京区東洞院通七条下ル東塩小路町676番13
               TEL:075-352-7444(代表)
     主催  財団法人マイクロマシンセンター
          ファンドリーサービス産業委員会
     参加費:8,000円 参加費には講習会資料と懇談会費が含まれます。
                 参加費は当日、受付でお支払い下さい。(領収書をご用意します。)

      ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ プログラム ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
            第4回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」

    13:00  主催者挨拶
             青柳 桂一 (財団法人マイクロマシンセンター 専務理事)
    13:10  新産業創出のキーとなるMEMSテクノロジー
             杉山 進  (立命館大学理工学部 教授)
    14:00  RF-MEMS(マイクロマシンドリレー)の設計技術
             西尾 英俊 (オムロン(株) 技術本部 先端デバイス研究所 主事)
    14:35  MEMSにおける設計・解析支援ソフトの特徴と利用法(フレームワーク環境を中心に)
             前田 幸久 (日本ユニシス・エクセリューションズ(株) KC推進部 MEMSプロ
                       ジェクト担当部長)
    15:10  MEMS加工・製造プロセス
             富井 和志 (松下電工(株) 高度MEMS開発センター 部長)
    15:45~16:15
             技術相談会(各社パネル展示説明)及び休憩
    16:15  MEMS応用例(1)  日立における流体装置へのMEMS技術の展開
             小出 晃  ((株)日立製作所 機械研究所 MEMSプロジェクト 主任研究員)
    16:50  MEMS応用例(2)  自動車用MEMSの現状と将来動向
             鈴木 康利 ((株)デンソー IC技術2部 開発企画室 室長) 
    17:30  ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
             三原 孝士 (オリンパス(株) 未来創造研究所 上席研究員)
    17:50~18:00   休憩
    18:00~19:00   懇談会 (6階会議室5)

 ◆ 参加申込
  下記に必要事項をご記入の上、E-メール又はFAXにてご送付ください。
    E-mail: mems-ws@mmc.or.jp <mailto:mems-ws@mmc.or.jp> / FAX: 03-5835-1873
    <http://fsic.mmc.or.jp/mems-koshu/koshu-4/koshu-4.html>

    ====== お申込は下記の申込欄のみをご返信下さい。========
      ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ 参加申込み欄 ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
        第4回講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」参加申込

           申込者氏名:
           氏名フリガナ:
           会社・団体名:   
           所属部署:
           役職:
           勤務先〒番号:
           勤務先住所:
                TEL:
                FAX:
                E-mail:
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Ⅲ 行政動向

1 第41回総合科学技術会議配布資料

   情報入手(http://www8.cao.go.jp/cstp/)


Ⅳ 海外からの訪問者

1 台湾工業技術研究院(ITRI)来訪
 
 今年のマイクロマシン展に、台湾より工業技術研究院(ITRI)・黄新鉗博士を中心にした一行10名の訪問がありました。マイクロマシン展では、各社ブースを見学・情報交換され、ファンドリーサービス産業化委員会(委員長:三原孝士氏)のメンバーとMEMS産業化の促進について意見交換を行いました。MEMSの標準化などに共通の課題認識があり、今後も交流を続けていくことを確認しました。


Ⅴ 外部団体情報

1 独立行政法人 産業技術総合研究所(産総研)情報

 産総研のホームページにて{産業界の皆様へ}というコーナーを設けて、「知的財産権システム(IDEA)」、産総研イノベーション(技術移転TLO)等を紹介。


Ⅵ イベント案内

1 当センター主催のイベント

・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870

(1)第4回MEMS講習会
 開 催 日:平成17年1月17日(月)13:00~17:50~19:00
 開催場所:ぱ・る・るプラザ京都(JR京都駅前)
 主  催:(財)マイクロマシンセンター ファンドリーサービス産業委員会
   参 加 費:8,000円


2 その他のイベントのお知らせ


・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
・番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。

(1) MEMS2005 - 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical
Systems

 開 催 日: 2005年01月30日(日) ~ 02月03日(木)
 開催場所:Florida, USA
 主  催:IEEE
 情報入手:http://mems2005.org/

(2)Sensor Expo Japan 2005 (センサ総合展2005
)
 開 催 日: 2005年04月06日(水) ~ 08日(金)
 開催場所: 東京ビッグサイト
 主  催: フジサンケイビジネスアイ
 情報入手: http://www.business-i.jp/event/sensor/index2.htm

(3)HANNOVER MESSE ハノーバー・メッセ2005 『マイクロテクノロジー』
マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市

 開 催 日:2005年04月11日(月) ~ 15日(金)
 開催場所:Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場), Germany
 主  催:Deutsche Messe AG
 情報入手:http://www.hannovermesse.co.jp/

(4)DTIP 2005 (Symposium on Design, Test, Integration and
Packaging of MEMS/MOEMS)

 開 催 日:2005年06月01日(水) ~ 03日(金)
 開催場所:Montreux, Switzerland
 主  催:Tima, IEEE, etc.
 情報入手:http://tima.imag.fr/conferences/Dtip/Dtip2005/

(5)JPCA SHOW 2005
 開 催 日:2005年06月02日(木) ~ 04日(土)
 開催場所:東京ビッグサイト
 主  催:社団法人日本プリント回路工業会
 情報入手:http://www.jpcashow.com/
 (財)マイクロマシンセンター 後援

(6)Transducers’05 - the 13th International Conference on Solid-State Sensors,
Actuators and Microsystems

 開 催 日:2005年06月05日(日) ~ 09日(木)
 開催場所:Seoul, Korea
 主  催:Korean Sensors Society
 情報入手:http://www.transducers05.org

(7)ロボティクス・メカトロニクス講演会2005
 開 催 日:2005年06月09日(木) ~ 11日(土)
 開催場所:神戸国際展示場
 主  催:(社)日本機会学会
 情報入手:<http://www.rescuesystem.org/robomec2005/>
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

(8)第6回インテリジェント材料国際会議
The 6th International Conference on Intelligent Materials and Systems (ICIM ’05)
 開 催 日:2005年07月04日(月) ~ 06日(水)
 開催場所:アルカディア市ヶ谷
 主  催:(社)未踏科学技術協会 インテリジェント材料システムフォーラム
 情報入手:<http://www.sntt.or.jp/imf/ICIM'05/ICIM'05_Top.htm>
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

(9)IEEE-NANO2005 (5th IEEE Conference on Nanotechnology)
(第5回IEEEナノテクノロジーに関する国際会議)

 開 催 日:2005年07月11日(月) ~ 15日(金)
 開催場所:Nagoya Congress Center
 主  催:IEEE 他
 情報入手:<http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/IEEE-NANO/>
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

(10)第23回日本ロボット学会 学術講演会
 開 催 日:2005年09月15日(木) ~ 17日(土)
 開催場所:慶應義塾大学日吉キャンパス
 主  催:(社)日本ロボット学会
 情報入手:<http://rsj2005.sd.keio.ac.jp/>
 (財)マイクロマシンセンター 後援

(11)メカトロテック・ジャパン200
5
 開 催 日:2005年10月19日(水) ~ 22日(土)
 開催場所:ポートメッセ名古屋
 主  催:名古屋国際見本市委員会
 情報入手:
 (財)マイクロマシンセンター 協賛

(12)2nd International Symposium on Nanomanufacturing
 開 催 日:2005年11月03日(木) ~ 05日(土)
 開催場所:Daejeon, Korea
 主  催:Nano Research Institute, Korea Institute of Machinery & Materials, BK 21 Institute of         Mechanical Engineering
 情報入手:http://isnm2004.kaist.ac.kr/

(13) SPIE International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart Systems
 開 催 日:2005年12月12日(月) ~ 15日(木)
 開催場所:Sydney, Australia
 主  催:SPIE
 情報入手:http://spie.org/conferences/calls/04/au/


Ⅶ その他会員への情報

1 ロボット3団体合同賀賀詞交換会のご案内

 (社)日本ロボット工業会、(財)製造科学技術センターおよび当センター合同の新年賀交換会が以下のとおり開催されます。
 連絡窓口担当者、運営委員会委員の方々には、既に出席予定者の調査依頼をお願いしております。また、賛助会員の代表者、理事の方々には後日、個別にご案内申し上げます。
 年初ご多忙のことと存じますが、万障お繰り合わせの上ご来臨賜りますようご案内申し上げます。
   日 時 : 平成17年1月13日(木)
                       12:00~13:30
   場 所 : 虎ノ門パストラル 
              新館1階 鳳凰の間 
                   Tel:03-3432-7261


2 年末年始休日のお知らせ

 当センターの年末年始休日は次のとおりです。
      平成16年12月29日(水)~平成17年1月3日(月)
 

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