 
１ 新聞記事
２ ナノテク海外情報（ＮＥＤＯ情報・システム部）
３ 第11回国際マイクロマシンサミット報告
第11回国際マイクロマシンサミットが５月１日から４日まで、アメリカのダラスにおいて、MANCEF（Micro and Nanotechnology
Commercialization Education Foundation）,NIST
(National Institute of Standards and Technology), Zyvex社の共催で、初めてアメリカで開催されました。
参加国は２４カ国で９５名が参加され、日本からは代表５名とオブザーバー４名の計９名が参加しました。
日程・プログラムは以下の通りです。
５月１日：レセプション
５月２日：Country Review
５月３日：(1),Techno-Historical
(2),Institutes and Companies
(3),Strategy
(4),Industry Groups
５月４日：テクニカルツア
５月２日のCountry Reviewでは、２４カ国からマイクロ・ナノ技術に関する政策、教育、産業等の現状や将来についての報告がされました。
日本からは下山 勲主席代表(東京大学教授)が「MEMS Market Trends in Japan」と題して次の内容の発表をしました。日本のMEMSマーケットが2002年4千億円から2010年1兆4千億円と飛躍的に成長する見込みであると報告し、現状は情報通信産業と自動車産業が一千億円以上のマーケットを持っており、これらの産業がMEMS開発を力強く推進している。しかし、バイオテクノロジー、医療福祉、生活等の分野では、百億円レベルでマーケットは小さい。2010年には、社会変化によりマーケットは大きく変貌するものと思われる。それは、情報通信産業や自動車産業以上にゲーム、エンターテイメント、家庭製品等の生活分野において、著しい成長が見込まれる。産業へのMEMS・マイクロマシン技術の貢献度を、さらに高めるためには、今後(1)MEMS+CMOS、(2)MEMS+MEMS（3）MEMS+Nanotechの展開により、FineMEMS開発を推進する必要性があると力説しました。
翌５月３日のTechno-Historicalでは、青柳 桂一代表（当センター専務理事）が「Toward Industrialization
of MEMS／Micromachine Technologies」と題して、当センターのこれまでの取り組み状況と今後の展開について報告しました。内容はマイクロマシンプロジェクト（1991年から2000年まで）、MEMSプロジェクト(2003年から2005年まで)、MEMS-ONEプロジェクト（2004年から2006年まで）、現在計画中の新プロジェクト構想についても説明をした。さらに、ファンドリーネットワークやマイクロマシン展について重視して活動を行っていることも報告された。
Institutes and Companiesのセッションでは日本代表より2件の発表がされた。
下山 敏郎代表（当センター名誉理事長、オリンパス㈱最高顧問）より「Technology Challenge on Capsule Endscope」と題して、オリンパスでのカプセル内視鏡の取組みについて、ビデオを用いたビジュアルな発表でした。
また、尾形 仁士代表（当センター理事、三菱電機㈱、上席常務執行役）からは、「Micro／Nano Technologis at Mitsubishi
Electric Corporation」と題して、三菱電機でのMEMS技術を中心とした「Micro／Nano Technology」の取組みについて発表されました。
５月４日のテクニカルツアは、会場から近いＴＩ社（Texas Instruments）、Zyvex社およびテキサス大学ダラス校を訪問しました。
今回のサミットを通して、ナノテクノロジーの産業化にはMEMS技術がキーであることを改めて認識することができました。
なお、下山 敏郎代表（当センター名誉理事長、オリンパス㈱最高顧問）が、日本の提唱により第１回国際マイクロマシンサミットが京都で開催されて、今回で11回の開催にあたり、サミット開催に多大な貢献をされたとしてサミット事務局より表彰されました。日本代表団として大変喜ばしいことでした。
また、来年2006年の第12回国際マイクロマシンサミットは4月27日から29日の3日間の日程で中国・北京での開催が決まりました。
４ MEMS-ONEの一年を振り返って
MEMS-ONEプロジェクトは、昨年6月30日に第一回目のプロジェクト推進委員会が開催され、プロジェクトの本格的な活動がスタートしました。この委員会には、関係者41名が出席する盛大な発足会となり、本システムの愛称が“MEMS-ONE（MEMS
Open Network Engineering System of Design Tools）”と命名されました。
また、本プロジェクトの活動拠点として、当センター内に「MEMSシステム開発センター」も設置され、事務局の活動もスタートしました。その後、本プロジェクトを構成するプロジェクト推進委員会、ソフトウェア委員会、知識ＤＢ委員会、材料・プロセスDB委員会、普及活動検討委員会、知的財産権委員会の活動が１年を通して活発に行われ、中でもソフトウェア開発に係わる技術的な課題検討をサポートする、ソフトウェア委員会、知識DB委員会、材料・プロセスDB委員会の活動が特に活発でした。
ソフトウェア開発機関では、これらの委員会活動の裏で、プロジェクトで定めたシステム化の目標達成に向けた機能仕様の研究が進められ、研究成果を委員会に諮って、先生方、ファンドリー、ユーザによる議論の結果をフィードバックすることによってMEMS-ONEシステムを構成するソフトウェアの機能仕様がより高度に、より明確にされてきました。平成16年度は、本年3月18日で終了し、委員会の開催回数は延べ27回を数え、機能仕様の決定、普及に向けた各種活動、知的財産保護規定の策定等に関する年度計画を、概ね達成することができました。平成17年度は、前年度の研究成果を基に、ソフトウェアの製作および検証を主体とする研究開発が実施され、後半においては成果発表会やデモの開催を計画しています。
５ 平成16年度・調査研究報告書の完成
(1)MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究報告書
平成16年度に、(社)日本機械工業連合会（日機連）からの委託事業として行っ「MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究」の成果報告書が完成いたしました。
この事業ではMEMSが今後さらに社会に大きく普及、浸透していく際に、産業品や民品として必要となる信頼性評価技術についての調査研究を行いました。
報告書では、まず初めに「MEMSの信頼性評価技術の現状の調査研究」として，(1)可動デバイス分野、(2)センサデバイス分野、(3)実装・トライボロジー分野、(4)材料特性・計測法分野に分類し、各々の分野に対して（1）要求される性能・信頼性、(2)信頼性評価技術の現状、(3)MEMS信頼性調査文献リスト及び分析、(4)調査個票にまとめました。
さらに「MEMSの信頼性評価の課題についての調査研究」では上記４分野毎に、(1)信頼性評価における技術的問題点・課題と(2)改善に向けた提言をまとめました。
最後に「MEMSの信頼性評価の課題についての調査研究」と題して、本調査研究委員会の中で議論した結果を集約しました。
なお、この報告書は賛助会員の窓口担当者宛に５月中旬までに送付いたします。
(2)マイクロ・ナノシステムデバイスに係る加工組立・計測評価・ハンドリング技術の関する調査研究報告書
平成16年度に(財)機械システム振興協会（シス協）のシステム技術開発調査研究の一環として委託を受けて実施した事業「MEMSの信頼性評価技術に関する調査研究」の成果報告書が完成いたしました。
本調査研究事業はナノとマイクロが融合したマイクロ・ナノシステムデバイスを「次世代MEMS」と位置付け、MEMS構造/手段を用いたナノ材料加工組立・計測技術・ハンドリング技術について国内外の実情調査研究を行うとともに、このような技術の社会ニーズを調べ、これを実現する産業応用や製品に必要な基盤技術について調査研究を行い、産学連携での具体的研究対象と内容および体制をとりまとめ、具体的な取り組み方を提言した。
報告書は本編と要旨の２冊にして、初めに「次世代MEMS技術開発への取り組みの必要性」と題して、(1)MEMS技術の産業化への取り組み状況を国内の製品開発の現状と市場、海外のMEMS産業化への取り組み状況を、(2)ナノテクへのこれまでの取り組みでは 、MEMS技術分野およびMEMS/NEMSの将来をにらんだナノテクノロジーの取り組み状況を(3)社会ニーズと課題ではマクロ的なニーズと課題、個別ニーズとMEMSへの期待でまとめた。次に「MEMSファイン化概念」では、次世代MEMSとしてのMEMSファイン化コンセプトとそれが創り出す商品群を展開分野毎にまとめた。その「ファインMEMSの基盤技術」では(1)高集積化技術、(2)ナノ機能発揮技術、(3)その共通製造技術、の3つとした。
最後に「調査研究の今後の課題及び展開」では、この取り組みが国家プロジェクトと必要であるとして、MEMSファイン化を切り口にしてMEMS産業の底上げが今必要であると提言している。
なお、この報告書は賛助会員の窓口担当者宛に5月中旬までに送付いたします。
(3)平成16年度分野別動向調査報告書
マイクロマシン技術の研究開発を効率的に推進し、早期にその普及を図るために、国内外の諸研究機関の研究開発内容や成果に関する最新状況を把握することが必要である。
上記の状況から、国内外の最新かつ詳細な情報を収集・分析し、その技術動向を把握することを目的とし、平成5年度より継続してマイクロマシン技術国内外研究開発動向調査事業を行ってきた。本年度からは、マイクロマシンセンターの調査研究委員会の下に置いた国内外技術動向調査委員会にて活動を行い、分野別動向調査はこの事業の一環として主に国際会議の論文集をもとに、技術分野別に研究開発動向を調査分析したものである。
本年度は、調査の対象として上期にHilton Head 2004の発表分類調査及び口頭発表の分野別発表動向調査を、下期に例年通りMEMS2005の発表分類調査と分野別動向調査を実施した。本報告書は、国内外技術動向調査事業の成果として、上述の内容を平成16年度の分野別動向調査結果としてまとめたものである。
なお、この報告書は賛助会員の窓口担当者宛に5月中旬までに送付いたします。
 
１ MEMS-0NE関係委員会（NEDO委託研究）の動き
(1)第4回普及活動検討委員会の開催
第4回回普及活動検討委員会（委員長：みずほ情報総研株式会社 佐藤淳史氏）が4月14日（木）に開催されました。
今回は平成17年度最初の委員会のため、平成16年度の活動総括および平成17年度の活動計画が議題となりました。平成16年度の活動としては、MEMS-ONE普及に関する調査（市場調査のアンケート・ヒアリング結果、特許調査結果）、「MEMS-ONE」商標登録（登録中）、広宣活動（MEMS-ONEひろば・クラブ開設）に関する報告がありました。平成17年度の主な活動計画として、引続きMEMS-ONE普及に関する調査（ビジネスモデル調査）、広宣活動として成果発表会の開催が予定されています。
(2)第3回知的財産権委員会の開催
第3回知的財産権委員会（委員長：日本ユニシス 前田幸久氏）が4月14日（木）に、第４回普及活動検討委員会に引き続いて開催されました。
今回は平成17年度最初の委員会のため、平成16年度の活動総括および平成17年度の活動計画が議題となりました。平成16年度の活動としては、知的財産権規程および守秘義務覚書の策定が主な検討課題で、守秘義務覚書の同意書に関してはほぼ回収済み、残るは知的財産権規程の承認のみとの報告がありました。平成17年度は、知的財産権規程の見直しを、普及活動検討委員会とも連動させ、今後も必要に応じ改定していく予定です。
(3)第6回知識DB/材料・プロセスDB合同委員会の開催
第6回知識DB委員会（委員長：京都大学 小寺秀俊教授）と第6回材料・プロセスDB委 員会（委員長：産業技術総合研究所 前田龍太郎氏）の合同委員会が4月21日（木）に開 催されました。本委員会が平成17年度の最初の会議となります。
材料・プロセスDB委員会の議事内容としては、材料特性データマップの検討および材料データの取得状況に関する報告等が行われました。
一方、知識DB委員会の議事内容は、先生方に配布した知識データ登録ソフトの利用状況について、報告いただくとともに、利用上の課題等に関する検討が行われました。この検討結果を反映した知識データ登録ソフトを先生方に再送付することになりました。
共通の議題は終了したため、次回の委員会は個別の開催となり、知識DB委員会が6月16日（木）に、材料・プロセスDB委員会が5月27日（金）に行うことが決まりました。
(4)第5回プロジェクト推進委員会の開催
第5回プロジェクト推進委員会（委員長：東京大学 藤田博之教授）が4月26日（火）に開 催されました。
今回は平成17年度最初の委員会のため、機能開発における平成16年度の総括および平成１７年度の計画、委員会における平成16年度の活動総括および平成17年度の活動計画に関する報告が議題となりました。平成16年度の総括については、第4四半期の月間進捗報告および成果要約版等の資料に基づき、各機能の開発責任者および各委員長より実施状況の報告がありました。これらの報告から、本プロジェクトは概ね計画通り進行していることが推測されます。
平成17年度は、ソフト開発が主体となるため、デモ等による早期検証を実施し、より完成度を高めていくとの報告がありました。
次回の開催は、２カ月後の6月23日(木)に予定されています。
 
１ 月例経済報告 （平成17年4月）
（我が国経済の基調判断）
景気は、一部に弱い動きが続いており、回復が緩やかになっている。
・ 企業収益は改善し、設備投資は緩やかに増加している。
・ 個人消費は、持ち直しの動きがみられる。
・ 雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善している。
・ 輸出は弱含み、生産は横ばいとなっている。
先行きについては、企業部門の好調さが持続しており、世界経済の着実な回復に伴って、景気回復は底堅く推移すると見込まれる。一方、情報化関連分野でみられる在庫調整の動きや原油価格の動向等には留意する必要がある。
情報入手：http://www5.cao.go.jp/keizai3/getsurei.html
２ MMC関係の経産省人事異動（平成１７年５月１日付）
（氏名） （新） （旧）
川内拓行 産業技術環境局産業技術政策課 製造産業局産業機械課
川口光風 経済産業政策局地域経済Ｇ 製造産業局産業機械課
地方調整室
山本高稔 製造産業局産業機械課 資源エネルギー庁
石油精製備蓄課
輿水裕樹 製造産業局産業機械課 原子力安全・保安院
原子力安全技術基盤課
 
１ 当センター主催のイベント
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1) 第１６回マイクロマシン展
開 催 日： ２００５年１１月９日（水）～１１日（金）
開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園
(2) 第１１回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
開 催 日： ２００５年１１月１０日（木）
開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号）
２ その他のイベントのお知らせ
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
・ 番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1) DTIP 2005 (Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of
MEMS/MOEMS)
開 催 日： 2005年06月01日(水) ～ 03日(金)
開催場所： Montreux, Switzerland
主 催： Tima, IEEE, etc.
情報入手： http://tima.imag.fr/conferences/Dtip/Dtip2005/
(2) JPCA SHOW 2005
開 催 日： 2005年06月02日(木) ～ 04日(土)
開催場所： 東京ビッグサイト
主 催： 社団法人日本プリント回路工業会
情報入手： http://www.jpcashow.com/
(財)マイクロマシンセンター 後援
(3) Transducers’05 - the 13th International Conference on Solid-State Sensors,
Actuators and Microsystems
開 催 日： 2005年06月05日(日) ～ 09日(木)
開催場所： Seoul, Korea
主 催： Korean Sensors Society
情報入手： http://www.transducers05.org
New
(4) SEMIマイクロマシンセミナー -センサネットワークとMEMSビジネスの将来-
開 催 日： 2005年06月08日(水)
開催場所： グランキューブ大阪（大阪国際会議場）
主 催： SEMIジャパン
情報入手： http://www.semireg.org/ecvm?cmd=item_detail&item_cd
=S0506ASFJ2&category_cd=
(5) ロボティクス・メカトロニクス講演会2005
開 催 日： 2005年06月09日(木) ～ 11日(土)
開催場所： 神戸国際展示場
主 催： （社）日本機会学会
情報入手： http://www.rescuesystem.org/robomec2005/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(6) International Conference on Multi-Material Micro Manufacture (4M)
開 催 日： 2005年06月29日(水) ～ 07月01日(金)
開催場所： Karslruhe, Germany
主 催： EC
情報入手： http://www.4m-net.org/4M_Conference
(7) 第６回インテリジェント材料国際会議 The 6th International Conference on Intelligent Materials
and Systems (ICIM ’05)
開 催 日： 2005年07月04日(月) ～ 06日(水)
開催場所： アルカディア市ヶ谷
主 催： （社）未踏科学技術協会 ｲﾝﾃﾘｼﾞｪﾝﾄ材料ｼｽﾃﾑﾌｫｰﾗﾑ
情報入手： http://www.sntt.or.jp/imf/ICIM'05/ICIM'05_Top.htm
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(8) IEEE-NANO2005 (5th IEEE Conference on Nanotechnology) (第５回IEEEナノテクノロジーに関する国際会議)
開 催 日： 2005年07月11日(月) ～ 15日(金)
開催場所： Nagoya Congress Center
主 催： IEEE 他
情報入手： http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/IEEE-NANO/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
New
(9) Optical MEMS 2005 (IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMs
and Their Applications)
開 催 日： 2005年08月01日(月) ～ 04日(木)
開催場所： Holiday Club Eden, Oulu, Finland
主 催： IEEE, VTT, etc.
情報入手： http://www.vtt.fi/ele/new/omems2005/
(10) COMS2005
開 催 日： 2005年08月21日(日) ～ 25日(木)
開催場所： Baden, Baden, Germany
主 催： Forschungszentrum Karlsruhe and MANCEF
情報入手： http://www.mancef-coms2005.org/
(11) 第２３回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日： 2005年09月15日(木) ～ 17日(土)
開催場所： 慶應義塾大学日吉キャンパス
主 催： （社）日本ロボット学会
情報入手： http://rsj2005.sd.keio.ac.jp/
(財)マイクロマシンセンター 後援
New
(12) MNE 2005 (Micro- and Nano-Engineering 2005)
開 催 日： 2005年09月19日(月) ～ 22日(木)
開催場所： Hofburg Conference Center, Vienna, Austria
主 催： MNE 2005 Organising Committee
情報入手： http://www.mne05.org/
(13) MICRO SYSTEM Technologies 2005
開 催 日： 2005年10月05日(水) ～ 06日(木)
開催場所： Munich, Germany
主 催： Mesago Messe Frankfurt, Fraunhofer IZM,
情報入手： http://www.mesago.de/
(14) μTAS2005 (The 9th International Conference on Miniaturized Systems
for Chemistry and Life Sciences)
開 催 日： 2005年10月09日(日) ～ 13日(木)
開催場所： Boston Marriott Copley PlaceBoston, Massachusetts, USA
主 催： microTAS2005 conference
情報入手： http://www.microtas2005.org/
(15) メカトロテック・ジャパン2005
開 催 日： 2005年10月19日(水) ～ 22日(土)
開催場所： ポートメッセ名古屋
主 催： 名古屋国際見本市委員会
情報入手： http://www.mect2005.com/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(16) IEEE Sensors 2005
開 催 日： 2005年10月31日(月) ～ 11月03日(木)
開催場所： Irvine, California, USA
情報入手： http://ewh.ieee.org/tc/sensors/sensors2005/
(17) 2nd International Symposium on Nanomanufacturing
開 催 日： 2005年11月03日(木) ～ 05日(土)
開催場所： Daejeon, Korea
主 催： Nano Research Institute, Korea Institute of Machinery & Materials,
BK 21 Institute of Mechanical Engineering
情報入手： http://isnm2004.kaist.ac.kr/
(18) SPIE International Symposium Smart Materials, Nano-, and Micro-Smart
Systems
開 催 日： 2005年12月12日(月) ～ 15日(木)
開催場所： Sydney, Australia
主 催： SPIE
情報入手： http://spie.org/conferences/calls/04/au/
(19) MEMS 2006 (the 19th IEEE International Conference on Micro Electro
Mechanical Systems)
開 催 日： 2006年01月22日(日) ～ 26日(木)
開催場所： Lutfi Kirdar Convention and Exhibition Centre, Istanbul, Turkey
主 催： IEEE, IMTEK
情報入手： http://www.imtek.de/anwendungen/mems2006/
 
１ 平成17年度・運営政策小委員会、運営委員会、通常理事会、評議委員会の開催のお知らせ
平成16年度の事業の総括として、運営政策小委員会、運営委員会、通常理事会、評議委員会が下記日程と議事内容で開催されます。
(1),第1回運営政策小委員会
開催日：平成17年5月17日（火） 午後2時より
会 場：当センター会議室
内 容：①,収支決算・予算の推移
②,委員会構成の改正について
③,賛助会員の入退会状況について
(2),第1回運営委員会
開催日：平成17年5月17日（火） 午後3時より
会 場 ：当センター会議室
内 容 ：①,平成16年度事業報告について
②,平成16年度収支決算について
③,平成16年度収支差額の処分について
④,平成17年度小型自動車等機械工業振興事業等の事業計画決定について
⑤,理事の一部変更について
⑥,委員会構成の改正について
⑦,賛助会員の入会について
(3),第1回通常理事会
開催日：平成17年5月26日（木） 午後2時45分より午後3時15分
会 場 ：東京国際フォーラム G608会議室
内 容 ：①,平成16年度事業報告について
②,平成16年度収支決算について
③,平成16年度収支差額の処分について
④,平成17年度小型自動車等機械工業振興事業等の事業計画決定について
⑤,委員会構成の改正について（報告）
⑥, 賛助会員の入会について
⑦,評議員の一部変更について
(4),第1回評議員会
開催日：平成17年5月26日（木） 午後3時30分より午後4時15分
会 場 ：東京国際フォーラム G608会議室
内 容 ：①,平成16年度事業報告について
②,平成16年度収支決算について
③,平成17年度小型自動車等機械工業振興事業等の事業計画決定について
④,委員会構成の改正について（報告）
⑤,理事の一部変更について
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