１ MNE2005報告
31th International Conference on Micro- and Nano- Engineering(MNE2005)が、9月19日（月）から22日（木）まで、ヨーロッパにおける古い都市のひとつオーストリアのウィーン、その旧市街の中心にあるホーフブルグ王宮で開催されました。
MEMS及びナノテクノロジーの世界的な動向について広範囲な調査を行うため、新たにマイクロからナノへの取り組みが見られる31th International Conference on Micro- and Nano- Engineering(MNE2005)に出席することになりました。マイクロからナノサイズのリソグラフィー技術に焦点を置いたこのカンファレンスは、新しいリソグラフィーに係る手法としてのナノインプリンティングについてもプログラムのひとつとして盛り込まれています。
もともとこのカンファレンスの生い立ちは、キーテクノロジーとして半導体技術の歴史とともにあったようで、ムーアの法則の実証として微細化が進みはじめた時期の１９７５年にスタートしています。
今年の参加者数は非公式発表で６００名を越える規模とのことですが、プレゼンテーション計３７４件（オーラル１６６件、ポスター２０８件）で参加者の三分の二が発表者ということになります。特に、３０％が若い研究者だと強調していました。地域別には欧州６１％、米（北・南）１２％、アジアパイフィック２７％とのことで、前回まで発表の分布情報を入手できないので定かではありませんが欧州で開催されたことを差し引いても米の発表の割合は少ないように思われます。また、同時開催として、Micro Nano Photographic コンテストが行われていました。これは、文字通りMicro- Nanoで美しく（？）加工された構造物の写真コンテストで、ユーモアに富んだものが多く出展され、その数は550件に及んでいます。やはり欧州からの応募が多いようでした。
リソグラフィーに関するカンファレンスを標榜していますが、その中身はマイクロナノデバイスファブリケーション、マイクロナノバイオ、ナノデバイスという新しいカテゴリーが144件にのぼっており、どうも関心がそこに向かっているようにみえました。その内容を見ると、マイクロナノそのものの新しい或いはユニークな加工方法を楽しんでいる、マイクロナノ構造物を作ることにイノベーションを感じている人々の集まりのようで、実用性についてはまだこれからという本来のシーズの発表が多かった。そのなかで、ＩＢＭチューリッヒ研のスキャンニング方式のデータストレージデバイスの発表は、次世代高密度記録として、プロトタイプの完成度も高く信頼性評価に近い特性データまで得られていて、実用化の路線にのる報告でした。ハードディスクとフラッシュメモリーの間を狙うコストターゲットを狙うということが印象的でした。そのほか、ナノインプリントの組み合わせによる3次元構造体の加工方法に関し多くの発表があり、MEMSにおける新工法の発芽が見えるようなものでした。
２ 第5回マイクロ・ナノ先端技術交流会が開催される
9月21日（水）15:00～（於：MMC会議室）第５回マイクロ・ナノ先端技術交流会が開催されました。講師は、大阪大学（院）工学研究科機械工学専攻 竹内芳美教授で、「超精密マイクロ切削加工とナノシステムへの応用」について、ご講演いただきました。
参加者は、賛助会員および一般参加者・関係者を含め総勢27名の方々が参加され大盛況のうちに終了いたしました。また、講演後、講演者と参加者との技術交流会が行われ、活発かつ和やかな質疑応答が行われました。
特に今回は、ナノシステムへの応用に関する質問が多数あり、マイクロ・ナノ先端技術交流会の関心の高さが伺えました。
３ MEMS専門用語が国際電気標準会議（IEC）で承認される
マイクロマシン技術が多様な分野に関連するマルチディシプリナリーな技術であるため、異分野間にまたがる研究を、効率的に進めるためには、まず分野を越えたコミュニケーションの基本となる専門用語の語意を明確にすることが必要であるため、平成5年から専門用語の標準化について調査研究を開始し、平成10年にはマイクロマシン技術の要素技術分野および応用分野から特に重要であると考えられる専門用語220語を抽出、整理し、和文と英文とからなる｢マイクロマシン技術専門用語｣をテクニカルレポートとして発行しました。
平成14年にはこのテクニカルレポートから約半数の用語を選び、IEC(International Electrotechnical Commission)に｢MEMS専門用語｣規格として提案しました。4年間にわたる数多くの審議を経て、今春に最終段階のFDIS(Final Draft International Standard)が提出され、投票権を持つオーストリア、中国、チェコ、フランス、ドイツ、イタリー、韓国、オランダ、ポーランド、ルーマニア、ロシア、アメリカ、イギリスおよび日本の14ヵ国による投票の結果、満場一致で承認され、マイクロマシン・MEMS分野では初めての国際規格として認められました。これは10年以上にわたって専門用語の標準化に関ってこられた方々の並々ならぬ努力のおかげであり、これを契機に、マイクロマシン・MEMS関連の標準化活動にさらに拍車を掛けていきたいものです。
１ 第3回産業小委員会の開催
9月29日（木）15:00～（於：MMC会議室）第3回産業小委員会が開催されました。
今回は、MEMS協議会設置についての最終案や第2回懇談会開催準備等についての内容検討を行いました。
前回の産業小委員会で委員より、「産学交流・活性化事業の柱として、特定のテーマに関心を持つ企業メンバーが集まって活動できる研究会を行ってみてはどうか？」などの意見を踏まえて、MEMS協議会の設置についての最終案を固めました。
今後の予定は、本案を10月18日（火）に行われる第2回MEMS懇談会（産業研究会）に提案してご審議いただき、10月25日（火）に開催されます第1回臨時理事会に諮ることとしています。
２ 第2回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会の開催
第2回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会（委員長：産総研 石川雄一氏）が9月22日（木）に産総研つくばセンターにて開催されました。
今年度はMEMSユーザー、MEMSメーカー、大学・研究機関などからのアンケート調査結果をベースに、ニーズに基づいた標準化・規格化を戦略的に行うためロードマップ策定を目的としますが、当日の委員会ではそのニーズ収集手段としてのアンケート調査について、その内容および送付先について合意されました。
当日は、産総研つくばセンターの計測標準部門、先進製造プロセス研究部門の関連研究室の見学も行いました。
３ 第1回材料特性標準化委員会（引張試験）の開催
第1回の材料特性標準化委員会(引張試験)(委員長:国際標準化工学研究所 大和田邦樹氏)が9月26日（月）に開催されました。
今春、IECに提出されました、｢MEMS用薄膜材料の引張試験法｣と「MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片」のCDV(Committee Draft for Vote)の投票が行われ、9月に投票結果が出ました。投票権を持つオーストリア、中国、チェコ、フランス、ドイツ、イタリー、韓国、ポーランド、ルーマニア、ロシア、アメリカ、イギリスおよび日本の13ヵ国による投票の結果、双方のCDVに対しアメリカ以外の12ヵ国が賛成し、承認されました。引張試験法についてはドイツ、アメリカからコメントがあり、標準試験片についてはドイツ、イタリー、アメリカからコメントがあり、この11月に東京で開催されるIEC会議までに回答する必要があり、コメントについて審議しました。
今回、この8月に行われたIECパリ会議の報告がなされ、マイクロマシン・MEMS分野の国際標準化に対する各国の姿勢に変化が認められています。投票結果やコメントから、アメリカは日本の規格案に対し強硬な立場をとるようになりました。また、韓国は昨年のMEMS通則提案に続き、11月のIEC
東京会議ではRF-MEMSスイッチ規格を提案する準備が進められています。さらに、MEMS材料の曲げ試験法や圧縮試験法などの材料試験についても規格案を提出する予定です。韓国の国際標準化活動が急速に活発化しており、MEMS標準化の取組み状況を調査し、その対応を考える必要があります。
４ 第2回マイクロ・ナノ材料の疲労試験に関する標準化調査委員会の開催
第2回マイクロ･ナノ材料の疲労試験に関する標準化調査研究委員会(委員長：東京工業大学 肥後矢吉教授)が9月26日（月）に開催されました。
今回は、IECパリ会議報告、各大学で実施されているラウンドロビンテスト等の進捗状況、提案規格の構成案について審議しました。
IECパリ会議では大和田氏より現在取組み中の疲労試験プロジェクトの報告がなされ、各国より6大学で行われているラウンドロビンテストが高く評価されました。
東京工業大学、名古屋大学、群馬大学、京都大学、兵庫県立大学(今回は資料のみ)で行われているラウンドロビンテストの進捗状況が報告されました。今回、引張試験段階でバラツキがあり、試料を観察すると裏面がポーラスであり、試料の十分な観察と分析が必要なことが指摘されました。また、ラウンドロビンテストと平行して行われている提案規格の構成案が担当の熊本大学高島教授より紹介されました。
５ 第2回普及広報事業委員会の開催
第２回普及広報事業委員会（委員長：オリンパス(株)舘岡斉氏）が10月3日（月）に開催されました。
平成17年度委員会活動の進捗状況及び事業内容の審議結果は以下のとおりです。
1)広報誌の編集・出版
・和文広報誌：第51号、第52号出版済み（Ａ4版、8頁モノクロ）およびホーページへ記載・公開済み。
・英文広報誌：No.51、No.52（和文広報誌の英訳版）ホームページのみ記載・公開済み。
・今年度の広報誌編集計画概略（第53号～第54号）について検討・承認。
2)ホームページの維持・管理
・記載内容の充実を図っている。特に賛助会員の頁の内容を使い易くしました。
3)第16回マイクロマシン展の開催
11月9日～11日に科学技術館（東京・北の丸公園）で開催します。併催の第11回国際マイクロマシ
ン・ナノテクシンポジウムは11月10日に開催します。
現時点（10/3）の出展状況：出展者数；240団体（358小間）
・MEMS-ONE PJ中間成果発表会を11月11日（金）13:00～16:00に科学技術館地下サイエンスホ
ールで開催します。
・出展者プレゼンテーションへの参加
開催日時：平成17年11月9日（水）13:30～16:40
開催内容：ファンドリーサービス産業委員会・関連公設試、及びマイクロマシン連合運営協議会
が活動内容を紹介します。
4)MEMStationの活動状況紹介
MEMSファンドリーサービスの共通依頼窓口として、MEMStationを7月1日よりホームページに新設
し、サ－ビスを開始しました。
5)その他
次回第3回普及広報事業委員会は平成18年2月20日（月）15:00～17:00に開催予定です。
６ 第2回MEMS産業化共同調査研究委員会の開催
第2回MEMS産業化共同調査研究委員会（委員長；オリンパス株式会社 太田 亮氏）が10月7日（金）に開催されました。
今回の委員会では平成17年度実施計画に沿って実施しております以下の項目について協議いたしました。
・ MEMSファンドリー間設計ガイドラインの構想
・ MEMS専門用語の収集、見直し、用語体系化
・ MEMSファンドリーサービスアンケート調査
・ 海外最新動向調査状況
ファンドリーサービスアンケート調査では､その結果を課題抽出・方策提案に活かし、MEMS産業化の加速が期待されます。
７ 第16回ファンドリーサービス産業委員会の開催
第16回ファンドリーサービス産業委員会（委員長：松下電工（株）毛野拓治氏）が10月7日（金）に開催されました。
ファンドリーサービス産業委員会の今年度の事業内容に関する主な議論の概要はつぎの通りです。
(1)ネットワークシステム構築について
①当委員会が行うファンドリーサービスの共通の依頼窓口用ネットワークシステム「MEMStation」の実施状況は以下のとおりです。
・ホームページ上でのMEMStationサービスは7月1日(金)から実施しており、10/6現在までの引き合いは５件でした。本サービスは今後とも継続して行くことに決定しました。
②第16回マイクロマシン展における出展者プレゼンテーションに関する討議・決定事項は以下のとおりです。
・開催日時：11月9日（水）13:30～15:30
・開催場所：科学技術館６階第３会議室
・プレゼン内容：FSIC紹介、松下電工、フジクラ、日立製作所、オリンパス、オムロン、沖電気工業、アルバック、産総研、みずほ情報総研、神奈川県産業技術総合研究所、MEMSパークコンソーシアムの順で、各社10分間（みずほ情報総研のみ５分間）の講演を行うことに決定しました。
(2)MEMS講習会について
①第6回MEMS講習会に関する討議・決定事項は以下のとおりです。
・開催日時：2006年1月19日（木）13:00～17:50～19:00
開催場所：ぱ・る・るプラザ京都（JR京都駅前）、6階会議室Ｄおよび会議室５
・技術相談会で使用する展示パネルは、最大形状A1版で各社２枚以下。
(3)各社の得意技術紹介
①松下電工（株）富井委員から自社の技術紹介が行われました。
(4)その他
①次回第17回ファンドリサービス産業委員会は12月16日（金）14:00～17:30～に開催。
８ MEMS-ONE関係委員会（NEDO委託研究）の動き
(1) 第10回材料・プロセスDB委員会の開催
第10回材料・プロセスDB委員会（委員長：産総研 前田龍太郎氏）が9月27日（火）に開催されました。
今回は、材料・プロセスデータの測定状況、ナノインプリント解析における材料データの取得内容、本プロジェクトで測定しない材料特性データを材料メーカから取得するための手順等について、報告ならびに意見交換が行 われました。また、材料・プロセスデータマップのデータ取得担当を再確認し、本マップに従ったデータの取得･蓄積を活発化していくことになりました。
なお、次回以降は、材料メーカからのデータ取得、材料データの測定および文献収集、データ登録等の状況把握とフォローを中心に進めることとし、開催は11月25日（金）を予定しています。
(2) 第1回業務委員会の開催
平成17年度第1回センター業務委員会が10月6日（木）に開催されました。
本委員会は、「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト（MemsONEプロジェクト）」の業務運営に係る重要事項の議決ならびに当センターとプロジェクト参加企業間の連絡・調整を図ることを目的として設置され たものです。
今回は、本年度第１回目として、MemsONEの進捗状況報告およびセンターの業務運営に係る必要経費（課金）の算定と参加企業別の分担額についての協議を行い、全委員の合意を得ました。
1 第16回マイクロマシン展の開催日せまる
第16回マイクロマシン展は11月9日（水）～11日（金）の3日間、科学技術館において開催します。マイクロマシン・ナノテク技術が広く認められるに伴い、毎回出展希望企業・団体が増加し、今回は特に出展希望小間数が358小間（昨年度実績：352小間）と飽和状態になりました。このため会場の展示ホールを科学技術館1階全フロアーに加えて、2階の1部を大学関連展示ブースとして使用し開催します。
10月4日現在の出展申込状況は、次のとおりです。
第16回マイクロマシン展 第15回マイクロマシン展
出展者数 小間数 出展者数
小間数
(財)マイクロマシンセンター １ ５ １
５
ＭＭＣ賛助会員企業 ９ ２４ １１
２９
一般企業 １９８ ２９３
２０６ ２８６
一般企業（新聞・雑誌社） １０ １１ １０
１１
独立行政法人 １ １
１ １
大学（研究室） １９ ２２ １６ １８
その他（団体） ２ ２ ２
２
総 計 ２４０ ３５８ ２４７
３５２
これからの活動は、次の通りです。
・ガイドブックの作成（10/末）
２ 第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催せまる
第１１回国際マイクロマシン･ナノテクシンポジウムが11月10日（木）に科学技術館サイエンスホールにて開催されます。
今回は、｢新たな産業の創出と発展を牽引するマイクロマシン技術｣をテーマとして掲げ、｢マイクロマシンビジネスの最前線｣のセッションではセイコーエプソン、松下電器産業、米国Analog
Devices社の方々より企業現場からの臨場感のある講演に、｢開花が期待されるマイクロマシン応用｣のセッションでは医療、光、エネルギー、宇宙への研究開発最前線の講演に、｢マイクロマシン技術の最先端｣では材料、加工、計測、信頼性のMEMS研究開発には不可欠な基盤技術の最先端の講演に一堂に会して接することができます。
さらに、MEMS協議会発足に向け、特別セッションとしてパネルディスカッションを行います。MEMSに関る各界の有識者にそれぞれの立場から、MEMS産業を発展させ、わが国の産業および技術の国際競争力を強化し、人々の暮らしを豊かにするためにはどのようにすればよいかということをご意見を伺い、討論を行います。MEMS産業の動向を話して頂くことにより、産業発展の課題を抽出します。企業の立場、外国の例、ジャーナリズムの視点のそれぞれから、さらなるMEMS産業発展のためには何が問題か、今後何をなすべきかを討議します。さらに、各界から見た施策や産業会への要望等を話して頂くことにより、MEMS産業の拡大と新規分野展開の方策を打ち出し、さらにそれを効果的に実行するための仕組み作りやMEMS協議会の役割についても討論を行います。今回のシンポジウムの目玉であり、是非ご期待下さい。
皆様のご来場をお待ちしています。マイクロマシンセンターのホームページよりお申し込み下さい。申込期限は10月28日（金）です。
３ MEMS-ONE中間成果発表会の開催案内
ＭemsONE（MEMS用設計・解析支援システム）開発プロジェクトは、経済産業省／NEDO技術開発機構より受託した３ヵ年（平成１６年度から平成１８年度）プロジェクトです。本プロジェクトでは、最先端の習熟したMEMS研究者・技術者に利用されるのみならず、初心者や経験の乏しい他分野の研究者・技術者であってもMEMSに関する高度な知見やデータをストレスなく利用することが可能なシステムの創出を目標にしています。
今年度はまだシステムの開発途上ですが、MemsONE をMEMS関連技術者により広く知っていただくために、プロジェクト中間期において成果発表会を開催いたします。本成果発表会はマイクロマシン展の場を利用して開催し、MemsONEの機能概要や特徴およびミラーデバイスを例に取った活用方法（デモを含む）について紹介します。また、マイクロマシン展には、MEMSデバイスと解析結果例の展示、パネル展示、パンフレット配布を行います。
現在、MemsONEの普及促進を目的に「MemsONEクラブ」を開設し、クラブ会員を募集中で、会員には開発状況やトピックス、「開発者の声」と題したメッセージ等を配信しています。また、来年度中間期にα版をリリースする予定ですが、要望されるクラブ会員には無償にてご提供する予定です。本発表会においても、クラブ会員を募る予定ですので、興味のあるMEMS関連技術者の方の会員登録をお待ち致しております。
「MEMS用設計・解析支援システム開発プロジェクト」中間成果発表会
目的： MEMS技術者を対象とするMemsONEの機能・特徴・活用方法の紹介
日時： 平成17年11月11日（金）13:00～16:10
場所： 科学技術館サイエンスホール（東京・北の丸公園）
参加： 無料
主催： (財)マイクロマシンセンター MemsONEプロジェクト推進委員会
共催・後援： 未定
＜プログラム＞
13:00-13:05： 主催者挨拶 推進委員会委員長（東京大学
教授） 藤田博之
13:05-13:15： 来賓挨拶 未定
13:15-13:25： 基調講演「MEMSを取り巻く現状」 東京大学
教授 藤田博之
13:25-13:30： プロジェクトの概要 京都大学 教授 小寺秀俊
13:30-13:50： ユーザインターフェースの概要
日本ユニシス・エクセリューションズ(株)
部長 前田幸久
13:50-14:10： 特徴的な解析機能の概要 みずほ情報総研(株)
室長 入江康郎
14:10-14:30： 知識・材料データベースの概要
(独)産業技術総合研究所 主任研究員 高木秀樹
14:30-14:40： 質疑応答
14:40-14:50： 休憩
14:50-15:50： 設計考案からプロセス・マスク設計、動作検証まで
オムロン(株) 主事 森口 誠
松下電工(株) グループ長 毛野拓治
オリンパス(株) グループリーダ 宮島博志
15:50-16:00： 質疑応答
16:00-16:10： 今後のスケジュール、MemsONEひろば／クラブについて
(財)マイクロマシンセンター 専務理事 青柳桂一
４ 日韓中MEMS標準化ワークショップの開催案内
最近、韓国のMEMS関連の国際標準化活動が活発化しています。IECへのMEMS通則提案に続き、11月のIEC 東京会議ではRF-MEMSスイッチ規格を提案する準備が進められています。さらに、MEMS材料の曲げ試験法や圧縮試験法などの材料試験についても規格案を提出する予定です。11月8日から11日の3日間、IEC東京会議が行われ、韓国の関係者が来日されますので、その機会を利用して、IEC会議の前日の11月8日（火）に中国の方々にも参加して頂くことにより、下記のように日韓中ワークショップを開催することになりました。
日韓中MEMS標準化ワークショップ
Japan-Korea-China MEMS Standardization Workshop
目的：日韓中におけるMEMS標準化の取組状況、今後の考え方に関する意見交換
日時：平成17年11月8日（火）13:00～
場所：東京大学情報理工学系研究科秋葉原拠点1301会議室
東京都千代田区外神田１－１８－１３ 秋葉原ダイビル１３F
参加者：
韓国 S-K. Park (SC47EWG1 Convenor, Korea, Kyungpook National University) 他
中国 Yang Yongjun
(Micro/Nano Technology Centre, Hebei Semiconductor Research Institute)
Ciu Bo (Quality standard division, Hebei Semiconductor Research Institute)
日本 標準化委員会関係者、経済産業省、NEDO、MMC賛助会員企業
議事案：
13:00～13:15 挨拶 標準化事業委員会 大山委員長
13:15～14:00 日本 これまでの標準化活動の取組み(仮題)
（国際標準化工学研究所所長 大和田邦樹）
14:00～14:45 日本 薄膜材料の疲労試験法の標準化(仮題)
（東京工業大学教授 肥後矢吉）
14:45～15:00 休憩
15:00～15:45 韓国 （未定）
15:45～16:30 韓国 （未定）
16:30～17:15 中国 "Recent situation of Chinese MEMS development”
(Dr. Yang Yongjun)
17:15～17:30 まとめと閉会挨拶 青柳専務
１ 月例経済報告 （平成17年10月）
内閣府が発表した月例経済報告（平成17年10月）の総論部分は次の通りです。
（我が国経済の基調判断）
景気は、緩やかに回復している。
・企業収益は改善し、設備投資は増加している。
・個人消費は、緩やかに増加している。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善に広がりがみられる。
・ 輸出は持ち直し、生産は横ばいとなっている。
先行きについては、企業部門の好調さが家計部門へ波及しており、国内民間需要に支えられた景
気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要が
ある。
（政策の基本的態度）
政府は、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2005」に基づき、構造改革を加速・拡大する。政府は、日本銀行と一体となって、重点強化期間におけるデフレからの脱却を確実なものとするため、政策努力の更なる強化・拡充を図る。
1 当センター主催のイベント
・詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(１)第１６回マイクロマシン展
開 催 日： ２００５年１１月９日（水）～１１日（金）
開催場所： 科学技術館・東京北の丸公園
(２)第１１回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウムの開催
開 催 日： ２００５年１１月１０日（木）
開催場所： 科学技術館（東京都千代田区北の丸公園２番1号）
２ その他のイベントのお知らせ
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