１ 平成17年ＭＭＣ10大ニュース
(1) MEMS協議会、平成18年4月からの設置が決まる
（財）マイクロマシンセンターは、平成17年10月25日の臨時理事会に於いて、平成18年4月より当センター内に「MEMS協議会」を設置することを決定いたしました。
MEMS協議会は、わが国のMEMS産業発展のため、MEMS関連企業が力を合わせて政策提言や産業交流・活性化事業などを積極的に展開してゆくことにあります。 言い換えますと、MEMSを半導体に次ぐ第2の「産業のコメ」として育ててゆこうとするものです。平成１７年度より、マイクロ・ナノ先端技術交流会の回数（２回→４回）を増やして、産学官の交流を活発化しております。現在、MEMS協議会への参加を呼びかけておりますので、ご関心のある方はMMC事務局までお問い合わせください。
(2) 日韓中ＭＥＭＳ標準化ワークショップの開催など国際標準化活動の加速化
昨年は、｢中国が世界標準を握る日｣といった本が書店に山積みされるなど、標準化活動が話題になりましたが、当センターにおいても国際標準化活動が顕著になりました。
昨年9月には、平成14年に提案しましたMEMS専門用語集が国際規格（IEC62047-1）として初めて採択され、また、MEMS用薄膜材料の引張試験法も最終審議に入り、今年末には採択される予定です。わが国がマイクロマシン/MEMS分野で世界をリードしていることを誇示しました。
11月には、当センターが韓国に呼びかけ、中国を含めたに日韓中MEMS標準化ワークショップを開催しましたが、韓国から一昨年のMEMS通則、昨年のRF-MEMSスイッチに続き、今年は新たに３件の規格提案を行なうことを予告し、国際標準化活動が急速に加速化していることが分りました。今後、海外の規格案への対応策を講ずると同時に標準化活動に対しアジア地域諸国との連携・協力を進める必要があることを改めて認識することができました。これからも各国持ち回りでワークショップを毎年開催することを決めました。
(3) 次世代ＭＥＭＳプロジェクト（高集積･複合MEMS製造技術開発プロジェクト）18年度からスタートへ
昨年度、下山教授（東京大学）を委員長として実施しました「マイクロナノシステムデバイスに係わる加工組立・計測評価・ハンドリング技術に関する調査研究」（財団法人機械システム振興協会より委託）において、高集積化・ナノ機能結合などを主眼とした次世代プロジェクト提案の内容をベースとした「高集積・複合MEMS製造技術開発」が平成18年度経済産業省の国家プロジェクトとして内定されました。
国内製造業強化策の一つとして、基幹部品のポテンシャルの向上に重要な位置を占めるMEMS産業の技術的飛躍に向け、産官学の連携での積極的な取り組みとして多方面から大きな期待が寄せられております。これからテーマ公募が行われることになりますが、MMCとしてもMEMS高度化に向け積極的に提案活動をすすめる予定です。
今後とも、ご指導、ご協力をよろしく御願いいたします。
(4) マイクロマシンサミット（第11回ダラスにて開催）、欧州ミッションなど国際交流活動の進展
マイクロマシンサミット参加や欧州ミッション派遣など国際交流活動に積極的に取り組みました。
各国の代表者がマイクロマシン／MEMSに関する教育、技術動向、政策やトピックス等について現状や将来展望を自由に議論するマイクロマシンサミットは、日本がイニシアティブを取り1995年に第1回 を京都で開催して以来、開催希望国の持ち回りで毎年開催されています。 2005年は5月1日から4日間の米国のダラスで第11回マイクロマシンサミットが成功裏に開催されました。なお、2006年のサミットは、中国の北京で4月27日から29日の3日間開催される予定です。
また、わが国のファンドリーサービスネットワーク発展、及びMEMS産業推進に資することを目的に、2005年11月21日から25日にかけて欧州調査団を派遣し、MEMSの事業立ち上げに成功している企業（Robert
Bosch, X-FAB Semiconductor Foundries, STMicroelectronics）や研究機関（VTT
Technical Research Centre of Finland）を訪問し、活発な意見交換を行ってきました。さらに欧州を中心に165の会員企業を有する協会IVAMを訪問し連携協力関係を強化することとしました。
(5) 第16回マイクロマシン展（第11回国際マイクロマシン・ナノテクシンポジウム併催）の入場者数が過去最高
第１６回マイクロマシン展は2005年11月9日～11日の３日間、東京・北の丸公園の科学技術館において開催されましたが、総入場者数（9,098名）および出展者数（259企業・団体）共に過去最高の賑わいとなりました。近年のマイクロマシン・MEMS産業の着実な進展を反映しているものと思われます。2006年は科学技術館の会場が狭小になったことから、東京国際フォーラムに会場を移して11月7日～11月9日に開催することとしております。また、マイクロマシン展と同時開催の第11回国際シンポジウムは、｢MEMS産業の発展を目指して｣、｢マイクロマシンビジネスの最前線｣、｢開花が期待されるマイクロマシン応用｣、｢マイクロマシン技術の最先端｣の各セッションにおいて講演やパネル討論が行われ、300名をも超える大勢の方々に参加していただきました。
(6) 夏期クールビズ運動に協力、省エネルギーに貢献
環境省、経済産業省の要請を受けて、当センターではクールビズ運動を展開しました。温度設定28℃、ノーネクタイ、ノー上着、昼休みの消灯等を実施して、クールビズの名前のとおり新しいビジネススタイルが生まれました。
更に冬季に入りウォームビズ運動も展開し、室温20℃、寒い時は着るを原点に展開をしております。当センターへお越しの説は、ご協力をお願い致します。
(7) MEMSファンドリーネットワークの拡充
MEMS技術の産業化を進めるために平成15年7月に発足したファンドリーサービス産業委員会は、順調に活動を推進しています。MEMSファンドリーサービスの初心者にも優しい窓口業務として、平成17年7月に「MEMStation」(メムステーション)をホームページ上に開設し、活動を開始しました。さらに、MEMSファンドリーサービスの拡大・強化を図るため、ネットワークシステム構築についても検討を活発に進めており、国内のファンドリー公的機関へもネットワークを拡大しました。また、当FSICの合同広報活動の一つとして関東（東京）と関西（京都）で年２回交互に開催している初心者・中級者を対象としたMEMS講習会も、第４回、５回と回を重ねてきましたが、MEMSに対する関心の高さから毎回参加者増で盛況でした。毎回活況を呈して来ております。また、FSICの活動内容を広く知って頂くためにホームページ（http://fsic.mmc.or.jp）のさらなる充実を図っています。
(8) 二年目に入ったMEMS-ONEプロジェクト順調に進展
NEDO技術開発機構から受託のMEMS-ONE開発プロジェクトは本年度新たに加速財源テーマ「ナノインプリント加工・解析システムの開発」の採択をいただき、機能のさらなる充実に努めてきました。開発途上ではありますが昨年11月にマイクロマシン展に平行して中間発表会を開催したところ、200名以上の参加を得たことから、産業界での期待が大きいことを確信しました。開発完了後の普及を促進するために、活動基盤としてのMEMS-ONEクラブを発足させ、活動を開始しました。またMEMS-ONE開発プロジェクトのシステム名をMemsONE（メムスワン）として商標登録し、普及活動の加速に役立てることに致しました。
(9) MMCの情報インフラの整備進む
会員の皆さんの役立つデータベースを広く公開するために、ホームページの改定、最新情報への更新をしてまいりました。また、コンテンツを増やすことで、より多くの方々当センターの活動報告やイベント案内等も実施してまいりました。
11月からは、光ファイバーによる無線LANを当センター内に設置して、会議等で来訪される委員の方々にも利用できるようになり、これからも一層のサービス体制を整備してまいります。
(10) 秋葉原再開発によりMMC立地状況が格段に好転
JR秋葉原駅周辺の青果市場の跡地からＪＲの線路を挟んだ昭和通りにかけて、31階建のダイビル、22階建のUDXビル（建設中）、９階建のヨドバシAkibaビルが建設されました。ダイビルには既に東京大学（院）や産総研、エレクトロニクスメーカーなどのIT関係の各部門等が進出して来ています。又、8月24日には「つくばエクスプレス」が開通し、筑波研究学園都市とは45分で結ばれました。その開通に合わせるように、売り場面積日本一を誇る「ヨドバシカメラマルチメディアAkiba」が開店し、電気街との相乗効果もでて、若者を中心にこれまで以上に多くの人が集まるようになりました。まさに、「消費の街」から情報・電機・通信を中心に「創造・生産・消費の街」に変貌しつつあります。マイクロマシンセンターもJR秋葉原駅（昭和通り口）徒歩３～４分の場所にあり、当センター事業の柱の一つでもある産業交流や産学官連携事業を推進するうえで、立地条件が各段に向上しました。このフォローの風を背に受けて、さらなるマイクロマシン技術/MEMSの確立と展開を図って行くつもりです。そして近い将来、産学官連携をベースとしたIT/MEMSの拠点＆産業交流の拠点Akibaとなることを確信しています。
２ 第6回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催
第6回マイクロ・ナノ先端技術交流会は、平成17年12月21日(水)15:00～（於：ＭＭＣ会議室）下山 勲教授（東京大学大学院情報理工学系研究科知能機械情報学専攻）を講師にお招きして、ご講演いただきました。演題は、「SAM(Self-Assembled
Monolayer)機能利用MEMS」で、参加者はMMC賛助会員企業等で30名の方々が聴講されました。その後、技術相談及び交流会が行われ、マイクロ・ナノ融合技術等についての質疑応答や意見交換が活発に行われ有意義な交流会となりました。
師走の多忙な時期にもかかわらず、マイクロ・ナノ先端技術交流会にご参加いただきありがとうございました。
１ 第5回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会の開催
第5回MEMSにおける規格化戦略に関する調査研究委員会（委員長：産総研 石川雄一氏）が12月20日（火）、東京国際フォーラムにて開催されました。 当日は下記４分科会毎に、調査対象の規格項目を最終決定するとともに、それら項目について、関連する既存規格、および文献をもとに現状の技術レベル、規格化のための課題、などについて討議がされました。
【微小計測分科会】（兵庫県立大 生津先生）
① 1軸方向の微小力計測方法
② 1軸方向の微小力校正方法
③ 1軸方向の微小変位計測方法
【材料分科会】 （熊本大 高島先生）
① 薄膜の残留応力(歪）の計測法
② 薄膜弾性率の計測法
③ 薄膜と基板の密着強度計測法
【パッケージ分科会】（産総研 高木先生）
① 封止性能の評価法
② ウエハ接合の強度評価法
【デバイス分科会】 （東北大 佐々木先生）
① センサ関連をピックアップ、最終的に整理
今後は引き続き分科会ごとの調査活動を行い、先のアンケート結果から得られたニーズの高い標準化・規格化項目に関する現状技術の調査と今後の課題・提言を中心に今年度報告書としてまとめていくことで了承されました。
２ 第3回MEMS産業化共同調査委員会の開催
第３回MEMS産業化共同調査研究委員会（委員長；オリンパス株式会社 太田 亮氏）が12月22日（木）に開催されました。
今回の委員会では平成17年度実施計画に沿って実施しております項目について以下のように協議いたしました。
（１）MEMSファンドリー間設計ガイドラインの構想
・MEMSファンドリー機能強化のため初心者ユーザーに対し設計ガイドラインを設けること狙いとし、参加企業保有の“枯れた技術資産”をいかにガイドラインに反映するかを討議されました。今後はプロセス・材料別のサンプルデータを作成し、次年度も継続して実施されることが決定されました。
（２）MEMS専門用語の収集、見直し、用語体系化
・昨年度実施した「MEMS関連用語：FSIN委員会各社のホームページより抽出した専門用語リスト」，及び平成10年度編纂の「マイクロマシン技術専門用語」から用語を抽出し，電子ファイル化した内容が紹介されました。今後の用語の拡充については次回の委員会で決定される予定です。
（３）MEMSファンドリーサービスアンケート調査
・アンケート回答内容の集計の中間報告がされました。今後、回答内容を反映した提言による産業化推進が期待されます。
（４）海外最新動向調査報告
・11月に実施された欧州の企業・機関訪問調査の結果が報告されました。
・概要は先月号のMMCニュースに “ヨーロッパのMEMS事情”として紹介されています。訪問先は以下の6カ所です。
・VTT Information Systems（フィンランド）
・X-FAB社（ドイツ）
・BOSCH社（ドイツ）
・iVAM（ドイツ）
・MST.factory（ドイツ）
・STマイクロシステム社（イタリア）
次回第4回MEMS産業化共同調査委員会は平成18年3月17日（金）9:30～13:00開催予定です。
３ 第17回ファンドリーサービス産業委員会の開催
第17回ファンドリーサービス産業委員会（委員長：松下電工（株）毛野拓治氏）が12月22日（木）に開催されました。
ファンドリーサービス産業委員会の今年度の事業内容に関する主な議論の概要はつぎの通りです。
（１）ネットワークシステム構築について
(ⅰ)MEMStationの活動状況
ファンドリーサービスの共通依頼窓口用ネットワークシステム「MEMStation」の実施状況は以下の
とおりです。
・ホームページ上でのMEMStationサービスは7月1日（金）から実施しており、12月20日現時点で
12件受付し、10件は委員企業で対応済み、２件は対応不可能でＭＭＣよりその旨回答した。引き
合い件数は２件／月の割であり、本サービスは今後とも継続して行くことに決定しました。
(ⅱ)ネットワーク拡大
海外のMEMSファンドリーへの対応について討議した結果は以下のとおりです。
・（独）IVAMから要望されているハノーバーメッセ(4/24～28開催)にMMCとして１小間程度出展し、
当委員会から2名参加・協力することに決定しました。詳細は今後詰める予定です。
・第17回マイクロマシン展〔H18/11/7(火)～9(木) 〕へのIVAM登録企業の参加希望については、
MMCが中心となって具体的プロセスを提案します。また、日本企業とのビジネスミーティング希望
については、JETOROの協力が得られることになっています。
（２）第16回マイクロマシン展及びプレゼン結果について
マイクロマシン展及び出展者プレゼンテーション結果に関する討議・決定事項は以下の通りです。
・第16回マイクロマシン展結果：11月9日(水)～11日(金) 科学技術館
総入場者数：9,098名、出展者数：259団体（362小間）とも過去最大で、科学技術館では容量的に
は飽和状態となっています。次回第17回は開催場所を東京国際フォーラム
〔H18/11/7(火)～9(木) 〕に変更予定です。
・出展者プレゼンテーション結果：今回は発表時間を倍の2時間に増やし、ネットワーク拡大を目的
にファンドリー関連の国内公的機関によるプレゼンを追加した。また、昨年度と同様、マイクロマシ
ン連合と連続してプレゼンテーションを行った。（プレゼン参加者：FSIC:93名、連合:64名）
（３）第６回MEMS講習会について
第６回MEMS講習会に関する討議・決定事項は以下のとおりです。
・開催日時：2006年1月19日（木）13:00～17:50～19:00
・開催場所：ぱ・る・るプラザ京都（JR京都駅前）６階会議室Ｄ及び会議室５
＊講習会の内容を現在の初心者・中級者向けから中級者向けに変更することを検討する。
＊技術相談会を従来どおり講習会の中間で行うが、今回講演しない委員企業も必ず技術相談会
には出席し、参加者に対応する。
（４）MEMS講習会資料のMemsONE知識データベースへの登録について
MemsONE開発センターの廣部センター長より、実施済みMEMS講習会資料のMemsONE知識データ
ベースへの登録に関する説明と依頼があり、継続して検討することに決定しました。
（５）各社の得意技術紹介
（株）日立製作所の小出委員から自社の技術紹介が行われました。
（６）その他
次回第18回ファンドリサービス産業委員会は3月17日（金）14:00～17:30～に開催します。
４ MEMS-ONE関係委員会（NEDO委託研究）の動き
(1) 第13回ソフトウェア委員会の開催
平成17年12月12日（月）に第13回ソフトウェア委員会（委員長：オリンパス
三原孝士氏）が開催されました。
議題は前回に引き続き、「プロセス逆問題解析デモ」および「フレームワークソフトの部分機能デモ」が実施されました。この機能検証デモにおいて活発な意見交換が行われ、幾つかの改善点が提起されました。これらの改善点は、システムの品質向上に向け、反映を検討していくこととしました。
その他、今年度の集大成となる総合デモを合宿形式により、2月28日～3月1日に名古屋で開催することを確認し、この合宿でのデモ内容や方法について議論がなされました。
次回は1月17日（火）に開催し、「ナノインプリント解析の開発状況」と「検証デバイス製作状況」の確認が議題となる予定です。
(2)第10回知識DB委員会の開催
平成17年12月26日（月）に第10回知識DB委員会（委員長：京都大学 小寺秀俊教授）が開催されました。
議題は今回も、知識データの入力およびデータベースシステムの開発に関する進捗確認が重点に実施されました。現在までの知識データ入力実績は150件となっていますが、十分ではなく、今後一層データ入力を活発化していくことになりました。
また、これまでにMMCで開催した講習会資料等の知識データ化、本知識データベースと他の知識データベースの統合化についても議論されました。
次回は2月28日（火）に名古屋で開催されるソフトウェア委員会と同会議室において、ソフトウェア委員会の前に開催が予定されています。
１ 第6回MEMS講習会の開催
当センターファンドリーサービス産業委員会では、MEMS産業の裾野を広げ、その発展を促進するために初心者・中級者を対象に、下記のとおり第5回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」を開催いたします。積極的なご参加をお願い致します。なお、賛助会員企業の連絡窓口担当者には既に別途ご案内を差し上げてあります。
第６回MEMS講習会「MEMSの設計・加工技術と応用例」
◇日 時：2006年1月19日（木）13:00～17:50～19:00
◇場 所：ぱ・る・るプラザ京都（JR京都駅前）６階会議室Ｄ及び会議室５
〒600-8216 京都市下京区東洞院通七条下ル東塩小路町676番13
TEL：075-352-7444（代表）
地図URL: http://fsic.mmc.or.jp/mems-koshu/koshu-6/map_kyt.gif
◇参加費：8，000円 参加費には講習会資料と懇談会費が含まれます。
参加費は当日、受付でお支払い下さい。（領収書をご用意します。）
◇定 員：１００名 （定員になり次第、締切りさせて頂きます。）
◇参加申込：このメール最終部分の申込欄に必要事項をご記入の上、
メール又はFAXにてご送信ください。
◇問合せ先：〒101-0026東京都千代田区神田佐久間河岸67 MBR99ビル ６階
財団法人マイクロマシンセンター
ファンドリーサービス産業委員会講習会担当（織田、酒向）
TEL 03-5835-1870, FAX 03-5835-1873
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ プログラム ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第６回ＭＥＭＳ講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」
13:00 主催者挨拶
青柳 桂一 （財団法人マイクロマシンセンター 専務理事）
13:10 新産業創出のキーとなるＭＥＭＳテクノロジー
杉山 進 （立命館大学理工学部 教授）
14:00 光ＭＥＭＳ（マイクロミラーデバイス）の設計技術
宮島 博志 （オリンパス(株) 研究開発センター ＭＥＭＳ事業推進部
グループリーダー）
14:35 ＭＥＭＳ加工技術（半導体プロセス～機械加工）
高橋 敏幸 （オムロン(株) セミコンダクタ統括事業部
ＭＥＭＳ事業部
グループリーダー）
荒井 剛 （オムロン(株) エンジニアリングセンター グループリーダー）
15:10 ドライエッチングの基礎
林 俊雄 （(株)アルバック 半導体技術研究所 第１研究部 部長）
15:45～16:15
技術相談会（各社パネル展示説明）及び休憩
16:15 ＭＥＭＳ応用例(1) 非シリコンＭＥＭＳとその用途
飛永 芳一 （(株)ナノデバイス・システム研究所 取締役CTO）
16:50 ＭＥＭＳ応用例(2) バイオＭＥＭＳ・ナノテクノロジーの医療応用
馬場 嘉信 （名古屋大学大学院 工学研究科 化学・生物工学専攻 教授）
17:30 ファンドリーサービス産業委員会活動紹介
毛野 拓治 （松下電工(株) 生産技術研究所 高度ＭＥＭＳ開発センター
グループ長）
---- 休憩 17:50～18:00 ----
18:00～19:00 懇談会 （６階会議室５）
◆ 参加申込
下記に必要事項をご記入の上、E-メール又はFAXにてご送付ください。
E-mail: mems-ws@mmc.or.jp / FAX: 03-5835-1873
http://fsic.mmc.or.jp/mems-koshu/koshu-6/koshu-6.html
====== お申込は下記の申込欄のみをご返信下さい。========
◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇ 参加申込み欄 ◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇◇
第６回ＭＥＭＳ講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」参加申込
申込者氏名：
氏名フリガナ：
会社・団体名：
所属部署：
役職：
勤務先〒番号：
勤務先住所：
TEL：
FAX：
E-mail：
◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆◇◆
２ 第７回マイクロ・ナノ先端技術交流会の開催
第7回マイクロ・ナノ先端技術交流会が下記のとおり開催されます。参加申し込みは、当センターホームページより行っておりますのでよろしく御願いします。
記
開催日時：平成１８年２月１６日（木）15:00～17:00～18:30
開催場所：（財）マイクロマシンセンター 会議室
〒101-0026 東京都千代田区神田佐久間河岸６７
MBR99ビル ６階
TEL:03-5835-1870 FAX:03-5834-1873
講 師： 香川大学 工学部 知能機械システム工学科
橋口 原 教授
講演題目： 「MEMSによる機能化プローブ技術」
開催案内先 ＭＭＣ賛助会員企業等
参 加 費 賛助会員 １,０００円 / 人
一 般 ５,０００円 / 人
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技術交流会プログラム
15:00～ 主催者挨拶
（財）マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一
15:10～ ご講演
「MEMSによる機能化プローブ技術」
17:00～18:30 技術相談及び交流会
１ 月例経済報告 （平成17年1２月）
内閣府が発表した月例経済報告（平成17年1２月）の総論部分は次の通りです。
（我が国経済の基調判断）
景気は、緩やかに回復している。
・企業収益は改善し、設備投資は増加している。
・個人消費は、緩やかに増加している。
・雇用情勢は、厳しさが残るものの、改善に広がりがみられる。
・輸出、生産は持ち直している。
先行きについては、企業部門の好調さが家計部門へ波及しており、国内民間需要に支えられた景気回復が続くと見込まれる。一方、原油価格の動向が内外経済に与える影響等には留意する必要がある。
（政策の基本的態度）
政府は、「経済財政運営と構造改革に関する基本方針2005」に基づき、構造改革を加速・拡大する。12月６日、「平成18年度予算編成の基本方針」を閣議決定した。
政府は、日本銀行と一体となって、重点強化期間におけるデフレからの脱却を確実なものとするため、政策努力の更なる強化・拡充を図る。
２ 平成18年度産業技術関連予算案の概要
経済産業省産業技術環境局は、平成１８年度産業技術関連予算案の概要についてホームページ上に発表しましたのでお知らせします。
情報入手 http://www.meti.go.jp/press/20051224001/5-set.pdf
３ 第3次科学技術基本計画の答申
平成１７年１２月２７日総合科学技術会議は、内閣総理大臣の諮問に対して「科学技術に関する基本政策について」の答申を行った。答申の中で、第３期基本計画の理念と政策目標、基礎研究の推進、人材育成・確保・活躍の促進等が掲げられています。
情報入手 http://www8.cao.go.jp/cstp/output/toushin5.pdf
1 当センター主催のイベント
詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
(1) 第６回MEMS講習会「ＭＥＭＳの設計・加工技術と応用例」
開 催 日： ２００６年１月１９日（木） 13:00～17:50～19:00
開催場所： ぱるるプラザ京都（JR京都駅前）６階
(2) 第7回マイクロ・ナノ先端技術交流会開
開 催 日 ： ２００６年２月１６日（木） 15:00～17:00～18:30
開催場所： （財）マイクロマシンセンター 会議室
講 師： 香川大学 工学部 知能機械システム工学科
橋口 原 教授
講演題目： 「MEMSによる機能化プローブ技術」
２ その他のイベントのお知らせ
詳細は当センター調査研究部にお問い合わせ下さい。Tel : 03-5835-1870
番号上にNew の表示のあるイベントは、今回新規掲載分。
(1) MEMS 2006
(the 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
開 催 日： 2006年01月22日(日) ～ 26日(木)
開催場所： Lutfi Kirdar Convention and Exhibition Centre, Istanbul, Turkey
主 催： IEEE, IMTEK
情報入手： http://www.mems2006.org/
New
(2) Photonics Europe 2006
開 催 日：2006年04月03日(月) ～ 07日(金)
開催場所：Strasbourg, France
主 催：SPIE Europe
情報入手：http://spie.org/conferences/calls/06/epe
(3) センサエキスポジャパン 2006 (旧名称：センサ総合展)
開 催 日：2006年04月05日(水) ～ 07日(金)
開催場所：有明・東京ビッグサイト
主 催：ﾌｼﾞｻﾝｹｲﾋﾞｼﾞﾈｽｱｲ(日本工業新聞社)
情報入手： http://www.business-i.jp/event/sensor
(財)マイクロマシンセンター 後援
New
(4) International Workshop on Waferbonding for MEMS Technologies
開 催 日：2006年04月09日(日) ～ 11日(火)
開催場所：Halle, Germany
主 催：IWM, etc.
情報入手：http://www.microtesting.de/
New
(5) 第26回 2006モータ技術シンポジウム
開 催 日：2006年04月20日(木) ～ 22日(土)
開催場所：日本コンベンションセンター (幕張メッセ）
主 催：（社）日本能率協会
情報入手：http://www.jma.or.jp/TF/
(財)マイクロマシンセンター 協賛
(6) HANNOVER MESSE - MicroTechnology 2006
ハノーバー・メッセ2006 『マイクロテクノロジー』
マイクロシステムズ及びナノ応用技術専門見本市
開 催 日：2006年04月24日(月) ～ 28日(金)
開催場所：Hannover Messe(ハノーバ国際見本市会場）, Germany
主 催：Deutsche Messe AG
情報入手： http://www.hannovermesse.co.jp/
http://www.hannovermesse.de/
New
(7) DTIP 2006
(Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS)
開 催 日：2006年04月26日(水) ～ 28日(金)
開催場所：Stresa, Lago Maggiore, Italy.
主 催：
情報入手：http://tima.imag.fr/conferences/dtip
(8) ロボティクス・メカトロニクス講演会2006 (ROBOMEC 06 早稲田)
開 催 日：2006年05月26日(金) ～ 28日(日)
開催場所：早稲田大学理工学部 大久保キャンパス
主 催：（社）日本機械学会
情報入手： http://www.rt-coe.waseda.ac.jp/robomec2006/
(財)マイクロマシンセンター 後援
(9) JPCA SHOW 2006
開 催 日：2006年05月31日(水) ～ 06月02日(金)
開催場所：東京ビッグサイト
主 催：社団法人日本電子回路工業会
情報入手： http://www.jpcashow.com/show2006/index.html
(財)マイクロマシンセンター 後援
(10) 第24回日本ロボット学会 学術講演会
開 催 日：2006年09月14日(木) ～ 16日(土)
開催場所：岡山大学 津島キャンパス
主 催：（社）日本ロボット学会
情報入手： http://rsj2006.sys.okayama-u.ac.jp/
(財)マイクロマシンセンター 後援
１ ロボット3団体合同賀賀詞交歓会のご案内
（社）日本ロボット工業会、（財）製造科学技術センターおよび当センター合同の新年賀交歓会が以下のとおり開催されます。
年初ご多忙のことと存じますが、万障お繰り合わせの上ご来臨賜りますようご案内申し上げます。
日 時 ： 平成１８年1月１８日（水）
１２：００～１３：３０
場 所 ： 虎ノ門パストラル
新館1階 鳳凰の間
Tel：０３－３４３２－７２６１
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