静電リニアアクチュエータ 【せいでんりにああくちゅえーた:Electrostatic linear actuator】 0301211-51

【定 義】 静電力を利用して直線運動を発生するアクチュエータ。

【解 説】 回転駆動力を発生する静電モータの開発に引き続き、直線駆動力を発生する静電リニアアクチュエータの開発も多く行われている。 試作例としては、短冊状電極を有する平板とその上に置かれた円筒電極からなり、可動部に転がり運動をさせる可変ギャップ型リニアアクチュエータ等がある。 また、高抵抗体上の誘導電荷による静電反発力を利用し、移動子を順次シフトさせるフィルム型リニアアクチュエータも試作されている。 このアクチュエータは大面積化が容易であり、異なった方向の複数の組の電極を用いることにより、3自由度駆動(2軸の並進と回転運動)も可能となる。

【参考資料】 (4)(6)

【関連用語】 アクチュエータ静電モータリニアアクチュエータ