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| ［MEMSセンシング＆ネットワークシステム展の会場］ |
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2022年度(2023年2月1日～3日） |
＠東京ビッグサイト |
40,170人 |
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 開催報告 （nanotech展等14展示会同時開催） |
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2021年度(2022年1月26日～28日） |
＠東京ビッグサイト |
23,306人 |
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開催報告 （nanotech展等13展示会同時開催） |
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2020年度(2020年12月9日～11日） |
＠東京ビッグサイト |
22,704人 |
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開催報告 （nanotech展等14展示会同時開催） |
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2019年度(2020年1月29日～31日） |
＠東京ビッグサイト |
47,692人 |
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開催報告 （nanotech展等15展示会同時開催） |
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2018年度(2018年10月17日～19日） |
＠幕張メッセ |
28,660人 |
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開催報告 （InterOpto及びCEATECと同時開催） |
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2017年度(2017年10月4日～6日） |
＠幕張メッセ |
4,619人 |
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開催報告 （InterOpto及びCEATECと同時開催） |
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2016年度（2016年9月14日～16日） |
＠パシフィコ横浜 |
7,716人 |
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開催報告 （InterOpto との同時開催） |
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2015年度（2015年4月22日～24日） |
＠パシフィコ横浜 |
15,714人 |
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オフィシャルガイド 開催報告 （OPIE との同時開催） |
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2014年度（2014年4月23日～25日） |
＠パシフィコ横浜 |
18,237人 |
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オフィシャルガイド 開催報告 （OPIE との同時開催） |
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2013年度（2013年7月3日～5日） |
＠ビッグサイト横浜 |
9,673人 |
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| （マイクロマシン／MEMS展 ＆ROBOTECH） |
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第23回（2012年7月11日～13日） |
＠東京ビッグサイト |
10,985人 |
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（マイクロナノ2012 の一環として開催） |
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第22回（2011年7月13日～15日） |
＠東京ビッグサイト |
12,861人 |
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（マイクロナノ2011 の一環として開催） |
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第21回（2010年7月28日～30日） |
＠東京ビッグサイト |
14,040人 |
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（マイクロナノ2010 の一環として開催） |
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＠東京ビッグサイト |
12,247人 |
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（マイクロナノ2009 の一環として開催） |
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＠東京ビッグサイト |
14,075人 |
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（マイクロナノ2008 の一環として開催） |
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第18回（2007年7月25日～7月27日） |
＠東京ビッグサイト |
12,424人 |
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（マイクロナノ2007 の一環として開催） |
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第17回（2006年11月7日～9日） |
＠東京国際フォーラム |
11,736人 |
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（マイクロナノ2006 の一環として開催） |
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第16回（2005年11月9日～11日） |
＠科学技術館 |
9,098人 |
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第15回（2004年11月10日～12日） |
＠科学技術館 |
8,213人 |
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第14回（2003年11月12日～14日） |
＠科学技術館 |
8,793人 |
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