| ｢マイクロナノ2009｣ 2009/07/30 (Thu) 13:15 - 17:00 マイクロナノ2009特設会場B |
BEANSプロジェクトセミナー
主催 (独)新エネルギー･産業技術総合開発機構(NEDO)/技術研究組合 BEANS研究所 |
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平成20年度から5年間の計画でスタートした｢異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト(BEANSプロジェクト)｣の概要と，BEANSプロジェクトが目指す革新的次世代デバイス創出に必要な基盤的プロセス技術の展望についてご紹介します
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| 司会 技術研究組合 BEANS研究所 副所長 竹井 裕 |
| 13:30-13:15 |
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主催者挨拶 |
| (独)新エネルギー･産業技術総合開発機構 理事 上原 明 |
| 13:15-13:25 |
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開催挨拶 |
| 技術研究組合 BEANS研究所 所長 (BEANSプロジェクトPL) 遊佐 厚 |
| 13:25-13:55 |
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MEMSの展望とBEANSプロジェクトへの期待 |
| 東北大学 教授 江刺 正喜 |
| 13:55-14:25 |
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MEMS市場･技術最新動向 |
| 日経マイクロデバイス 副編集長 三宅 常之 |
| 14:35-14:55 |
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BEANSプロジェクトの構想と意義 |
| 東京大学 教授 (BEANSプロジェクトSPL) 藤田 博之 |
| 14:55-15:15 |
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ハイドロゲルビーズで包む，埋め込む，組み立てる |
| 東京大学 准教授 (Life BEANSセンター長) 竹内 昌治 |
| 15:15-15:35 |
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有機ナノ構造体の創製~有機半導体の飛躍的な性能向上を目指して~ |
| 九州大学 教授 (Life BEANS 九州センター長) 安達 千波矢 |
| 15:35-15:55 |
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ナノギャップを埋める超臨界製膜技術 |
| 東京大学 准教授 (3D BEANSセンター長) 杉山 正和 |
| 15:55-16:15 |
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超低損傷･中性粒子ビームエッチング技術 |
| 東北大学 教授 寒川 誠二 |
| 16:15-16:35 |
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マイクロ･ナノ加工技術の宇宙用赤外センサへの応用 |
| 立命館大学 教授 (BEANSプロジェクトSPL) 木股 雅章 |
| 16:35-16:55 |
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Macro-BEANSのメーター級大面積高機能デバイス実現化戦略 |
| (独)産業技術総合研究所ネットワークMEMS研究グループ長 (Macro BEANSセンター長) 伊藤 寿浩 |
| 16:55-17:00 |
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閉会挨拶 |
| (財)マイクロマシンセンター 専務理事 青柳 桂一 |
