2010年代に入り、従来からのMEMS産業化の推進とともに、センシング＆ネットワーク/IoT基盤技術技術の開発や超スマート社会実現のための活動を行っています。 MEMS産業化を支援する重要な施策としてMEMS協議会にて数年来検討を進めてきたMEMSデバイスの設計・試作拠点づくりについて、TIA（つくばイノベーションアリーナ）事業と連動しつつ、産学連携によるイノベーション実現の場を提供するものとして2011年4月MNOIC（マイクロナノオープンイノベーションセンター）が発足しました。
また、公益法人制度改革への対応としてMMCはセンター活動に柔軟性や機動力を高めるべく、2011年4月に一般財団法人に移行しました。
先端技術開発についても、引き続き積極的に挑戦しています。2010年代に入って、震災からの復興再生、インフラ維持管理などの社会課題対応、超スマート社会の実現などが強く求められるようになり、これに対応して数次のSSN/IoT基盤技術開発プロジェクトを推進しています。 グリーンセンサ・ネットワークシステム（GSN）技術開発プロジェクト 2011-2014 社会課題対応センサーシステム先導研究 2013 道路インフラモニタリングシステム（RIMS）研究開発 2014-2018 ライフラインコアモニタリングシステム（UCoMS）研究開発 2014-2018 次世代精密家畜個体管理システムの開発プロジェクト 2014-2016 「完全自動化」自動車に不可欠な革新認識システムの先導研究 2015-2016 高効率MEMS振動発電デバイス（MEH）の先導研究 2015-2016 センサ端末同期用原子時計（ULPAC）の研究開発 2015-2018 スマートセンシング・インタフェース（SSI）の国際標準化 2016-2018 学習型スマートセンシングシステム（LbSS）の研究開発 2016-2020 空間移動時のAI融合高精度物体認識システム(AIRs)研究開発 2017-2018 薄膜ナノ増強蛍光による経皮ガス成分の超高感度バイオ計測端末の開発（SNIF） 2019-2022 血中成分の非侵襲連続超高感度計測デバイス及び行動変容促進システムの研究開発（BaMBI） 2019-2023 量子干渉効果による小型時計用発振器の高安定化の基礎研究（HS-ULPAC） 2019-2023 これらの数々のSSN/IoT基盤技術開発プロジェクトの遂行主体として技術研究組合NMEMS技術研究機構が2011年7月に設立。
一方、IoT社会実装の流れが必然になっていることから、IoTシステムを支えるスマートセンシング及びネットワーク（SSN）関連の諸課題解決、技術標準化促進等のため、MEMS協議会活動の一環として2015年10月にSSN研究会をキックオフしました。本研究会では、SSNに係る共通プラットフォームの構築や先端技術開発の検討等を行うこととしています。
現在、NEDO、AMED等の新規プロジェクトを指向しつつWG活動を実施しています。
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