 ファインＭＥＭＳプロジェクト成果発表会 （2009年7月31日） |
マイクロナノ2009イベントの一環としてNEDO委託・助成「高集積・複合MEMS製造技術開発事業（ファインMEMSプロジェクト）」の成果発表会（主催：独立行政法人新エネルギー・産業技術総合開発機構、後援：経済産業省）が7月31日(金)に東京ビックサイト東５ホール内特設会場にて開催されました。オープニングでは、(独）新エネルギー・産業技術総合開発機構 機械システム技術開発部岡野部長から主催者挨拶、続いて経済産業省製造産業局産業機械課 是永基樹課長補佐から来賓挨拶が行われました。また、本プロジェクトのプロジェクトリーダである東京大学大学院情報理工学系研究科長の下山勲教授からは「ファインMEMSプロジェクトの概要」と題して、プロジェクト成果の概要が紹介されました。引き続いて、委託事業の全９テーマ、助成事業の全８テーマの研究開発成果について各テーマの開発担当者から詳細に報告され、活発な討論が行われました。
昨年の中間成果発表会と同様に、200人ほどが入る会場がほぼ満席となり、さらに発表会予稿集も準備した400部が無くなるほどの盛況ぶりでした。同様に、展示会場内の「NEDOファインMEMSプロジェクト」ブースへの来訪者も多く、成果発表会の成果詳細等を議論する場として、こちらも大いに盛り上がりを見せていました。マイクロマシンセンターからは、一般向けに無償提供を開始した知識データベースとMEMS等価回路ジェネレータについて、それぞれパネルとＰＣによるデモンストレーションを行い、多くの来訪者から好評と更なる内容の充実・拡張を期待するご意見を頂きました。発表会及び展示の終始熱気に包まれた会場の雰囲気からは、本プロジェクトの成果の対する関心が極めて高く、成果を製品化に活用した事例、新たな協力関係が多く生み出されることが期待されます。
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| 第１１回プロジェクト推進連絡会の開催 （2009年2月25日） |
2月25日にファインMEMSプロジェクト第11回推進連絡会（座長：東京大学下山勲教授）がMMCテクノサロンで開催されました。この委員会も今回で最後を迎え、三年間の成果を総括すると共に、今後の展望について意見交換が行われました。冒頭の挨拶で、下山PLからは、有終の美を飾れるようにプロジェクト終了まで頑張って頂きたいとのご発言がありました。今回の推進連絡会は、全17テーマの担当者から、2008年度目標に対する達成度、３年間の主な成果、及び自己評価（産学連携、研究開発の水準と達成度、実用化に向けた取組み）について発表がなされました。委託事業、助成事業ともに、すべての事業で目標を問題なく達成、あるいは期待をはるかに上回る成果が得られたと報告がありました。また、今後の成果活用、産学連携等について非常に活発な質疑応答が交わされ、下山PL、杉山SPL、NEDO小寺プログラムマネージャ、NEDO犬塚主査からは、的確なご指導・ご助言を頂きました。連絡会終了後、下山PL、杉山SPLを始め多くの委員を交えた和やかな懇談会で、３年間に渡るファインMEMS推進連絡会としての活動を終了いたしました。長きに渡りご指導頂いた経済産業省製造産業局産業機械課、ＮＥＤＯ機械システム技術開発部、下山勲座長、杉山進副座長、及び活動に協力頂いた各委員の皆様にお礼申し上げます。
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| 第１０回プロジェクト推進連絡会の開催 （2008年12月4日） |
12月4日にファインMEMSプロジェクト第10回推進連絡会（座長：東京大学下山勲教授）がMMCテクノサロンで開催されました。この委員会も次回で最後となり、ファインMEMSプロジェクトもいよいよ大詰めを迎つつあります。冒頭の挨拶で、下山PLからは、開発現場でのヒアリング結果を踏まえ、最後に良い成果、思いもよらない成果が期待できるものもあり、残り４ヶ月全力で進めて頂きたいとのご発言がありました。また今回は、NEDO機械システム技術開発部岡野部長がご出席され、ご挨拶いただきました。今回の推進連絡会は、今年度第３四半期までの進捗が報告されました。委託事業、助成事業ともに目標を上回る成果、思いもよらない成果等について活発に質疑応答が行われ、下山PL、NEDO岡野部長、犬塚主査、渡辺主査からご助言、ご指導をいただきました。
次回推進連絡会は平成21年2月25日(水) に開催する予定です。
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| 第９回プロジェクト推進連絡会の開催 （2008年8月21日） |
8月21日にファインMEMSプロジェクト第9回推進連絡会（座長：東京大学下山勲教授）がMMCテクノサロンで開催されました。先月成果普及活動の一環として実施した、第19回マイクロマシン/MEMS展（7月30日～8月1日開催）へのプロジェクト展示およびプロジェクト中間成果報告会（7月31日）に関するアンケート結果を、NEDO浅海主査から報告して頂きました。昨年と同様に展示会場内の併設会議場で報告会をセットで実施したことに関しては、気軽に聴講できて良い、プロジェクトの成果を分かりやすく聞けたという意見が多く、好印象を与えることができたようです。さらに展示ブースも発表会の成果詳細等を議論する場として、大いに盛り上がりを見せていたことから、多くの来場者に本プロジェクトの取組みと成果をアピールできたようです。今回の推進連絡会は、全17テーマの担当者から、発表の冒頭に出展の所感が述べられた後、今年度第２四半期までの進捗が報告され、下山PL、杉山SPL、NEDO浅海主査からご助言、ご指導をいただきました。
次回推進連絡会は平成20年11月28日(金)に開催する予定です。
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| ファインMEMSプロジェクト中間成果発表会 （2008年7月31日） |
マイクロナノ2008イベントの一環としてNEDO委託・助成「高集積・複合MEMS製造技術開発事業（ファインMEMSプロジェクト）」の中間成果発表会が7月31日(木)に東京ビックサイト西１ホール内特設会場にて開催されました。
オープニングでは、(独）新エネルギー・産業技術総合開発機構、上原明理事から主催者挨拶をいただき、続いて来賓として出席の経済産業省製造産業局産業機械課、是永基樹課長補佐から「MEMS産業技術戦略とファインMEMSプロジェクトへの期待」と題し、ご講演いただきました。また、本プロジェクトのプロジェクトリーダである東京大学大学院情報理工学系研究科長の下山勲教授からは「ファインMEMSプロジェクトの概要」と題して、助成事業を含むプロジェクト成果の概要をお話いただきました。引き続いて、委託事業の全9テーマの最新成果について各テーマの開発担当者から詳細に報告され、活発な討論が行われました。
今回の発表会は、昨年の中間成果発表会の倍以上となる250席を設けましたが、開始と同時にほぼ満席・立ち見となり、さらに発表会予稿集も準備した400部が無くなるほどの盛況ぶりでした。同様に、展示会場内の「NEDOファインMEMSプロジェクト」ブースへの来訪者も多く、中間成果発表会の成果詳細等を議論する場として、こちらも大いに盛り上がりを見せていました。
発表会及び展示の終始熱気に包まれた会場の雰囲気からは、本プロジェクトへの期待が極めて大きいことが強く感じられ、高集積・複合MEMS製造技術開発への取組みを広くご理解いただき、さらに国産業界に活用頂くためのイベントとして、十分な成果が得られたものと思います。
ちなみに、成果発表会配布資料は、NEDOのプレスリリース「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクトの中間成果を第19回マイクロマシン／MEMS展で発表－最新のデモサンプルを展示ブースで同時出展－｣からダウンロードできます（PDFファイル）。下記URLよりご覧ください。
http://www.nedo.go.jp/informations/press/200717_1/200717_1.html
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| 第８回プロジェクト推進連絡会の開催 （2008年5月26日） |
5月26日にファインMEMSプロジェクト第8回推進連絡会（座長：東京大学下山勲教授）がMMCテクノサロンで開催されました。3年のプロジェクトの最終年度最初の連絡会ということで、昨年度までの成果と今年度第１四半期の進捗が報告されました。各テーマ発表10分（質疑応答含む）というスケジュールでしたが、実用化の課題、成果の活用・出口イメージ等について活発な議論が行われ、下山PL、杉山SPLからご助言、ご指導をいただきました。NEDOの浅海主査からは、nano
tech 2008のアンケート調査の結果として、NEDOブース全体の中でファインMEMSプロジェクトが独創性・新規性があるテーマとして最も高い評価を得たことが報告されました。
次回推進連絡会は平成20年8月21日(木)に開催する予定です。
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| 第７回プロジェクト推進連絡会の開催 （2008年2月25日） |
2月25日にファインMEMSプロジェクト第７回推進連絡会（座長：東京大学下山勲教授）がMMCテクノサロンで開催されました。3年のプロジェクトの2年目最後の連絡会ということで、今年度のまとめと最終年度に向けた方針について報告されました。各テーマ発表10分（質疑応答含む）というスケジュールでしたが、最新の成果について委員間で活発な議論が行われ、また、杉山副座長、NEDOの小寺プロジェクトマネージャーからご指導いただきました。NEDOの浅海主査から、来年度も延長の契約が決定されたことが報告され、契約日程が示されました。
次回推進連絡会は平成20年5月26日(月)に開催する予定です。
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| nano tech 2008に最新成果を出展 （2008年2月13日～15日） |
2月13日～15日に東京ビッグサイトにて開催されたnano tech 2008に、ファインMEMSプロジェクトの最新成果を展示いたしました。
委託事業6テーマ（東京大、産総研３テーマ、ＭＭＣ2テーマ）および助成事業2テーマ（フジクラ、松下電工）の成果を、４小間のブースに、パネル１３枚、ＰＣ８台、デジタル顕微鏡６台を用いてNEDOプロジェクトとしては大規模な展示を行いました。3日間で累計64名の説明員が熱心に普及広報活動を行った結果、終始途切れることなく多くの来場者に成果をアピールすることが出来ました。期間中に当プロジェクトの成果に関するアンケート調査を実施し、479件の回答が得られました。この結果は、NEDOにおいて解析され今後の研究開発に有効に反映させる予定です。
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| 第６回プロジェクト推進連絡会の開催 （2007年11月30日） |
11月30日にファインMEMSプロジェクト第６回推進連絡会（座長：東京大学下山勲教授）が当センター会議室で開催されました。当プロジェクトも中間点を過ぎたことから、今回の連絡会では中間進捗報告として、これまでの成果、達成度、自己評価及び今後の課題などがテーマごとに総合的に報告されました。各テーマ発表8分、質疑応答4分というタイトなスケジュールでしたが、活発な議論が行われました。プロジェクトの開発状況は全般的に順調に進展しておりますが、下山座長、杉山副座長、NEDOの小寺プロジェクトマネージャーおよび浅海主査からは、MEMSとしての出口（想定されるアプリケーション）の明確化と技術動向の変化に伴う目標値の見直しが強調されました。NEDOからは来年度の計画が示されました。来年度も今年度同様、プロジェクト成果の普及促進のためにマイクロマシン/MEMS展への出展とプロジェクト中間成果報告会が開催されます。
次回推進連絡会は平成20年2月25日(月)に開催する予定です。
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| 第５回プロジェクト推進連絡会の開催 （2007年8月31日） |
当プロジェクトも折り返し点に差し掛かり、全16研究テーマの進捗状況の報告に対して活発な質疑応答が行われましたが、目覚しい成果も次々と現れており、下山座長、杉山副座長からは、更に高い到達点を目指して、プロジェクトの中でのコラボレーションの重要性が強調されました。また、今年度より、新規テーマ「ファインMEMS システム化設計プラットフォーム研究開発」が加わりましたが、7月より順調にスタートし、次回の連絡会より進捗報告が行われます。
NEDOからは 第18回マイクロマシン/MEMS展（7月25日～27日開催）およびプロジェクト中間成果報告会（7月27日）において実施したアンケート調査の結果について詳細に報告されました。今回の展示会場内の併設会議場で報告会をセットで行うという試みは、概ね好印象であり、本プロジェクトの効果的にアピールできたようです。この結果を今後の普及広報活動に生かして行きたいと考えております。次の普及活動としては、来年2月の展示会nano tech 2008への出展が審議・承認されました。
次回の連絡会は、2007年11月30日（金）13：00から当センター会議室で開催予定です。
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| ファインMEMSプロジェクト中間成果発表会 （2007年7月27日） |
マイクロナノ2007イベントの一環としてNEDO委託・助成「高集積・複合MEMS製造技術開発事業（ファインMEMSプロジェクト）」の中間成果発表会が7月27日(金)に東京国際展示場特設会場にて開催されました。
オープニングでは、ご来賓として経済産業省製造産業局産業機械課、岡橋寛明課長補佐と(独）新エネルギー・産業技術総合開発機構、高安正躬理事のお二人をお迎えし、プロジェクトリーダである東京大学大学院情報理工学系研究科長の下山勲教授から「ファインMEMSプロジェクトの概要」と題して、助成事業を含むプロジェクト成果の概要をお話いただきました。引き続いて、委託事業の全８テーマの最新成果について各テーマの開発担当者から詳細に報告され、活発な討論が行われました。
発表会終了後には、展示会場内の「NEDO高集積・複合MEMSプロジェクト」ブースにおいて技術相談会を開催し、プロジェクト成果の実用化を目的として、研究開発担当者と来場者が直接議論する場を設けました。
今回の発表会では、特設会場に当初設けた130席が開始と同時に満席となったため、急遽50席を追加いたしましたがこれも直ぐに満席となり、終始熱気に包まれた会場の雰囲気からは、本プロジェクトへの期待が極めて大きいことが強く感じられました。126名の発表会出席者及び219名の展示会ブース来場者の方からアンケートを集計することが出来ましたので今後分析を行い、本プロジェクトで開発された製造技術の早期実用化に向けた取り組みを推進していきたいと考えています。
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| 熱気に包まれた発表会場の様子 |
ファインMEMS展示ブースの様子 |
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| ファインMEMSシステム化設計プラットフォーム研究開発がスタート（2007年7月1日） |
近年、米国を中心として設計プラットフォームを用いた表面集積化の動きが活発化し、高集積MEMSに関わる製造技術、設計技術の両面を備えたトータルな研究開発により、高集積MEMS製品の成功事例が増加してきています。わが国ではNEDO技術開発機構が、MEMS製造技術の飛躍を図るべく昨年より高集積複合MEMS製造技術開発事業（ファインMEMSプロジェクト）をスタートさせましたが、さらに設計技術をも充実させる目的で加速財源として「ファインMEMSシステム化設計プラットフォーム研究開発」を基本計画に新たに追加、MMCとしてこれを受託することになりました。
内容は、ファインMEMSに係わるさまざまなデバイスに対応した統一的な設計プラットフォームとしての等価回路モデルの開発を行い、それを蓄積して閲覧できるライブラリを構築するものです。昨年度完了した設計支援システム開発「MEMS-ONEプロジェクト」のプロジェクトリーダ東京大学藤田教授を委員長、香川大学橋口教授を副委員長として開発の詳細内容まで采配をふるって頂き、世界に先駆けて日本発の高集積・複合MEMSに関する統一的設計手法を開発、Webライブラリに集積しわが国産業界に広く公開する予定です。どうか、ご期待ください。
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| ファインMEMSシステム化設計プラットフォーム研究開発の概要 |
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| 第４回プロジェクト推進連絡会の開催 （2007年5月30日） |
5月30日にファインMEMSプロジェクト第4回推進連絡会（座長：東京大学 下山勲教授）が当センター会議室で開催されました。全16研究テーマの進捗状況の報告に対して活発な質疑応答が行われました。成果の方向性に関しプロジェクトリーダ・サブリーダの厳しいコメントなども出され、開始11ヶ月を経て、ファインMEMSとしての革新性など充実した内容とすべく進められております。特にNEDOからは、昨年の助成事業者に引き続き、委託事業者への産業化へのシナリオの検討の要請やプロジェクトリーダ・サブリーダのヒアリングの具体的な実施日やなどが示されました。
第18回マイクロマシン/MEMS展（7月25日～27日開催）においての本プロジェクト成果物の展示およびプロジェクト中間成果報告会（7月27日）は、本プロジェクトの産業化のための環境整備の一環として実施しますが、その具体的内容について事務局より提案、了承されました。具体的には、全委託事業者と3助成事業者を中心とした成果展示と、プロジェクトリーダである東京大学下山教授の全体成果の概要報告に引き続き、全委託事業者の中間成果発表が行われます。また、発表会の後には、委託事業者との技術相談の場も設けられます。 委員会の終了後、懇親会が設けられ、今年度の活動の充実にについてお互いに誓い合いました。
次回の連絡会は、H2007年８月３１日（金）13：00から当センター会議室で開催予定です。
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| 第３回プロジェクト推進連絡会の開催 （2007年2月27日） |
2月27日にファインMEMSプロジェクト第3回推進連絡会（座長：東京大学 下山勲教授）が当センター会議室で開催されました。
全１６研究テーマの進捗状況の報告に対して活発な質疑応答が行われました。本プロジェクトは、開始８ヶ月を経て、ファインMEMSの実用化に向けた革新的な製造技術の開発が順調に進んでおります。
本プロジェクトの成果を広く普及するために、７月２５日から２７日まで東京ビッグサイトにてに開催予定の第１８マイクロマシン/MEMS展において成果物の展示およびプロジェクト中間成果報告会（７月２７日）を実施することが確認されました。。
次回の連絡会は、H2007年５月３０日（水）13：00から当センター会議室で開催予定です。
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| 国際ナノテクノロジー総合展（nano tech 2007）に出展（2007年2月21日～23日） |
2国際ナノテクノロジー総合展（nano tech 2007、２月２１日から２３日まで東京ビッグサイトにて開催）において、NEDOブース内にファインMEMSプロジェクトブースを設け、プロジェクトの普及広報活動を行いました。今回は、東京大学下山研究室および産業技術総合研究所ナノカーボン研究センターより最新の研究成果物が披露されました。下山研究室からは、模型を用いたスタンピング転写技術の実演も含めた技術の詳細が展示され、注目を集めました。ファインMEMSプロジェクト推進連絡会では、今後も展示会等を通じてプロジェクトの開発成果の普及活動を積極的に展開して行く予定です。
以下は、展示会場の風景です。
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（展示会の様子）
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| 第２回プロジェクト推進連絡会の開催 （2006年11月14日） |
11月14日にファインMEMSプロジェクト第2回推進連絡会（座長：東京大学 下山勲教授）が当センター会議室で開催されました。
今回は開始実質３ヶ月目のプロジェクト進捗状況について、全１６研究テーマの報告に対して活発な質疑応答が行われました。報告はプロジェクト全体が俯瞰できる報告シートを作成し、この報告シートに基づいて、開発責任者の方から開発状況報告がなされました。
また、ファインＭＥＭＳ開発成果の普及活動に関しても審議され、ワーキンググループを設けて展示会等に積極的に参加して行く方針を確認いたしました。
次回の連絡会は、H2007年２月２７日（火）13：30から当センター会議室で開催予定です。
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| 第１回プロジェクト推進連絡会および懇親会の開催 （2006年7月28日） |
高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト(ファインMEMSプロジェクト)の事実上のキックオフミーティングとして、研究参加機関、経済産業省、NEDOの関係者が参加してプロジェクト推進連絡会（第１回）が７月２８日開催されました。
本連絡会は、ファインMEMSプロジェクトを円滑に推進するためのプロジェクト推進・調整機関として運営されます。今回の連絡会には本プロジェクトに参画する助成事業担当８社、委託事業担当３大学、２研究所、１団体のメンバーが出席し、初顔合わせを行うと伴に、MEMS/ナノ機能複合技術、MEMS/半導体一体形成技術、MEMS/MEMS高集積化結合技術、知識データベースの整備という４つの分野からなる本プロジェクトの各開発テーマについて、今後３ヵ年の開発内容および達成目標を明らかにしました。
以下は、連絡会後行われた懇親会のなごやかな談笑風景です。
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| プロジェクトの採択通知 （2006年7月8日） |
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高集積・複合MEMS製造技術開発事業の委託先および助成先が決定し、その旨の通知がNEDOから届いた。
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| プロジェクトの公募開始 （2006年3月28日） |
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「高集積・複合MEMS製造技術開発事業」の公募案内が、NEDOからリリース
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