ファインMEMSプロジェクトの軌跡

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ファインMEMSプロジェクトの軌跡（アーカイブ）

　本サイトは2006年度から2008年度の3年間、国/NEDOプロジェクトとして実施された高集積・複合MEMS製造技術開発事業（ファインMEMSプロジェクト）の記録集です。

プロジェクト活動の記録
ファインMEMSプロジェクトの活動内容をMMCが取りまとめたもの

プロジェクトの概略	プロジェクトの歩み
研究体制・研究内容	プロジェクト関連委員会
プロジェクトの研究成果	NEDO事業原簿（公開版）
NEDO成果報告書　高集積・複合MEMS製造技術開発事業「高集積・複合MEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発」（2009.3）

ＭＥＭＳペディア（MEMSPedia）
MEMSペディアはプロジェクトの中でMMCが研究開発を担当

MEMSPedia > マイクロマシン・MEMS技術専門用語集
MEMSPedia > 等価回路ジェネレータ
NEDO成果報告書　高集積・複合MEMS製造技術開発事業「高集積・複合MEMS知識データベースの整備」　(2009.3)

その他

技術調査研究 > ファインMEMSプロジェクト概要
マイクロナノトーク > ファインMEMSプロジェクト関連情報
プロジェクト・パンフレット(PDF）

【ファインMEMSプロジェクト研究分野】