本開発事業の目的・目標達成に向け、本開発事業の円滑な推進を図るため、本開発事業の全参画事業者の開発責任者から成る委員会。３年間で１１回開催し、研究開発項目の進捗状況の把握、研究項目間の調整、研究開発成果の普及活動の企画、決議事項の承認等を行いました。

座長	：下山　勲　東京大教授
副座長	：杉山　進　立命館大教授

マイクロマシンセンターが受託した知識データベースの開発を進めるための委員会。ファインMEMSプロジェクト参画事業者の研究者及び有識者から成り、３年間で１５回開催し、ファインＭＥＭＳ研究開発を目指す様々な分野の技術者が利用できる製造技術に関わる知識を収集、整理し、データベースシステムの仕様・機能、及び公開用データベースの運営方針・普及活動について検討を行いました。

委員長	：下山　勲　東京大教授
副委員長	：藤田　博之　（東京大教授）
副委員長	：三原　孝士　（オリンパス株式会社）
副委員長	：入江　康郎　（みずほ情報総研株式会社)

マイクロマシンセンターが受託したファインMEMS システム化設計プラットフォーム研究開発（平成１９年度～２０年度）を進めるための検討委員会。ファインMEMSプロジェクトに係わる有識者から成り、２年間で８回開催し、開発項目の具体的方針など重要事項の検討を行いました。

委員長	：藤田　博之　（東京大教授）
副委員長	：橋口　原　 （静岡大学）
副委員長	：入江　康郎　（みずほ情報総研株式会社)

ファインMEMSプロジェクト参加企業がメンバー。業務的な観点から、ファインMEMSプロジェクトの管理運営に関することを討議しました。