高集積・複合MEMS（ファインMEMS）製造技術開発プロジェクトの概略

高集積・複合MEMS（ファインMEMS）製造技術開発プロジェクトの概略

　　プロジェクトの経緯

　　「高集積・複合MEMS（ファインMEMS）製造技術開発事業」が平成１８年度から平成２０年度の３年間、国/NEDOプロジェクトとして実施されました。

　本プロジェクトは、小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合MEMSデバイス（ファインMEMS）を製造できる技術を確立することで、高集積・複合MEMSデバイスの製品化を促進し、2010年にはMEMS関連国内市場1.36兆円確保を目指します。併せて本技術開発を通じて得られた製造技術に関わる知識を集約したデータベースを整備することにより、新たな新規MEMSの産業化を促進し、産業競争力の向上、市場規模の拡大に資することを目標に実施しました。

　当センターは、本プロジェクトの「知識データベース開発」を受託するとともに、プロジェクト推進連絡会議の開催等を通じて３年間のプロジェクト全体の推進を支援しました。

　　（１）事業概要

　本プロジェクトは、MEMS(*)の「技術戦略マップ」を踏まえ、新製造技術プログラムの一環として、今後成長が期待される市場である自動車、情報通信、安全・安心、環境、医療等において必要不可欠となる小型･省電力･高性能･高信頼性の高集積・複合MEMSの製造技術を開発することを目的としました。具体的には、ナノ機能との融合、半導体との一体化およびMEMS間の結合といった重要な技術課題に対して、選択的・集中的に取組み、さらに新たな産業化を促進するために上記技術開発を通じて得られた知識を集約し、データベースの整備を行いました。

　(*)MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム)：微細な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだデバイス/システムのことをいい、半導体製造技術やレーザー加工技術等各種の微細加工技術を用いて製造されます。情報通信、医療・バイオ、自動車など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されています。

　→ MEMS読本産業のマメ：MEMS

　　（２）研究開発のカテゴリー

　本プロジェクトの目的を達成するため、下図の４つの開発カテゴリーについて研究開発を行っています。この中で、実用化技術開発については助成事業、基盤技術開発については委託事業としてそれぞれ実施しました。

１)　助成事業

　実用化技術開発については助成率１／２以下の助成事業とする。
　　①MEMS／ナノ機能の複合技術の開発
　　②MEMS／半導体の一体形成技術の開発
　　③MEMS／MEMSの高集積結合技術の開発

２)　委託事業

本プロジェクトは、助成事業を基本とするが、広くＭＥＭＳ産業に普及することが望ましい基盤技術については委託事業として実施する。
　①MEMS／ナノ機能の複合技術の開発
　②MEMS／半導体の一体形成技術の開発
　③MEMS／MEMSの高集積結合技術の開発
　④高集積･複合MEMS 知識データベースの整備
　⑤高集積・複合MEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発

＜ファインMEMSの４つの開発カテゴリー＞

　　（３）委託・助成先（研究参加機関）

　　　→委託先詳細　 →助成先詳細

　本プロジェクトにおける委託・助成先（研究参加機関）は以下の通り。

1）	MEMS ／ナノ機能の複合技術の開発　（委託： 3件、助成： 1件）
	東京大学　　産業技術総合研究所（２）　三菱電機株式会社
2）	MEMS ／半導体の一体形成技術の開発　（委託： 3件、助成： 4件）
	立命館大学　　産業技術総合研究所　　東北大学　株式会社日立製作所　　オムロン株式会社　株式会社フジクラ　　株式会社東芝
3）	MEMS ／ MEMS の高集積複合技術の開発　（委託： 1件、助成： 3件）
	財団法人レーザー技術総合研究所＆東北大学　オリンパス株式会社　　パナソニック電工株式会社　横河電機株式会社
4）	高集積・複合 MEMS 知識データベースの整備　（委託： 1件）
	財団法人マイクロマシンセンター
5）	高集積・複合ＭＥＭＳシステム化設計プラットフォームの開発　（平成19年度～平成20年度テーマ）（委託：1件）
	財団法人マイクロマシンセンター

　　（４）プロジェクトの推進体制

　本プロジェクトの開発体制は下図の通り。当センターはプロジェクト全体の適切な遂行に資するべく、プロジェクト推進連絡会（下山勲座長（東京大学教授）、杉山進副座長（立命館大教授））を定期的に開催し、NEDOのプロジェクト管理をサポートしました。この連絡会においては、開発テーマごとに開発者が進捗状況を報告し、活発な意見交換が行われました。

＜開発テーマと推進体制＞

　　（５）研究実施期間及び事業規模

1）　研究開発期間　　　　　平成１８年度から平成２０年度までの３年間
2）　事業規模　　　　　平成１８年度１０．９億円　　　　　平成１９年度１１．１億円　　　　　平成２０年度７．８億円

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