 プロジェクトの研究成果 |
 ファインMEMSプロジェクトの研究成果： MEMSPedia を早々と公開 2009/6/10
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| プロジェクト成果発表会 |
| 成果発表会を第20回マイクロマシン/MEMS展で開催2009/07//31 |
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| 委託事業成果報告書 |
| １８年度、１９年度委託事業成果報告書はNEDO成果報告書データベースに登録されています。ユーザ登録し、下記の管理番号で検索することで表示・ダウンロード可能となりますので、ご覧ください。なお、最終成果内容は事業原簿（公開版）のコンテンツで取りまとめました。 |
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| 1） |
MEMS ／ナノ機能の複合技術の開発 （委託： 3件） |
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（18年度管理番号） |
（19年度管理番号） |
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東京大学 |
100010081 |
100012060 |
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産業技術総合研究所(バイオ) |
100009369 |
100012058 |
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産業技術総合研究所（CNT） |
100009365 |
100012057 |
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| 2） |
MEMS ／半導体の一体形成技術の開発 （委託： 3件） |
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（18年度管理番号） |
（19年度管理番号） |
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立命館大学 |
100009377 |
100012061 |
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産業技術総合研究所（ﾌﾟﾛｾｽ） |
100009378 |
100012059 |
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東北大学 |
100010082 |
100012063 |
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| 3） |
MEMS ／ MEMS の高集積複合技術の開発 （委託： 1件） |
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（18年度管理番号） |
（19年度管理番号） |
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財団法人レーザー技術総合
研究所 ＆東北大学 |
100010079 |
100012062 |
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| 4） |
高集積・複合 MEMS 知識データベースの整備（委託： 1件） |
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（18年度管理番号） |
（19年度管理番号） |
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マイクロマシンセンター |
100010080 |
100012056 |
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| 5) |
高集積・複合MEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発
（平成１９年度～平成２０年度テーマ）（委託：１件） |
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マイクロマシンセンター |
2007年度成果報告書(PDF) |
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