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プロジェクト研究成果

ファインMEMSプロジェクトは、各年毎に成果を取りまとめ中間成果発表会にて公開を行ってきました。MMCが開発を担当したMEMSペディアや発表会の予稿集等を紹介します。

 
プロジェクトの研究成果
  ファインMEMSプロジェクトの研究成果: MEMSPedia を早々と公開 2009/6/10
MEMSPedia  MEMSPedia ファインMEMS知識DB 
MEMSPedia 等価回路ジェネレータ 
プロジェクト成果発表会
  成果発表会を第20回マイクロマシン/MEMS展で開催2009/07//31
   (成果発表会予稿集)
2007年中間成果発表会予稿集
2008年中間成果発表会予稿集 
 
委託事業成果報告書
18年度、19年度委託事業成果報告書はNEDO成果報告書データベースに登録されています。ユーザ登録し、下記の管理番号で検索することで表示・ダウンロード可能となりますので、ご覧ください。なお、最終成果内容は事業原簿(公開版)のコンテンツで取りまとめました。
  1) MEMS /ナノ機能の複合技術の開発 (委託: 3件)
(18年度管理番号) 19年度管理番号)
東京大学     100010081 100012060
産業技術総合研究所(バイオ) 100009369 100012058
産業技術総合研究所(CNT) 100009365 100012057
 
  2) MEMS /半導体の一体形成技術の開発 (委託: 3件)
(18年度管理番号) 19年度管理番号)
立命館大学  100009377 100012061
産業技術総合研究所(プロセス) 100009378 100012059
東北大学 100010082 100012063
  3) MEMS / MEMS の高集積複合技術の開発 (委託: 1件)
(18年度管理番号) 19年度管理番号)
財団法人レーザー技術総合
研究所 &東北大学
100010079 100012062
  4) 高集積・複合 MEMS 知識データベースの整備(委託: 1件)
(18年度管理番号) 19年度管理番号)
マイクロマシンセンター   100010080 100012056
   5) 高集積・複合MEMSシステム化設計プラットフォームの研究開発
(平成19年度~平成20年度テーマ)(委託:1件)
 
   マイクロマシンセンター    2007年度成果報告書(PDF)


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