2000年代に入り、製造業のキーデバイスとしてMEMSに注目が高まりつつある状況を踏まえ、MEMS製造技術の国際競争力の向上、我が国のMEMS市場の拡大、多様なＭＥＭＳ製品の開発の加速化、ファンドリー事業の発展と新規参入者の拡大 などを狙いとした企業助成のMEMSプロジェクト（2003-2005年度）が実施されました。

　具体的には、比較的短期間で大きな市場が形成されると期待されるMEMS(高周波MEMS、光MEMS、センサMEMS）の実用化に必要な製造技術の開発が進められました。さらに、成果の実用化に向け、助成企業は本事業によって確立される高度なMEMS製造技術をファンドリー事業に展開することが求められました。

　当センターは本プロジェクトの助成対象事業者ではなかったものの、MEMS産業発展に資するべく、プロジェクトに必要な内外調査を実施し、またプロジェクト後のファンドリ－事業展開を支援すべくMEMSファンドリサービス産業委員会を立ち上げる等、プロジェクト助成事業者と連携しつつ諸々の支援活動を実施しました。