活動の記録  2.研究開発成果(詳細、NEDO公開資料抜粋)

「高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発(Gデバイス@BEANS)」の研究開発成果を個別研究テーマ毎に取りまとめました。なお本ページ下方に、NEDO事後評価の公開資料の中から、当事業の成果に関するものを掲載しました。合わせてご参照下さい。

番号 個 別 研 究 テ ー マ ファイル
  (高機能センサネットシステム)
1 半導体クリーンルームセンサネットシステム pdf
2 植物工場センサネットシステム pdf
  (8インチMEMSライン)
3 最先端8インチMEMSラインの構築 pdf
  (高機能センサモジュール)  
4.1 高機能センサモジュール開発 pdf
4.2 センサネットモジュール用低消費電力LSI pdf
4.3.1 新センサデバイス原理:ナノ構造ガスセンサ pdf
4.3.2 新センサデバイス原理:低消費電力センサ・無線モジュールへの検討 pdf
4.3.3 新センサデバイス原理:パーティクルセンサ pdf
4.3.4 新センサデバイス原理:汚染ガスセンサ pdf
4.3.5 新センサデバイス原理:振動発電を中心とした小型高効率発電デバイス pdf
4.3.6 新センサデバイス原理:センサ用パワーマネジメントデバイス pdf
4.3.7 新センサデバイス原理:高感度温度センシング用機能薄膜 pdf
  (低環境負荷型プロセス開発Ⅰ) 
5 低環境負荷ポリマー・センサ融合プロセス pdf
6 スマートプロトタイピング・ファブシステム pdf
6.1.1 センサTEG:圧電ジャイロ pdf
6.1.2 センサTEG:シリコンメンブレン pdf
6.2.1 センサTEG:中性粒子ビームエッチング pdf
6.2.2 センサTEG:マイクロプローブ pdf
6.3 欠陥ばらつき評価におけるモデリング・計測技術 pdf
  (低環境負荷型プロセス開発Ⅱ)
7 低環境負荷型深堀りエッチング技術 pdf
8 低環境負荷型集積化プロセス基盤技術 pdf
  (ま  と  め)
     Gデバイス成果概要資料(事後評価分科会資料) pdf

     
NEDO資料より 
 以下の資料はNEDOの事後評価分科会公開分よりダウンロードしたものです。詳細は、次のページをご参照ください。 NEDO H23年評価委員会本事業ページ

資料内容 ファイル
1 事業原簿本文[1](表紙~Ⅳ-18) pdf
2 事業原簿本文[2](Ⅴ-1~Ⅴ-104) pdf
3 事業原簿本文[3](Ⅴ-105~Ⅴ-194) pdf
4 事業原簿本文[4](Ⅴ-195~Ⅴ-317) pdf
5 事業原簿本文[5](Ⅴ-318~Ⅴ-414) pdf
6 事業原簿本文[6](Ⅴ-415~Ⅴ-503) pdf
7 事業原簿本文[7](Ⅴ-504~Ⅴ-638) pdf
8 事業原簿 添付資料 pdf
9 プロジェクトの概要説明資料 pdf
10 プロジェクトの詳細説明資料 pdf


 また、以下はNEDO研究評価委員会による事後評価報告書の資料です。

平成23年度「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト/
 高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発」事後評価報告書ページ

資料内容 ファイル
1 「異分野融合型次世代デバイス製造技術開発プロジェクト/高機能センサネットシステムと低環境負荷型プロセスの開発」事後評価報告書 pdf
 

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