マイクロマシン技術プロジェクトが実施されている中で出願された特許は563件あるが、その内、約95%にあたる534件が詳細に追跡できた。その内約40%弱の206
件が特許登録をしている。審査請求をして登録している特許は重要性が高い特許と想定できる。
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プロジェクト終了後、現在(2006年)までに125 件の特許が出願されている。出願から公開されるまでのリードタイムを考慮するとこれよりさらに上乗せされると推定できる。プロジェクト実施中の10年間に約560件であるから、年間平均出願数はやや少ないが、依然として約30
件/年程度の出願が継続されており、この関連技術の新規開発が継続されていると想定できる。
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