マイクロマシン技術研究開発プロジェクト(1991-2000年) MMPJアーカイブ
PJアウトカム > 4.5 産業波及効果:国際標準化の進展
まえがき(総括)
1.PJの背景・技術開発の概要  4.1 技術の実用化
2.研究開発成果の概要   4.2 特許の出願・取得
3.研究開発成果の評価  4.3 ベンチャー企業の設立
4.産業波及効果    > > >  4.4 マイクロマシン展の活況
5.主要分野の成果波及と将来展望  4.5 国際標準化の進展

  産業波及効果:国際標準化の進展

 本プロジェクトを実施するにあたり、当該分野で用語の標準化をする必要を感じMEMS 関連専門用語集がまとめられた。これをベースに各種の規格案をI E C (International Electrotechnical Commission)に提案し、国際規格として発行している。

 2002年にマイクロマシン・MEMS分野では国際的に初めての規格となる「MEMS専門用語」に関する規格案、2003年には「MEMS用薄膜材料の引張試験法」、「MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片」の試験法に関する2件の規格案をIECに提案した。以降、順調な規格案審議を経て「MEMS専門用語」については2005年9月に国際規格(International Standard)発刊、また「MEMS薄膜材料の引張試験法」、「MEMS用薄膜材料の引張試験用標準試験片」の2件についても2006年8月に国際規格発刊に至っている。

 更に、薄膜材料の標準化ロードマップに基づき、2006年5月、新たに「MEMS用薄膜材料の疲労試験法」に関する新規格案の提出を行っている。今後はマイクロマシン・MEMSにとってニーズの高い規格とは何かについて調査することにより新しい規格案創出の検討を進めている。これらは(財)マイクロマシンセンターが中心となって推進している。

 また、⑤センサ評価技術の標準化があるが、これは(独)産総研・計測標準研究部門が中心となって推進している。

 
①MEMS専門用語
 2002 年7 月 NP(New Proposal)提出
 2003 年4 月 CD(Committee Draft)提出
 2004 年4 月 CDV(Committee Draft for Vote)提出
 2005 年4 月 英語版FDIS(Final Draft International Standard)提出
 2005 年9 月 国際規格(International Standard)発刊 【IEC62047-1】
 2006 年4 月 JIS化取り組み開始

②MEMS用薄膜材料の引張試験法 及び③引張試験用標準試験片
 2003 年7 月 NP提出
 2004 年4 月 CD提出
 2005 年3 月 英語版CVD提出
 2005 年9 月 投票締切。承認後FDIS化
 2006 年8 月 国際規格(International Standard)発刊
 【IEC62047-2】 【IEC62047-3】

④MEMS用薄膜材料の疲労試験法
 2006 年5 月 NP提出
 2006 年9 月 NP投票、承認された。

⑤半導体加速度センサ
 センサ評価技術の開発がプロジェクト後も継続され、半導体加速度センサに
 関する規格案をIECに提案。CDV(Committee Draft for Vote)の段階。

  
(マイクロマシン技術に係るアウトカム調査報告書(2007年3月、NEDO調査)より)

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