MMC > MemsONEひろば > 解析事例紹介
 
 MemsONEユーザやMemsONEに興味をお持ちの方々向けの「解析事例の紹介」コーナーです。
 [情報一覧]
  機構解析の解析事例 ('15/5/15更新)
  ナノインプリント解析の解析事例 ('12/2/8更新)
  プロセス解析の解析事例 ('12/2/8未更新)
  回路・逆問題解析の解析事例 ('14/5/22更新)
  データベース・その他の事例 ('14/5/22更新)
 
[機構解析の解析事例]
No 公開日 事例名/提供元 事例詳細 データ
14 2015/5/15 ・圧電解析におけるMemsONEの活用
・東京工芸大学大学院 工学研究科
詳細(pdf) なし
13 2015/5/15 ・高出力半導体レーザの高放熱構造化のための熱伝導解析事例の紹介
・東京大学大学院 工学系研究科
詳細(pdf) なし
12 2013/5/17 ・X線CT装置によるMEMSの3次元形状測定と構造解析
・東京大学 工学系研究科
詳細(pdf) なし
11 2013/5/17 ・MEMSとトランジスタの集積デバイスにおけるジュール熱影響評価
・技術研究組合BEANS研究所
詳細(pdf) なし
10 2012/2/8 ・MemsONEによる面内外の2自由度駆動を実現する静電アクチュエータの解析
・東京大学 生産技術研究所
詳細(pdf) なし
9 2012/2/8 ・新しい圧電素子のMemsONEによる設計と複合部材の熱応力の検討
・東京工芸大学 工学部
詳細(pdf) なし
8 2011/2/14 ・MemsONEのデバイスCADによる解析モデル作成テクニック
・一般財団法人マイクロマシンセンター
詳細(pdf) なし
7 2010/6/10 ・共振型加速度センサの共振モード解析
・共振型加速度センサの共振周波数加速度依存性の解析 他4件
・千葉工業大学 工学部電気電子情報工学科
詳細(pdf) なし
6 2010/6/10 ・Deep-RIEによる深堀形状の電界解析
・九州工業大学 マイクロ化総合技術センター
詳細(pdf) なし
5 2010/6/10 ・MemsONEを用いた石英基板上SiN薄膜の応力シミュレーション
・山形県工業技術センター 電子情報技術部
詳細(pdf) なし
4 2010/2/17 ・MemsONEの高度なメッシュ分割テクニック
・日本ユニシス・エクセリューションズ(株)
詳細(pdf) なし
3 2009/2/20 ・2次要素に対するメッシュの細かさと計算精度の検証
・東京工芸大学 工学部
詳細(pdf) なし
2 2009/2/20 ・静電駆動マイクロステップモータの電界解析による駆動力の算出
・東京大学 生産技術研究所
詳細(pdf) なし
1 2008/2/22 ・Nanotweezer設計におけるMemsONEの活用
・東京工芸大学 工学部 他
詳細(pdf) なし
         

[ナノインプリント解析の解析事例]
No 公開日 事例名/提供元 事例詳細 データ
1 2008/2/22 ・熱/光ナノインプリント解析例
・みずほ情報総研(株) 他
詳細(pdf) なし
         

[プロセス解析の解析事例]
No 公開日 事例名/提供元 事例詳細 データ
2 2009/2/20 ・標準プロセスレシピの活用例
・オリンパス(株) 研究開発センター
詳細(pdf) なし
1 2008/2/22 ・MEMS構造体の作成における活用例
・オリンパス(株) 研究開発センター
詳細(pdf) なし
         

[回路・逆問題解析の解析事例]
No 公開日 事例名/提供元 事例詳細 データ
7 2014/5/22 ・MEMSpiceを用いたパラメトリック解析
・(株)NTTデータ数理システム 科学技術部
詳細(pdf) なし
6 2013/5/17 ・平行平板型アクチュエータの解析解と数値解および実測値の比較
・(株)鷺宮製作所 R&Dセンター
詳細(pdf) なし
5 2013/5/17 ・エアダンピング効果を考慮した静電駆動デバイスの連成解析
・(株)NTTデータ数理システム 科学技術部
詳細(pdf) なし
4 2012/2/8 ・マクロモデル抽出ツールを用いたMEMSデバイスの連成解析
・(株)数理システム 科学技術部
詳細(pdf) なし
3 2011/2/14 ・回路シミュレータを用いたステッパーマイクロモータの特性解析と最適化検討
・東京工芸大学 工学部 他
詳細(pdf) なし
2 2010/2/17 ・回路シミュレータのロータリーステッパーモータ設計への適用
・東京工芸大学 工学部 他
詳細(pdf) なし
1 2009/2/20 ・回路シミュレータによる動特性の検討
・東京工芸大学 工学部 他
詳細(pdf) なし
         

[その他の解析事例・データベース事例]
No 公開日 事例名/提供元 事例詳細 データ
2 2014/5/22 ・中性粒子ビームの生成メカニズムのシミュレーション
・みずほ情報総研(株)
詳細(pdf) なし
1 2008/2/22 ・材料・プロセスデータの構築
・(独)産業技術総合研究所
詳細(pdf) なし
         

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